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내부에 초음파를 발생시키는 압전소자가 수용된 내부공간 및 외부로부터 세정액을 공급하는 세정액공급관과 연결되어 공급된 세정액을 하방으로 배출하는 수로를 포함하는 진동판;상기 진동판의 하부에 결합되며, 상기 수로로부터 공급받은 세정액을 하방으로 분사하는 복수의 미세노즐이 형성된 노즐판; 및상기 진동판 및 노즐판이 접하는 면 사이에 구비되어 상기 세정액의 누수를 방지하는 실링부재;를 포함하며,상기 진동판 및 노즐판은 서로 접하는 면 사이가 밀폐되도록 결합되는 것을 특징으로 하는 조립형 초음파노즐
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제1항에 있어서,상기 진동판은 외면의 적어도 일부가 반경방향 외측으로 돌출된 상측플렌지부가 형성되고,상기 노즐판은 반경방향 외측면이 상기 진동판의 외면을 따라 연장된 하측플렌지부가 형성되어,상기 진동판의 상측플렌지부의 하면과 상기 노즐판의 하측플렌지부의 상면이 접하도록 형성되는 것을 특징으로 하는 조립형 초음파노즐
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제2항에 있어서,상기 노즐판의 하측플렌지부는 상기 진동판의 외면을 따라 상방으로 연장된 제1연장부와 상기 제1연장부의 상단부가 상기 진동판의 상측플렌지부의 하면을 따라 반경방향 외측으로 절곡된 제2연장부를 포함하되,상기 제2연장부의 외측면은 상기 상측플렌지부의 외측면과 동일한 외경을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 조립형 초음파노즐
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제3항에 있어서,상기 초음파노즐은 상기 하측플렌지부의 제2연장부의 하면과 상기 진동판의 상측플렌지부의 상면을 관통하여 길이방향으로 나사결합되는 것을 특징으로 하는 조립형 초음파노즐
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제3항에 있어서,상기 초음파노즐은,상기 진동판의 상면에 구비되는 상부하우징과 상기 상부하우징의 하부와 결합되어 상기 진동판의 상측플렌지부 및 노즐판의 하측플렌지부를 감싸도록 형성된 하부하우징을 포함하는 노즐하우징;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 조립형 초음파노즐
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제5항에 있어서,상기 노즐하우징은 상기 상부하우징과 하부하우징이 길이방향으로 나사결합되는 것을 특징으로 하는 조립형 초음파노즐
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제5항에 있어서,상기 노즐하우징은 상기 상부하우징의 하면으로부터 하방으로 상기 상측플렌지 및 하측플렌지의 외측단을 따라 연장된 상측결합부와, 상기 하부하우징의 상면으로부터 상방으로 상기 상부하우징의 상측결합부의 외측면을 따라 연장된 하측결합부를 포함하며,상기 상부하우징 및 하부하우징은 상기 상측결합부의 외측면과 상기 하측결합부의 내측면에 돌출형성된 복수의 결합편에 의해 끼움 결합되는 것을 특징으로 하는 조립형 초음파노즐
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제2항에 있어서,상기 초음파노즐은,상기 상측플렌지부 및 하측플렌지부가 접하는 면이 접착되는 것을 특징으로 하는 조립형 초음파노즐
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제8항에 있어서,상기 노즐판의 하측플렌지부는 상기 진동판의 외면을 따라 상방으로 연장된 제1연장부의 외측면이 상기 진동판의 상측플렌지부의 외측면과 동일한 외경을 갖도록 형성되는 것을 특징으로 하는 조립형 초음파노즐
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제1항에 있어서,상기 실링부재는 상기 진동판의 수로 및 상기 노즐판의 미세노즐로부터 반경방향으로의 외측에 구비되는 것을 특징으로 하는 조립형 초음파노즐
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제10항에 있어서,상기 진동판은 하면의 일부가 상방으로 요입된 요입홈이 형성되고,상기 노즐판은 상면의 일부가 상기 진동판의 요입홈에 대응되어 삽입되도록 돌출된 돌출단이 형성되되,상기 실링부재는 상기 돌출단의 상면에 구비되어, 상기 수로 및 미세노즐로부터의 누수를 방지하는 단차를 형성하는 것을 특징으로 하는 조립형 초음파노즐
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제10항에 있어서,상기 압전소자는 내부가 중공된 링 형상으로 형성되어, 상기 진동판의 내부공간으로부터 하방으로 연통되도록 형성된 수로에 연결되는 세정액유입관의 외면을 감싸도록 구비되는 것을 특징으로 하는 조립형 초음파노즐
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