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프레임;상기 프레임에 결합되며, 스테이지에 놓인 대상물을 홀딩하여 상기 스테이지로부터 상기 대상물을 이격시키는 제1 홀딩유닛; 및상기 프레임에 결합되며, 상기 스테이지로부터 이격된 상기 대상물의 측면부를 홀딩하는 제2 홀딩유닛;을 포함하며,상기 제2 홀딩유닛은,내부에 수용공간을 구비하는 유연커버와, 상기 수용공간에 채워지고 상기 대상물의 측면부 형상에 대응하여 변형되는 분말체를 구비하는 그립부; 및상기 그립부가 변형된 상태에서 상기 수용공간의 공기를 흡입하여 상기 유연커버를 수축시켜 상기 분말체가 압착 고정됨으로써 상기 그립부가 상기 대상물을 홀딩하도록 하는 부압발생부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치
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제1 항에 있어서,상기 제1 홀딩유닛은,상기 대상물의 일면에 밀착됨으로써 내부 공간이 밀폐되는 흡착부;상기 흡착부 내부의 공기를 흡입하여 상기 흡착부에 상기 대상물이 흡착되도록 하는 제1 부압발생부; 및상기 프레임과 상기 흡착부를 연결하며, 상기 흡착부에 흡착된 상기 대상물이 상승되거나 하강되도록 하는 제1 이송부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치
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제2항에 있어서,상기 제1 이송부는,상기 프레임과 상기 흡착부를 연결하는 신축연결부; 및상기 신축연결부 내부의 공기를 흡입하거나 공급함에 따라 상기 신축연결부가 수축되거나 신장되도록 하는 제2 부압발생부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치
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제3항에 있어서,상기 신축연결부는,내부에 공기가 공급되어 상압이 유지되면, 상기 흡착부가 자중에 의해 하강하여 상기 제2 홀딩유닛보다 낮은 제1 높이에 위치하도록 최대 신장 상태를 유지하고,내부에 공기가 빠져나가 부압이 발생되면, 상기 흡착부에 흡착된 상기 대상물이 상기 제2 홀딩유닛과 동일한 제2 높이에 위치하도록 최대 수축 상태를 유지하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치
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제3항에 있어서,상기 신축연결부는,상기 프레임에 결합되는 상부결합지지대;상기 흡착부에 결합되는 하부결합지지대;상기 상부결합지지대와 상기 하부결합지지대 사이에 배치되는 하나 이상의 중간연결지지대; 및상기 상부결합지지대와 상기 중간연결지지대 및 상기 중간연결지지대와 상기 하부결합지지대를 연결하며, 상기 신축연결부의 내부 공간이 밀폐되도록 하는 유연연결부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치
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제5항에 있어서,상기 신축연결부는,상기 상부결합지지대와 상기 하부결합지지대를 연결하며, 상기 신축연결부가 신장된 상태에서 상기 상부결합지지대와 상기 하부결합지지대 사이의 간격을 제한하는 간격유지부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치
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제1항에 있어서,상기 제2 홀딩유닛은,상기 프레임과 상기 그립부를 연결하며, 상기 대상물을 향해 상기 그립부를 근접시키거나 이격시키는 제2 이송부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치
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제1항에 있어서,상기 제2 홀딩유닛은,상기 유연커버의 타면에 밀착되도록 마련되며, 상기 그립부가 변형 시 함께 압축 변형되면서 상기 그립부를 지지하는 유연지지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 홀딩장치
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제1 스테이지;상기 제1 스테이지와 이격 배치되는 제2 스테이지; 및제1항 내지 제8항 중 어느 한 항에 기재된 홀딩장치가 구비되며, 상기 제1 스테이지의 대상물을 상기 제2 스테이지 측으로 이송시키는 이송로봇;을 포함하는 것을 특징으로 하는 이송시스템
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제9항에 기재된 이송시스템을 이용하며, 상기 제1 스테이지에서 상기 제2 스테이지 측으로 대상물을 이송하는 이송방법으로서,상기 제1 스테이지에 안착된 상기 대상물의 상측으로 상기 홀딩장치를 이송시키는 제1 이송단계;상기 대상물의 상부면을 홀딩하여 상기 제1 스테이지로부터 상기 대상물을 이격시키는 제1 홀딩단계;상기 제1 스테이지로부터 이격된 상기 대상물의 측면부를 홀딩하는 제2 홀딩단계;상기 홀딩장치에 홀딩된 상기 대상물을 상기 제2 스테이지의 상측으로 이송시키는 제2 이송단계;상기 대상물의 측면부에 대한 홀딩을 해제하는 제1 분리단계; 및상기 제2 스테이지에 상기 대상물을 안착시킨 후 상기 대상물의 상부면에 대한 홀딩을 해제하는 제2 분리단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방법
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제10항에 있어서,상기 제1 홀딩단계는,상기 대상물의 상부면에 상기 흡착부가 밀착된 상태에서 상기 흡착부의 내부 공기를 흡입하여 상기 흡착부에 상기 대상물이 흡착되도록 하는 제1 흡착단계; 및상기 흡착부에 흡착된 상기 대상물을 상승시켜 상기 제1 스테이지로부터 상기 대상물이 이격되도록 하는 제1 상승단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방법
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제10항에 있어서,상기 제2 홀딩단계는,상기 대상물을 향해 상기 그립부를 근접 이동시켜 상기 대상물의 가압력에 의해 상기 그립부가 변형되도록 하는 제2 가압단계; 및상기 그립부가 변형된 상태에서 상기 수용공간의 공기를 흡입하여 상기 유연커버를 수축시켜 상기 분말체가 압착 고정됨으로써 상기 그립부에 상기 대상물이 홀딩되도록 하는 제2 그립단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방법
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제10항에 있어서,상기 제2 홀딩단계 완료 후 수행되며, 상기 대상물의 상부면에 대한 홀딩을 해제하는 제1 홀딩해제단계; 및상기 제2 이송단계 완료 후 수행되며, 상기 대상물의 상부면을 재차 홀딩하는 제1 재차홀딩단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송방법
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