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미세버블 생성장치에 있어서, 유체가 수용되는 챔버;상기 챔버에 수용된 유체 내로 기체를 공급하는 기체공급라인;상기 챔버 내부에 설치되며, 상기 기체공급라인을 통해 공급되는 기체가 내부로 유입되어 외부로 기포를 생성시키는 미세버블방출유닛; 및상기 미세버블방출유닛을 통해 생성되는 기포 측으로 초음파를 인가하여 미세버블 형태로 방출시키도록 하는 초음파인가부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성장치
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제 1항에 있어서, 상기 초음파인가부는 상기 미세버블방출유닛이 설치된 챔버의 일측면 또는 타측면에 설치되며, 상기 미세버블의 방출방향과 교차되는 방향으로 초음파를 인가시키는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성장치
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제 2항에 있어서, 상기 미세버블방출유닛은 내부공간을 가지며 외면에 미세한 다공이 형성된 멤브레인유닛으로 구성되는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성장치
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제 3항에 있어서, 상기 초음파인가부는 상기 멤브레인유닛의 평면방향과 평행한 방향으로 초음파를 인가시키는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성장치
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제 4항에 있어서, 상기 멤브레인 유닛은 원형 단면을 가지며, 상기 초음파인가부는 복수로 상기 멤브레인 유닛의 외면에 근접하게 서로 원주방향으로 이격된 방사형태로 위치되는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성장치
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제 4항에 있어서, 상기 멤브레인 유닛은 원형 단면을 가지며, 상기 초음파인가부는 상기 멤브레인 유닛의 외면에 근접하게 감싸도록 원형 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성장치
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제 4항에 있어서, 상기 멤브레인 유닛은 사각형 단면을 가지며, 상기 초음파인가부는 복수로 상기 멤브레인 유닛의 외면에 근접하게 방사형태로 위치되는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성장치
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제 4항에 있어서, 상기 멤브레인 유닛은 사각형 단면을 가지며, 상기 초음파인가부는 상기 멤브레인 유닛의 외면에 근접하게 감싸도록 사각형 단면을 갖는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성장치
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제 1항에 있어서, 상기 미세버블 방출유닛을 상기 챔버에 탈부착시키는 탈부착부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성장치
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제 1항에 있어서, 상기 초음파인가부를 상기 챔버에 탈부착시키는 탈부착수단을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성장치
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제 1항에 있어서, 상기 초음파인가부와 상기 챔버 사이에 구비되어, 상기 초음파인가부에서 생성되어 상기 챔버에 전달되는 진동을 흡수하는 진동흡수부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성장치
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제 1항에 있어서, 상기 기체공급라인 일측에 구비되어 공급되는 기체의 압력을 측정하는 압력센서와, 상기 기체공급라인에서 상기 미세버블방출유닛으로 공급되는 기체의 유량을 조절하는 조절밸브를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성장치
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제 12항에 있어서, 상기 초음파인가부를 통해 인가되는 초음파의 출력을 조절하는 출력조절부와, 상기 압력센서에서 측정된 값을 기반으로 상기 조절밸브를 제어하여 상기 미세버블방출유닛으로 공급되는 기체의 유량을 조절하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성장치
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미세버블 생성방법에 있어서, 기체공급라인을 통해 챔버 내에 설치된 미세버블방출유닛 내부로 기체가 공급되는 제1단계; 상기 미세버블방출유닛의 외면을 구성하며 미세 다공이 형성된 멤브레인유닛을 통해 외부로 기포가 생성되는 제2단계; 및상기 기포가 생성되는 방향과 교차되는 방향으로 초음파인가부를 통해 초음파를 인가하여 상기 기포에 전단력을 가하여 상기 멤브레인유닛 표면으로부터 미세버블이 탈착되는 제3단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성방법
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제 14항에 있어서, 상기 초음파인가부는 상기 미세버블방출유닛이 설치된 챔버의 일측면 또는 타측면에 설치되며, 상기 제3단계에서, 상기 멤브레인유닛의 평면방향과 평행한 방향으로 초음파를 인가시키는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성방법
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제 15항에 있어서, 상기 제1단계에서, 제어부가 기체공급라인 일측에 구비된 압력센서에서 측정된 기체의 압력값을 기반으로 조절밸브를 제어하여 미세버블방출유닛으로 공급되는 기체의 유량을 조절하는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성방법
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제 16항에 있어서, 상기 제3단계에서 제어부가 복수의 초음파인가부를 선택적으로 구동하도록 제어하며, 출력조절부를 제어하여 상기 초음파인가부를 통해 인가되는 초음파의 출력을 조절하는 것을 특징으로 하는 멤브레인과 초음파를 적용한 미세버블 생성방법
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