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외력에 의해 위치가 변화하는 접지된 도전체로서, 평판 형태의 평판 모듈 및 상기 평판 모듈의 하면에 원기둥 형태로 돌출 형성되는 삽입 모듈을 포함하는 그라운드부;평판 형태의 기판으로, 상기 평판 모듈과 이격 형성되고, 상기 삽입 모듈이 이격 삽입될 수 있는 원형의 홀이 형성된 기판부;상기 홀의 측면 및 상기 기판부 상면의 홀 가장자리에 형성되는 전극으로서, 전원을 인가 받아 상기 그라운드부와 함께 정전용량을 형성하는 전극부; 및상기 정전용량 값을 이용하여 상기 그라운드부에 가해지는 수직 방향의 힘 또는 수평 방향의 힘을 구하는 힘측정부를 포함하는 힘 센서
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제 1 항에 있어서,상기 홀의 측면 및 상기 기판부 상면의 홀 가장자리에 형성되는 전극은 일체로 형성되는 힘 센서
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제 1 항에 있어서,상기 전극부는 상기 홀의 원주 방향을 따라 분리 형성되는 힘 센서
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제 3 항에 있어서,상기 전극부는 상기 홀의 원주 방향을 따라 두 개 이상으로 등분되는 힘 센서
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제 1 항에 있어서,상기 평판 모듈과 상기 기판부 사이의 이격 공간 및 상기 홀과 삽입 모듈 사이의 이격 공간에는 유전체가 형성되는 힘 센서
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6
제 5 항에 있어서,상기 유전체는 폴리머, 공기, 물 중 적어도 어느 하나인 힘 센서
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| 7 |
7
세 개 이상의 힘 센서; 및상기 힘 센서에 작용하는 다축의 힘과 토크를 구하는 연산부를 포함하고, 상기 힘 센서는 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 힘 센서로서, 상기 연산부는 상기 세 개 이상의 힘 센서에서 측정된 각각의 수직 방향의 힘 및 수평 방향의 힘을 이용하여 다축 힘과 다축 토크를 구하는 다축 힘 및 토크 센서
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제 7 항에 있어서,상기 세 개 이상의 힘 센서는 동일 평면상에 배치되되, 동일 원주 상에 동일한 간격으로 서로 이격되도록 배치되는 다축 힘 및 토크 센서
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9
외력에 의해 위치가 변화하는 접지된 도전체로서, 평판 형태의 평판 모듈 및 상기 평판 모듈의 하면에 세 개 이상으로 돌출 형성되는 원기둥 형태의 삽입 모듈을 포함하는 그라운드부;평판 형태의 기판으로, 상기 평판 모듈과 이격 형성되고, 세 개 이상의 상기 삽입 모듈이 각각 이격 삽입될 수 있는 복수의 원형의 홀이 형성된 기판부;복수의 상기 홀에 대하여, 상기 홀의 측면 및 상기 기판부의 상면의 홀 가장자리에 형성되는 전극으로서, 전원을 인가 받아 상기 그라운드부와 함께 정전용량을 형성하는 복수의 전극부; 상기 복수의 전극부 각각에 대하여, 상기 정전용량 값을 이용하여 상기 그라운드부에 가해지는 수직 방향의 힘 또는 수평 방향의 힘을 측정하는 힘측정부; 및상기 힘측정부에서 측정된 수직 방향의 힘 및 수평 방향의 힘을 이용하여 상기 그라운드부에 가해지는 다축 힘과 다축 토크를 구하는 연산부를 포함하는 다축 힘 및 토크 센서
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10
제 9 항에 있어서,상기 홀의 측면 및 상기 기판부 상면의 홀 가장자리에 형성되는 전극은 일체로 형성되는 다축 힘 및 토크 센서
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제 10 항에 있어서,상기 전극부는 상기 홀의 원주 방향을 따라 분리 형성되는 다축 힘 및 토크 센서
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12
제 11 항에 있어서,상기 전극부는 상기 홀의 원주 방향을 따라 두 개 이상으로 등분되는 다축 힘 및 토크 센서
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제 9 항에 있어서,상기 평판 모듈과 상기 기판부 사이의 이격 공간 및 상기 홀과 삽입 모듈 사이의 이격 공간에는 유전체가 형성되는 다축 힘 및 토크 센서
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제 13 항에 있어서,상기 유전체는 폴리머, 공기, 물 중 적어도 어느 하나인 다축 힘 및 토크 센서
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제 9 항에 있어서,상기 삽입 모듈 및 상기 홀은 동일 원주 상에 동일한 간격으로 서로 이격되도록 배치되는 다축 힘 및 토크 센서
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