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열원에 접속되는 열접속 영역, 상기 열접속 영역을 감싸는 근접영역 및 상기 근접영역을 감싸는 외곽영역을 가지는 제1면과, 상기 제1면과 이격되어 상기 제1면에 대향되는 제2면과, 상기 제1면의 테두리 및 상기 제2면의 테두리에 연결되는 측면을 가지고, 내측에 작동유체를 수용하는 챔버; 다수의 제1마이크로 구멍을 가지도록 형성되고, 상기 챔버의 내측에서 상기 열접속 영역에 구비되며, 상기 열원으로부터 전달되는 열과 상기 작동유체의 접촉면적이 증가되어 상기 작동유체의 비등이 촉진되도록 하는 비등 촉진부; 상기 챔버의 내측에서 상기 근접영역에 구비되는 친수층; 그리고 상기 챔버의 내측에서 상기 외곽영역에 구비되는 소수층을 포함하고, 상기 챔버의 내측에서 상기 제1면은 상기 친수층 및 상기 소수층에 의해 젖음성 차이를 가지도록 형성되어, 상기 비등 촉진부에서 상기 작동유체가 비등되면서 발생되는 버블 펌핑에 의해 상기 작동유체는 상기 챔버의 중앙 하측에서 중앙 상측으로 이동 후, 상기 챔버의 중앙 상측에서 상기 챔버의 방사상 외측 상부로 이동하며, 이후 상기 챔버의 외측 상부에서 외측 하부로 이동되어 상기 챔버의 가장자리 부분에 이르고, 상기 소수층에서 상기 친수층 방향으로 이동되어 상기 비등 촉진부로 순환하면서 대류 및 상변화를 통하여 열전달되도록 하는 것을 특징으로 하는 TGP 유닛
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제1항에 있어서, 상기 비등 촉진부는 상기 열접속 영역에 적층되어 마련되는 것을 특징으로 하는 TGP 유닛
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제1항에 있어서, 상기 비등 촉진부는 상기 열접속 영역의 표면과 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 TGP 유닛
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제1항에 있어서, 상기 챔버는 상기 제1면 및 상기 제2면 중 적어도 어느 하나에 상기 챔버의 내측으로 돌출되도록 형성되고, 상기 제1면 및 상기 제2면 중 대향되는 면을 지지하여 상기 챔버의 형상이 유지되도록 하는 보강리브를 가지는 것을 특징으로 하는 TGP 유닛
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제1항에 있어서,상기 작동유체는 상기 제1면이 상측에 배치되어 상기 비등 촉진부가 상기 챔버 내부의 상부에 위치되더라도, 상기 비등 촉진부의 적어도 일부분이 상기 작동유체에 잠기도록 상기 챔버에 채워지는 것을 특징으로 하는 TGP 유닛
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일면에 함몰 형성되어 작동유체를 수용하는 수용홈을 가지는 베이스부와, 상기 베이스부의 타면에 형성되는 복수의 방열핀을 가지는 방열부; 상기 수용홈을 밀폐하도록 상기 베이스부에 일체로 구비되고, 열원에 접속되는 열접속 영역, 상기 열접속 영역을 감싸는 근접영역 및 상기 근접영역을 감싸는 외곽영역을 가지는 제1면; 다수의 제1마이크로 구멍을 가지도록 형성되고, 상기 수용홈의 내측에서 상기 열접속 영역에 구비되며, 상기 열원으로부터 전달되는 열과 상기 작동유체의 접촉면적이 증가되어 상기 작동유체의 비등이 촉진되도록 하는 비등 촉진부; 상기 수용홈과 상기 제1면은 챔버를 형성하고,상기 챔버의 내측에서 상기 근접영역에 구비되는 친수층; 그리고 상기 챔버의 내측에서 상기 외곽영역에 구비되는 소수층을 포함하며, 상기 챔버의 내측에서 상기 제1면은 상기 친수층 및 상기 소수층에 의해 젖음성 차이를 가지도록 형성되어, 상기 비등 촉진부에서 상기 작동유체가 비등되면서 발생되는 버블 펌핑에 의해 상기 작동유체는 상기 챔버의 중앙 하측에서 중앙 상측으로 이동 후, 상기 챔버의 중앙 상측에서 상기 챔버의 방사상 외측 상부로 이동하며, 이후 상기 챔버의 외측 상부에서 외측 하부로 이동되어 상기 챔버의 가장자리 부분에 이르고, 상기 소수층에서 상기 친수층 방향으로 이동되어 상기 비등 촉진부로 순환하면서 대류 및 상변화를 통하여 열전달되도록 하는 것을 특징으로 하는 TGP 유닛 일체형 히트싱크
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제8항에 있어서, 상기 방열핀을 내측에 수용하도록 구비되고, 내측에서 이동하는 상변화 유체가 상기 방열핀에 의해 가열되어 증발되는 증발부와, 상기 증발부에서 증발된 상변화 유체가 응축되도록 하는 응축부를 가지는 열교환 유닛을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 TGP 유닛 일체형 히트싱크
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제9항에 있어서,상기 방열부는 다수의 제2마이크로 구멍을 가지도록 형성되고, 상기 방열핀의 표면에 구비되며, 상기 방열핀으로부터 전달되는 열과 상기 상변화 유체의 접촉면적이 증가되어 상기 상변화 유체와의 열전달이 촉진되도록 하는 열전달 촉진층을 가지는 것을 특징으로 하는 TGP 유닛 일체형 히트싱크
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열원에 접속되는 열접속 영역, 상기 열접속 영역을 감싸는 근접영역 및 상기 근접영역을 감싸는 외곽영역을 가지는 제1면을 마련하는 제1면 마련단계; 상기 근접영역에 친수층을 마련하는 친수층 마련단계; 상기 외곽영역에 소수층을 마련하여 상기 제1면이 상기 친수층 및 상기 소수층에 의해 젖음성 차이를 가지도록 하는 소수층 마련단계; 다수의 제1마이크로 구멍을 가지는 비등 촉진부를 상기 열접속 영역에 마련하는 비등 촉진부 마련단계; 상기 제1면과 이격되어 상기 제1면에 대향되는 제2면과, 상기 제1면의 테두리 및 상기 제2면의 테두리에 연결되는 측면을 가지는 챔버를 마련하는 챔버 마련단계; 그리고 상기 비등 촉진부에서 비등되면서 발생되는 버블 펌핑에 의해 작동유체가 상기 챔버의 중앙 하측에서 중앙 상측으로 이동 후, 상기 챔버의 중앙 상측에서 상기 챔버의 방사상 외측 상부로 이동하며, 이후 상기 챔버의 외측 상부에서 외측 하부로 이동되어 상기 챔버의 가장자리 부분에 이르고, 상기 소수층에서 상기 친수층 방향으로 이동되어 상기 비등 촉진부로 순환하면서 대류 및 상변화를 통하여 열전달되도록 상기 챔버의 내측에 작동유체를 주입하는 주입단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 TGP 유닛의 제조방법
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