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액상매질에서의 미세입자 부양장치로서,내부에 나사산이 구비된 축결합관통홀이 형성되어 있는 덮개;상기 축결합관통홀에 결합될 수 있고, 외주면에 나사산이 구비된 반사판축, 및 상기 반사판축의 일단에 결합된 반사판;상측 및 하측이 개방되고 내부에 관통홀이 형성된 실린더;상기 실린더의 하측에 결합될 수 있는 실린더결합부가 상면에 형성되어 있고, 관통홀형태의 상부진동자수용부이 형성된 상부케이스;상기 상부케이스의 하측에 결합될 수 있고, 상면에 홈형태의 하부진동자수용홈이 형성된 중앙케이스; 및상기 상부진동자수용부 및 상기 하부진동자수용홈에 의한 공간에 수용되는 진동자;를 포함하는, 액상매질에서의 미세입자 부양장치
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청구항 1에 있어서,상기 상부케이스의 실린더결합부의 외주면에는 오링이 결합될 수 있는 케이스오링홈이 형성되어 있고,상기 케이스오링홈에 오링이 결합된 상태에서 오링의 외주면과 상기 실린더의 내부면이 접하는 형태로 상기 실린더결합부와 상기 실린더가 결합되는, 액상매질에서의 미세입자 부양장치
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청구항 1에 있어서,상기 실린더결합부는 상측에서 하측으로 갈수록 내경이 좁아지는 원통형이고,상기 상부케이스는 관통홀이 형성된 판상형 부재에 상기 실린더결합부가 상측에 결합된 형태인, 액상매질에서의 미세입자 부양장치
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청구항 1에 있어서,상기 중앙케이스의 내부에는 냉각수유로가 형성되어 있고,상기 중앙케이스의 상면에는 상기 하부진동자수용홈에서 연장되어 홈형태의 배선홈이 형성되어 있는, 액상매질에서의 미세입자 부양장치
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청구항 1에 있어서,상기 반사판축의 일단을 사용자가 회전 조작하는 경우, 상기 반사판축은 상기 축결합관통홀에서 상하 및 회전 이동할 수 있고, 이에 따라 상기 반사판의 위치가 변경될 수 있는, 액상매질에서의 미세입자 부양장치
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청구항 1에 있어서,상기 덮개에는 관통홀 형태의 가스주입홀, 상기 실린더의 상측의 일단이 안착될 수 있는 덮개단턱, 및 외주면에 오링이 결합될 수 있는 덮개오링홈이 더 형성되어 있고,상기 덮개오링홈에 오링이 결합된 상태에서 오링의 외주면과 상기 실린더의 내부면이 접하는 형태로 상기 덮개와 상기 실린더가 결합되는, 액상매질에서의 미세입자 부양장치
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청구항 1에 있어서,상기 반사판은 원형 디스크형태의 제1반사판;및 상기 제1반사판의 일면에 구비되는 복수의 제2반사판을 포함하는, 액상매질에서의 미세입자 부양장치
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청구항 1에 있어서,상기 실린더는, 상측에 형성되고 상측에서 하측으로 갈수록 내경이 줄어드는 상측관통홀;하측에서 형성되고 하측에서 상측으로 갈수록 내경이 증가하는 하측관통홀; 및상기 상측관통홀 및 상기 하측관통홀에 양단부가 연결된 유로;를 포함하고,상기 유로는 복수개로 구비되는, 액상매질에서의 미세입자 부양장치
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