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다이아프램에 부착되어 상기 다이아프램의 변형량의 크기를 전기적인 신호로 변환하여 출력하는 스트레인 게이지로서,일축 방향으로 작용하는 인장력에 비례해서 저항이 증가하는 제1 및 제3 저항 패턴과, 상기 일축 방향으로 작용하는 인장력에 비례해서 저항이 감소하는 제2 및 제4 저항 패턴을 포함하고, 제1 및 제3 저항 패턴과 제2 및 제4 저항 패턴이 서로 대각선으로 배치되는 4개의 저항 패턴; 및상기 제1 내지 제4 저항 패턴을 연결하여 풀-브릿지를 형성하는 4개의 접속 패드;를 포함하는 스트레인 게이지
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제1항에 있어서, 상기 4개의 저항 패턴은,상기 제1 저항 패턴 아래에 상기 제2 저항 패턴이 배치되고, 상기 제2 저항 패턴 옆에 상기 제3 저항 패턴이 배치되고, 상기 제3 저항 패턴의 상부에 상기 제4 저항 패턴이 배치되고, 상기 제4 저항 패턴 옆에 상기 제1 저항 패턴이 배치되는 것을 특징으로 하는 스트레인 게이지
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제2항에 있어서,상기 제1 및 제3 저항 패턴은 일축 방향으로 뻗어 있는 적어도 하나의 수평 패턴을 포함하고,상기 제2 및 제3 저항 패턴은 일축 방향에 수직 방향으로 뻗어 있는 적어도 하나의 수직 패턴을 포함하는 것을 특징으로 하는 스트레인 게이지
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제3항에 있어서,상기 제1 및 제3 저항 패턴은 일축 방향으로 뻗어 있는 복수의 수평 패턴을 포함하고 상기 복수의 수평 패턴은 수직 연결 패턴을 매개로 하나의 라인으로 연결되어 있고,상기 제2 및 제3 저항 패턴은 일축 방향에 수직 방향으로 뻗어 있는 복수의 수직 패턴을 포함하고 상기 복수의 수직 패턴은 수평 연결 패턴을 매개로 하나의 라인으로 연결되어 있는 것을 특징으로 하는 스트레인 게이지
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5
제3항에 있어서, 상기 4개의 접속 패드는,일축 방향으로 상부에 위치하는 상기 제1 및 제4 저항 패턴을 연결하는 제1 접속 패드;상하로 위치하는 상기 제1 및 제2 저항 패턴 사이를 연결하는 제2 접속 패드;일축 방향으로 하부에 위치하는 상기 제2 및 제3 저항 패턴을 연결하는 제3 접속 패드; 및상하로 위치하는 상기 제3 및 제4 저항 패턴 사이를 연결하는 제4 접속 패드;를 포함하는 것을 특징으로 하는 스트레인 게이지
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6
제5항에 있어서,상기 제1 접속 패드에 (+)전압이 인가되고, 상기 제3 접속 패드에 (-)전압이 인가되고, 상기 제2 및 제4 접속 패드로 출력이 이루어지는 것을 특징으로 하는 스트레인 게이지
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7
제6항에 있어서,일축 방향으로 적어도 한 쪽에 인장력이 작용하면, 상기 제1 및 제3 저항 패턴의 저항은 증가하고, 상기 제2 및 제4 저항 패턴의 저항은 감소하고,대각선에 위치하는 상기 제1 및 제3 저항 패턴의 저항 증가분과 상기 제2 및 제3 저항 패턴의 저항 감소분은 동일하거나 비슷한 것을 특징으로 하는 스트레인 게이지
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8
스트레인 게이지가 부착되는 다이아프램 구조체로서,압력이 인가되는 관통 구멍이 형성된 하부 베이스;상기 하부 베이스의 관통 구멍에 연통되며 일정 높이의 원통으로 형성되며, 상기 하부 베이스의 관통 구멍으로 인가되는 압력에 의해 상기 원통의 축 방향으로 길이가 탄성적으로 변형되며, 외주면에 스트레인 게이지가 부착되는 원통 다이아프램; 및상기 원통 다이아프램의 상부를 덮으며, 상기 관통 구멍으로 인가되는 압력을 상기 원통 다이아프램의 내주면으로 작용하도록 하는 상부 베이스;를 포함하는 다이아프램 구조체
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9
제8항에 있어서,상기 원통 다이아프램은 인가되는 압력에 의해 원통의 축 방향으로 인장력이 작용할 수 있도록 직경이 높이보다 1
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10
원통 다이아프램을 포함하는 다이아프램 구조체; 및상기 원통 다이아프램에 부착되어 상기 원통 다이아프램의 변형량의 크기를 전기적인 신호로 변환하여 출력하는 스트레인 게이지;를 포함하고,상기 다이아프램 구조체는,압력이 인가되는 관통 구멍이 형성된 하부 베이스;상기 하부 베이스의 관통 구멍에 연통되며 일정 높이의 원통으로 형성되며, 외주면에 상기 스트레인 게이지가 부착되는 상기 원통 다이아프램; 및상기 원통 다이아프램의 상부를 덮으며, 상기 관통 구멍으로 인가되는 압력을 상기 원통 다이아프램의 내주면으로 작용하도록 하는 상부 베이스;를 포함하고,상기 스트레인 게이지는,상기 원통 다이아프램의 축 방향으로 작용하는 인장력에 비례해서 저항이 증가하는 제1 및 제3 저항 패턴과, 상기 원통 다이아프램의 축 방향으로 작용하는 인장력에 비례해서 저항이 감소하는 제2 및 제4 저항 패턴을 포함하고, 제1 및 제3 저항 패턴과 제2 및 제4 저항 패턴이 서로 대각선으로 배치되는 4개의 저항 패턴; 및상기 제1 내지 제4 저항 패턴을 연결하여 풀-브릿지를 형성하는 4개의 접속 패드;를 포함하는 스트레인 게이지를 기반으로 하는 센서
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11
제10항에 있어서,상기 원통 다이아프램은 인가되는 압력에 의해 원통의 축 방향으로 인장력이 작용할 수 있도록 직경이 높이보다 1
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제10항에 있어서,상기 센서는 압력센서, 로드 셀(load cell), 가속도센서, 각속도센서 및 유량센서로 이루어진 그룹에서 선택되는 것을 특징으로 하는 스트레인 게이지를 기반으로 하는 센서
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