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제 1 투명전극;상기 제 1 투명전극 상의 제 2 투명전극;상기 제 1 투명전극과 상기 제 2 투명전극 사이에 배치되는 광 흡수층;상기 제 1 투명전극에 인접하게 배치되는 제 1 컬러 구현층; 및 상기 제 2 투명전극에 인접하게 배치되는 제 2 컬러 구현층을 포함하되,상기 제 1 컬러 구현층은: 상기 제 1 투명전극 상의 제 1 절연층; 및 상기 제 1 투명전극과 상기 제 1 절연층 사이의 제 1 도전층을 포함하는 컬러 투명 태양전지
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제 1 항에 있어서,상기 제 2 컬러 구현층은: 상기 제 2 투명전극 상의 제 2 절연층; 및 상기 제 2 투명전극과 상기 제 2 절연층 사이의 제 2 도전층을 포함하는 컬러 투명 태양전지
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제 1 항에 있어서,하부기판을 더 포함하되, 상기 하부기판은 투명기판인 컬러 투명 태양전지
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제 3 항에 있어서,상기 투명기판은 유리, 사파이어, PI, PET, PEN 중 어느 하나를 포함하는 컬러 투명 태양전지
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제 1 항에 있어서,상기 광 흡수층은 비정질 실리콘, 미세결정 실리콘, 실리콘 산화물, 실리콘 질화물, 실리콘 탄화물 또는 실리콘-게르마늄 중 어느 하나를 포함하는 컬러 투명 태양전지
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6
제 1 항에 있어서,상기 제 1 절연층은 SiO2, SiN, Al2O3, ZrO2, ZnO, TiO2, SiTiO, AlTiO, AlSiO 또는 SiZrO 중 어느 하나를 포함하는 컬러 투명 태양전지
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7
제 1 항에 있어서,상기 제 1 도전층은 산화물 전도체 또는 금속을 포함하는 컬러 투명 태양전지
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제 7 항에 있어서,상기 산화물 전도체는 ZnO 또는 SnO2를 포함하고, 상기 금속은 Ag, Al, Cu 또는 Au를 포함하는 컬러 투명 태양전지
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9
제 1 항에 있어서,상기 제 1 절연층 및 상기 제 1 도전층 각각의 두께 또는 굴절률을 조절하여 상기 제 1 컬러 구현층의 색상이 구현되고,상기 제 2 절연층 및 상기 제 2 도전층 각각의 두께 또는 굴절률을 조절하여 상기 제 2 컬러 구현층의 색상이 구현되며, 상기 제 1 컬러 구현층과 상기 제 2 컬러 구현층의 색상은 각각 독립적으로 구현되는 컬러 투명 태양전지
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10
제 9 항에 있어서, 상기 제 1 컬러 구현층과 상기 제 2 컬러 구현층의 색상을 각각 독립적으로 구현하는 것은, 상기 제 2 컬러 구현층의 색상을 유지하면서, 상기 제 1 컬러 구현층의 두께 또는 굴절률을 조절하여 상기 제 1 컬러 구현층의 색상만 변화시키는 것, 또는상기 제 1 컬러 구현층의 색상을 유지하면서, 상기 제 2 컬러 구현층의 두께 또는 굴절률을 조절하여 상기 제 2 컬러 구현층의 색상만 변화시키는 것인 컬러 투명 태양전지
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11
제 1 항에 있어서, 상기 제 1 투명전극 및 상기 제 1 도전층을 관통하고 상기 제 1 절연층을 노출시키는 제 1 홀을 더 포함하되, 상기 광 흡수층은 상기 제 1 홀의 내부로 연장되는 컬러 투명 태양전지
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12
제 1 항에 있어서, 상기 광 흡수층을 관통하고 상기 제 1 투명전극을 노출시키는 제 2 홀을 더 포함하되, 상기 제 2 투명전극은 상기 제 2 홀의 내부로 연장되는 컬러 투명 태양전지
