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폴리머 기판에 열에너지를 가해서 탄화 영역을 형성하고, 상기 탄화 영역이 그래핀 전극으로 형성되도록 패터닝하는 전극 패터닝 단계; 유연 기판의 일면에 점착층을 마련하는 점착층 마련단계; 상기 그래핀 전극이 상기 점착층의 일면에 대향되도록 위치시킨 후, 상기 폴리머 기판을 상기 점착층에 열가압하여 상기 그래핀 전극이 상기 점착층으로 전사되도록 하는 전사단계; 그리고 상기 점착층에 상기 그래핀 전극만 남도록, 상기 폴리머 기판을 상기 점착층으로부터 제거하는 제거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 전극 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 폴리머 기판은 폴리이미드(Polyimide), 폴리에테르설폰(Polyethersulfone), 폴리메틸메타크릴레이트(Poly methyl methacrylate) 및 폴리디메틸실록산(Polydimethylsiloxane) 중 하나 이상의 소재로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유연 전극 제조방법
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제1항에 있어서, 상기 전극 패터닝 단계에서, 상기 폴리머 기판에는 레이저를 조사하여 상기 열에너지를 가하는 것을 특징으로 하는 유연 전극 제조방법
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제1항에 있어서,상기 점착층 마련단계는 상기 점착층 및 상기 점착층과 부착된 이형층을 가지는 열전사 부재를 마련하고, 상기 점착층이 상기 유연 기판의 일면에 부착되도록 하는 부착단계와, 상기 유연 기판에 상기 점착층만 남도록 상기 이형층을 분리하는 이형단계를 가지는 것을 특징으로 하는 유연 전극 제조방법
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제4항에 있어서,상기 부착단계에서 상기 점착층 및 상기 유연 기판은, 상기 유연기판의 일면에 상기 점착층이 밀착된 상태에서 상기 점착층 및 상기 유연기판이 서로 밀착되도록 열가압되어 부착되는 것을 특징으로 하는 유연 전극 제조방법
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유연 기판의 일면에 전극 패턴용의 점착층 패턴을 형성하는 전극 패턴용 점착층 패턴 마련단계; 전도성 소재가 도포된 필름을 마련하고, 상기 전도성 소재가 상기 점착층 패턴에 대향되도록 위치시킨 후, 상기 필름을 상기 점착층 패턴에 가압하여 상기 전도성 소재를 상기 점착층 패턴에 전사하는 전사단계; 그리고 상기 유연 기판에 상기 전도성 소재가 전사된 전극만 남도록, 상기 필름을 제거하는 제거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 유연 전극 제조방법
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제6항에 있어서,상기 전극 패턴용 점착층 패턴 마련단계는 점착층 및 상기 점착층과 부착된 이형층을 가지는 열전사 부재를 마련하고, 상기 점착층이 상기 유연 기판의 일면에 부착되도록 하는 부착단계와, 상기 점착층 패턴을 형성하기 위해 상기 열전사 부재를 커팅하는 커팅단계와, 상기 유연 기판에 상기 점착층 패턴만 남도록, 상기 유연 기판으로부터 상기 열전사 부재를 분리하는 이형단계를 가지는 것을 특징으로 하는 유연 전극 제조방법
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제7항에 있어서,상기 커팅단계에서, 상기 열전사 부재는 레이저에 의해 커팅되는 것을 특징으로 하는 유연 전극 제조방법
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제6항에 있어서, 상기 전도성 소재는 나노 탄소 소재, 금속 소재, 금속 산화물 소재, 저차원소재 중 하나 이상으로 이루어지는 것을 특징으로 하는 유연 전극 제조방법
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제1항 또는 제6항 중 어느 하나에 기재된 유연 전극 제조방법으로 제조되는 유연 전극
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