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(1) 기판을 준비하는 단계;(2) 기판 상에 탄소나노튜브 및 포르피린 나노 파이버를 포함하는 가스감지부를 형성하는 단계; 및(3) 상기 가스감지부가 형성된 기판 상에 전극을 형성하는 단계;를 포함하는 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 기판은 실리콘 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 기판은 실리콘 산화막이 표면에 형성된 실리콘 기판을 포함하는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (1) 단계는, (1-1) 상기 기판의 표면을 친수성으로 개질하는 단계; 및 (1-2) 상기 (1-1)단계를 거친 기판 상에 폴리-L-리신(poly-L-lysine, PLL) 용액을 코팅하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 (1-1) 단계에서 상기 개질은 UV 오존 처리 또는 산소 플라스마 처리에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제4항에 있어서,상기 (1-2) 단계에서 상기 폴리-L-리신 용액의 코팅은 드롭 캐스팅, 스프레이 코팅 및 스핀 코팅으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 방법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브는 단일벽 탄소나노튜브(SWCNT, single-walled carbon nanotube)를 포함하는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 탄소나노튜브는 카르복실기로 표면 개질된 탄소나노튜브를 포함하는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 포르피린 나노 파이버는 옥소-[5,10,15,20-테트라(4-피리딜)포르피리네이토]티타늄(IV) (oxo-[5,10,15,20-tetra(4-pyridyl)porphyrinato]titanium(IV))을 포함하는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 포르피린 나노 파이버의 제조방법은,(a) 계면활성제 용액을 준비하는 단계;(b) 클로로포름에 포르피린을 용해시켜 포르피린 용액을 제조하는 단계;(c) 교반 중인 상기 계면활성제 용액에 상기 포르피린 용액을 적하하는 단계;(d) 상기 (c) 단계에 따라 얻어진 혼합액으로부터 클로로포름을 증발시키는 단계; 및(e) 상기 (d) 단계에 따라 클로로포름이 증발된 혼합액을 원심분리하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (2)단계는, 상기 기판 상에 탄소나노튜브 및 포르피린 나노 파이버를 포함하는 분산액을 코팅하는 단계를 포함하는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제11항에 있어서,상기 탄소나노튜브 및 포르피린 나노 파이버를 포함하는 분산액은 탈이온수(deionized water, DI water) 및 밀리-큐 워터(Milli-Q Water)로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 분산매를 포함하는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제11항에 있어서,상기 탄소나노튜브 및 포르피린 나노 파이버를 포함하는 분산액의 코팅은 드롭 캐스팅, 스프레이 코팅 및 스핀 코팅으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 방법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제1항에 있어서,상기 (2)단계는,(2-1) 상기 기판 상에 상기 탄소나노튜브를 흡착시켜 제1 감지층을 형성하는 단계; 및 (2-2) 상기 제1 감지층 상에 포르피린 나노 파이버를 코팅하여 제2 감지층을 형성하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제14항에 있어서,상기 (2-1) 단계에서 상기 탄소나노튜브의 흡착은 상기 탄소나노튜브가 분산된 용액에 기판을 침지한 후 빼내는 딥핑(dipping) 방법 및 상기 탄소나노튜브가 분산된 용액을 기판 상에 분사시키는 스프레이 방법으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 방법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제15항에 있어서,상기 탄소나노튜브가 분산된 용액은 디클로로벤젠(dichlorobenzene), 오르토-디클로로벤젠(ortho-dichlorobenzene), N-메틸-2-피롤리돈(N-methyl-2-pyrrolidinone), 헥사메틸포스포아마이드(hexamethylphosphoramide), 모로클로로벤젠(monochlorobenzene), N,N-디메틸포름아마이드(N,N-dimethylformamide), 디클로로에탄(dichloroethane), 이소프로필 알콜(isopropyl alcohol), 에탄올, 클로로포름 및 톨루엔으로 이루어진 그룹에서 선택된 1종 이상의 분산매를 포함하는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제14항에 있어서,상기 (2-2) 단계에서 상기 포르피린 나노 파이버는 수분산액 상태로 상기 제1 감지층 상에 코팅되는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제14항에 있어서,상기 (2-2) 단계에서 상기 포르피린 나노 파이버의 코팅은 드롭 캐스팅, 스프레이 코팅 및 스핀 코팅으로 이루어진 군에서 선택된 1종 이상의 방법에 의해 수행되는 것을 특징으로 하는, 과산화수소 검출용 센서의 제조방법
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제1항 내지 제18항 중 선택된 어느 한 항에 따라 제조된 과산화수소 검출용 센서로서,기판; 상기 기판 상에 형성되며, 탄소나노튜브와 포르피린(porphyrin) 나노 파이버를 포함하는 가스감지부; 및상기 가스감지부 상에 형성된 전극을 포함하는 과산화수소 검출용 센서
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