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13
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 도전층부터 상기 광흡수층을 관통하고 상기 제 1 투명전극을 노출시키는 제 3 홀을 더 포함하는 컬러 투명 태양전지
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14
제 1 항에 있어서, 상기 제 2 절연층부터 상기 광흡수층을 관통하고 상기 제 1 투명전극을 노출시키는 제 4 홀을 더 포함하는 컬러 투명 태양전지
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제 1 컬러 구현층의 제 1 절연층 및 제 1 도전층을 순차적으로 형성하는 단계;상기 제 1 컬러 구현층 상에 제 1 투명전극을 형성하는 단계;상기 제 1 투명전극 상에 광 흡수층을 형성하는 단계;상기 광 흡수층 상에 제 2 투명전극을 형성하는 단계; 및상기 제 2 투명전극 상에 제 2 컬러 구현층의 제 2 도전층 및 제 2 절연층을 순차적으로 형성하는 단계를 포함하되, 상기 제 1 및 제 2 절연층들의 각각을 형성하는 것은 제 1 서브사이클(subcycle)을 수행하는 것을 포함하고, 상기 제 1 서브사이클은: 제 1 전구체를 공급하는 단계; 불활성 가스를 공급하는 단계; 상기 제 1 전구체와 반응시키는 반응 가스를 공급하는 단계; 및 상기 불활성 가스를 공급하는 단계를 포함하는 컬러 투명 태양전지의 제조방법
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제 15 항에 있어서, 상기 제 1 투명전극을 형성한 후 상기 제 1 투명전극 및 상기 제 1 도전층을 관통하는 제 1 홀을 형성하여 상기 제 1 절연층을 노출시키는 단계; 상기 광 흡수층을 형성한 후 상기 광 흡수층을 관통하는 제 2 홀을 형성하여 상기 제 1 투명전극을 노출시키는 단계;상기 제 2 도전층을 형성한 후 상기 제 2 도전층부터 상기 광흡수층을 관통하는 제 3 홀을 형성하여 상기 제 1 투명전극을 노출시키는 단계; 및상기 제 2 절연층을 형성한 후 상기 제 2 절연층부터 상기 광흡수층을 관통하는 제 4 홀을 형성하여 상기 제 1 투명전극을 노출시키는 단계를 더 포함하는 컬러 투명 태양전지의 제조방법
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17
제 15 항에 있어서,상기 제 1 및 제 2 절연층의 각각을 형성하는 것은, 제 1 서브사이클 후 제 2 서브사이클을 수행하는 것을 더 포함하고, 상기 제 2 서브사이클은: 제 2 전구체를 공급하는 단계; 불활성 가스를 공급하는 단계; 상기 제 2 전구체와 반응시키는 반응 가스를 공급하는 단계; 및상기 불활성 가스를 공급하는 단계를 포함하는 컬러 투명 태양전지의 제조방법
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18
제 15 항에 있어서,상기 형성되는 제 1 절연층 및 제 1 도전층의 두께 또는 굴절률을 조절하여 상기 제 1 컬러 구현층의 색상을 구현하고,상기 형성되는 제 2 절연층 및 제 2 도전층의 두께 또는 굴절률을 조절하여 상기 제 2 컬러 구현층의 색상을 구현하며, 상기 제 1 컬러 구현층과 상기 제 2 컬러 구현층의 색상은 각각 독립적으로 구현되는 컬러 투명 태양전지의 제조방법
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제 18 항에 있어서, 상기 제 1 컬러 구현층과 상기 제 2 컬러 구현층의 색상을 각각 독립적으로 구현하는 것은, 상기 제 2 컬러 구현층의 색상을 유지하면서, 상기 제 1 절연층 및 제 1 도전층 각각의 두께 또는 굴절률을 조절하여 상기 제 1 컬러 구현층의 색상만을 변화시키는 것, 또는상기 제 1 컬러 구현층의 색상을 유지하면서, 상기 제 2 절연층 및 제 2 도전층 각각의 두께 또는 굴절률을 조절하여 상기 제 2 컬러 구현층의 색상만을 변화시키는 것인 컬러 투명 태양전지의 제조방법
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