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바(bar); 및상기 바에 감긴 패턴필름을 포함하고,상기 패턴필름은 패턴의 밀도가 일정하지 않은 것을 특징으로 하는 바코터
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제1 항에 있어서, 상기 패턴은 소정의 폭을 가지는 직선형 돌출부로 이루어지며, 상기 패턴의 간격이 밀도에 따라 조정되는 것을 특징으로 하는 바코터
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패턴의 밀도가 일정하지 않은 패턴필름을 형성하는 단계; 및상기 패턴필름을 바(bar)에 감아서 바코터를 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바코터 제조방법
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제3 항에 있어서, 상기 패턴필름을 형성하는 단계는:패턴의 밀도가 일정하지 않은 패턴필름용 포토마스크를 형성하는 단계;감광제가 도포된 기판에 상기 패턴필름용 포토마스크를 통해 감광제 패턴을 형성하는 단계;상기 감광제 패턴 위에 금속층 또는 고분자층을 형성시켜 패턴필름 성형용 몰드를 형성하는 단계; 및상기 패턴필름 성형용 몰드로 상기 패턴필름을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바코터 제조방법
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패턴의 밀도가 일정하지 않은 바코터로 기판 위에 감광제를 도포하여 상기 바코터의 패턴이 반영된 감광제층을 형성하는 단계;상기 감광제층 위에 노광공정용 포토마스크를 위치시키는 단계; 및상기 감광제층을 노광 및 현상하여 상기 감광제층에 상기 노광공정용 포토마스크의 패턴에 의한 노광 패턴을 형성하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 바코터를 이용한 노광 패턴 형성방법
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제5 항에 있어서, 상기 감광제층을 형성하는 단계는:상기 기판 위에 상기 바코터로 일 방향을 따라 감광제를 도포하는 단계; 및상기 기판 위에서 상기 바코터와 패턴이 동일 또는 상이한 바코터를 상기 일 방향과는 상이한 방향을 따라 이동시키는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 이용한 노광 패턴 형성방법
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