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a) 기재부를 코팅하는 단계;b) 코팅된 상기 기재부의 상부에 미소구를 포함한 중합체로 이루어진 혼합층을 형성하는 단계;c) 상기 혼합층의 상부에 금속 전극을 증착하는 단계; 및d) 상기 금속 전극이 증착된 상기 혼합층에 열을 가해 상기 미소구를 팽창시킴으로써, 상기 금속 전극에 미세 균열을 형성하는 단계를 포함하며,상기 미소구는 열팽창형 중공 미소구(TEMS, thermo expandable microcapsules)인 것을 특징으로 하는 미세 균열이 형성된 스트레인 게이지의 제작방법
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제 1 항에 있어서,상기 a) 단계에서, 상기 기재부의 상면에는, 유기물질이 부착되는 것을 방지하도록 자기조립단분자막(Self-assembled Monolayer)이 기상법에 의해 코팅되도록 마련된 것을 특징으로 하는 미세 균열이 형성된 스트레인 게이지의 제작방법
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제 1 항에 있어서,상기 b) 단계는,b1) 상기 기재부의 상부에 폴리머(polymer)를 캐스팅(casting)하여 폴리머층을 형성하는 단계; 및b2) 형성된 상기 폴리머층의 상부에 PDMS(Polydimethylsiloxane) 및 상기 미소구를 혼합한 상기 중합체를 코팅하여 혼합층을 형성하는 단계를 포함하며,상기 중합체는 스핀 코팅에 의해 코팅되는 것을 특징으로 하는 미세 균열이 형성된 스트레인 게이지의 제작방법
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제 1 항에 있어서,상기 d) 단계에서,상기 혼합층은 상기 금속 전극에 미세 균열이 형성될 수 있도록 100도 이상으로 가열되는 것을 특징으로 하는 미세 균열이 형성된 스트레인 게이지의 제작방법
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제 1 항에 있어서,상기 d) 단계 이후에는, e) 상기 금속 전극의 양단에 저항 측정용 전극을 연결하여 스트레인 게이지를 형성하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 미세 균열이 형성된 스트레인 게이지의 제작방법
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제 1 항에 있어서,상기 미소구는,내부가 중공 형성된 중공구; 및상기 중공구 내부에 형성된 충진재로 이루어지며,상기 충진재는 열이 가해지면 부피가 팽창하도록 마련된 것을 특징으로 하는 미세 균열이 형성된 스트레인 게이지의 제작방법
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제 6 항에 있어서,상기 중공구는 열가소성수지(thermoplastic resin)로 이루어지고, 상기 충진재는 탄화수소(Hydro carbon)로 이루어진 것을 특징으로 하는 미세 균열이 형성된 스트레인 게이지의 제작방법
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제 6 항에 있어서,상기 중공구의 두께는 2 내지 15㎛인 것을 특징으로 하는 미세 균열이 형성된 스트레인 게이지의 제작방법
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제 1 항에 따른 미세 균열이 형성된 스트레인 게이지의 제작방법에 의해 제작된 스트레인 게이지
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