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지르코늄 산화물, 티타늄 산화물, 납 산화물, 제1 및 제2용매 및 물이 혼합되어 티탄산 지르콘산 연(PZT) 전구체 용액을 제조하는 방법에 있어서: 상기 지르코늄 산화물(l) 및 티타늄 산화물(l)이 기설정된 온도에서 교반되어 혼합되어 혼합 용액이 제조되는, 제1 혼합 단계(S110);상기 혼합 용액에 상기 제1용매가 첨가되는, 제1용매 첨가 단계(S120);상기 혼합 용액에 상기 제2용매 및 물이 첨가되는, 제2용매 첨가 단계(S130); 및상기 혼합 용액에 상기 납 산화물(l)이 혼합되는, 제2 혼합 단계(S140); 를 포함하는 티탄산 지르콘산 연(PZT) 전구체 용액 제조 방법
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제 1 항에 있어서,상기 제1 혼합 단계(S110), 제1용매 첨가 단계(S120), 제2용매 첨가 단계(S130) 및 제2혼합 단계(S140)에서는, 상기 제1 및 제2용매 및 물이, 제1용매:제2용매:물=1:0
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제 1 항에 있어서,상기 제1 혼합 단계(S110), 제1용매 첨가 단계(S120), 제2용매 첨가 단계(S130) 및 제2혼합 단계(S140)는, 70℃의 온도에서 수행되는 티탄산 지르콘산 연(PZT) 전구체 용액 제조 방법
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지르코늄 산화물, 티타늄 산화물 및 납 산화물은, 상기 전구체 용액 내의 화학량론 조성비가 지르코늄:티타늄:납=0
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 지르코늄 산화물은, 지르코늄 프로폭사이드(zirconium propoxide, Zr(OCH2CH2CH3)4)이고, 상기 티타늄 산화물은, 티타늄 이소프로폭사이드(titanium isopropoxide, Ti[OCH(CH3)2]4)이며, 상기 납 산화물은, 납초산염(lead acetate trihydrate, Pb(CH3CO2)2 · 3H2O)인 티탄산 지르콘산 연(PZT) 전구체 용액 제조 방법
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제 1 항 내지 제 3 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제1용매는, 아세트산(acetic acid)이고, 상기 제2용매는, 프로판올(propanol)인 티탄산 지르콘산 연(PZT) 전구체 용액 제조 방법
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지르코늄 산화물, 티타늄 산화물, 납 산화물, 제1 및 제2용매 및 물이 혼합되어 티탄산 지르콘산 연(PZT) 전구체 용액이 제조되는, 혼합 단계(S100); 상기 전구체 용액이 기판 표면에 스핀 코팅되는, 코팅 단계(S200);상기 전구체 용액이 코팅된 기판이 건조되는, 건조 단계(S300);상기 건조된 기판이 가열되어 열분해되는, 열분해 단계(S400); 및 상기 열분해된 기판이 재가열되어 결정화되어 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막이 제조되는, 결정화 단계(S500); 를 포함하는 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 상기 혼합 단계(S100)는, 상기 지르코늄 산화물(l) 및 티타늄 산화물(l)이 기설정된 온도에서 교반되어 혼합되어 혼합 용액이 제조되는, 제1 혼합 단계(S110);상기 혼합 용액에 상기 제1용매가 첨가되는, 제1용매 첨가 단계(S120);상기 혼합 용액에 상기 제2용매 및 물이 첨가되는, 제2용매 첨가 단계(S130); 및상기 혼합 용액에 상기 납 산화물(l)이 혼합되는, 제2 혼합 단계(S140); 를 포함하는 티탄산 지르콘산 연(PZT) 전구체 용액 제조 방법
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제 8 항에 있어서,상기 제1 혼합 단계(S110), 제1용매 첨가 단계(S120), 제2용매 첨가 단계(S130) 및 제2혼합 단계(S140)에서는, 상기 제1 및 제2용매 및 물이, 제1용매:제2용매:물=1:0
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제 8 항에 있어서,상기 제1 혼합 단계(S110), 제1용매 첨가 단계(S120), 제2용매 첨가 단계(S130) 및 제2혼합 단계(S140)는, 70℃의 온도에서 수행되는 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법
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제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 혼합 단계(S100)에서,상기 지르코늄 산화물, 티타늄 산화물 및 납 산화물은, 상기 전구체 용액 내의 화학량론 조성비가 지르코늄:티타늄:납=0
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제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 혼합 단계(S100)에서, 상기 지르코늄 산화물은, 지르코늄 프로폭사이드(zirconium propoxide, Zr(OCH2CH2CH3)4)이고, 상기 티타늄 산화물은, 티타늄 이소프로폭사이드(titanium isopropoxide, Ti[OCH(CH3)2]4)이며, 상기 납 산화물은, 납초산염(lead acetate trihydrate, Pb(CH3CO2)2 · 3H2O)인 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법
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제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 혼합 단계(S100)에서, 상기 제1용매는, 아세트산(acetic acid)이고, 상기 제2용매는, 프로판올(propanol)인 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법
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제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 코팅 단계(S200) 내지 상기 결정화 단계(S500)는, 2회 이상 반복 수행되는, 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법
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제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 열분해 단계(S300)에서,상기 건조된 기판은, 400℃에서 열분해되는 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법
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제 8 항 내지 제 10 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 결정화 단계(S500)에서,상기 열분해된 기판은, 650℃에서 결정화되는 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법
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티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법에 있어서: 지르코늄 산화물(l) 및 티타늄 산화물(l)이 혼합된 용액에, 제1용매가 첨가된 후 제2용매 및 물이 첨가되고, 납 산화물(l)이 추가로 첨가되어 전구체 용액이 제조되고, 상기 전구체 용액이 기판의 표면에 스핀 코팅된 후 상기 기판이 건조, 열분해 및 결정화되어 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막이 제조되는 것을 특징으로 하는 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법
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제 17 항에 있어서,상기 전구체 용액의 상기 기판의 표면에의 스핀 코팅, 상기 기판의 건조와 열분해 및 결정화는, 2회 이상 반복 수행되는 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법
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제 17 항에 있어서,상기 전구체 용액은, 70℃에서 제조되는 티탄산 지르콘산 연(PZT) 박막 제조 방법
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