1 |
1
기판;상기 기판 상에 위치한 제1 전극층;상기 제1 금속층 상에 위치한 절연층; 상기 절연층 상에 위치한 금속 나노 구조층; 상기 금속 나노 구조층 상에 용매 주입을 위한 용매 주입 공간을 형성하면서 상기 금속 나노 구조층과 이격되어 위치하는 제2 전극층; 및상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층 사이에 전압을 형성하는 전압 형성부를 포함하되,상기 금속 나노 구조층은 복수의 나노 섬들이 연결된 나노 섬 네트워크 구조이며, 상기 절연층은 소수성 물질을 포함하는 복수의 기둥과 상기 복수의 기둥에 의해 정의된 복수의 공간을 포함하고, 상기 용매 주입 공간에 주입되는 용매는 극성 용매이며,상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층 사이에 전압이 형성되지 않는 경우, 상기 극성 용매는 상기 금속 나노 구조층을 통과하여 상기 절연층의 복수의 공간으로 유입되지 않는 상태이고,상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층 사이에 전압이 형성되는 경우, 상기 극성 용매는 상기 금속 나노 구조층을 통과하여 상기 절연층의 복수의 공간으로 유입되는 나노 광학 센서
|
2 |
2
제1 항에 있어서, 상기 용매가 상기 복수의 공간으로 유입됨에 따라, 상기 절연층의 유효 유전률 값이 변화되고, 반사 스펙트럼에서 공명 파장이 전이되는 나노 광학 센서
|
3 |
3
제2 항에 있어서, 상기 공명 파장의 전이는 가시 광선 영역내에서 수행되는 것을 특징으로 하는 나노 광학 센서
|
4 |
4
제1 항에 있어서, 상기 극성 용매가 상기 절연층의 복수의 공간으로 유입된 이후, 상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층 사이에 형성된 전압이 오프(off)되더라도 상기 극성 용매가 상기 절연층의 복수의 공간에 유입된 상태가 계속 유지되는 나노 광학 센서
|
5 |
5
제1 항에 있어서,상기 극성 용매는 상기 극성 용매에 용해 가능한 표적 물질을 포함하며, 상기 극성 용매에 포함된 상기 표적 물질에 따라 상기 절연층의 유효 유전률 값이 변화되고, 반사 스펙트럼에서 공명 파장이 전이되는 나노 광학 센서
|
6 |
6
제1 항에 있어서,상기 용매 주입 공간에 위치한 극성 용매는 상기 극성 용매가 상기 금속 나노 구조층 상에 머무르는 상태인 카시 상태, 상기 극성 용매가 상기 금속 나노 구조층의 개구부를 통과하여 상기 절연층의 복수의 공간을 완전하게 채운 상태인 웬젤 상태 또는 상기 카시 상태와 상기 웬젤 상태의 전이 상태에 해당하는 중간 상태로 존재하는 것을 특징으로 하는 나노 광학 센서
|
7 |
7
제6 항에 있어서, 상기 중간 상태에서 나노 광학 센서의 반사 스펙트럼은 선형적으로 쉬프트되는 것을 특징으로 하는 나노 광학 센서
|
8 |
8
기판, 상기 기판 상에 위치한 제1 전극층, 상기 제1 금속층 상에 위치한 절연층, 상기 절연층 상에 위치한 금속 나노 구조층, 상기 금속 나노 구조층 상에 용매 주입을 위한 용매 주입 공간을 용매 주입 공간을 형성하면서 상기 금속 나노 구조층과 이격되어 위치하는 제2 전극층 및 상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층 사이에 전압을 형성하는 전압 형성부를 포함하되, 상기 금속 나노 구조층은 복수의 나노 섬들이 연결된 나노 섬 네트워크 구조이며, 상기 절연층은 소수성 물질을 포함하는 복수의 기둥과 상기 복수의 기둥에 의해 정의된 복수의 공간을 포함하는 나노 광학 센서를 준비하는 단계;상기 용매 주입 공간에 극성 용매를 주입하는 단계;상기 전압 형성부를 통해 상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층 사이에 전압을 형성하여 상기 극성 용매를 상기 절연층의 복수의 공간으로 주입시키는 단계; 및상기 나노 광학 센서에서 표시되는 색을 확인하는 단계를 포함하는 나노 광학 센서를 활용한 극성 용매 분석 방법
|
9 |
9
제8 항에 있어서, 상기 용매가 상기 복수의 공간으로 유입됨에 따라, 상기 절연층의 유효 유전률 값이 변화되고, 반사 스펙트럼에서 공명 파장이 전이되는 나노 광학 센서를 활용한 극성 용매 분석 방법
|
10 |
10
제9 항에 있어서, 상기 공명 파장의 전이는 가시 광선 영역내에서 수행되는 것을 특징으로 하는 나노 광학 센서를 활용한 극성 용매 분석 방법
|
11 |
11
제8 항에 있어서, 상기 극성 용매가 상기 절연층의 복수의 공간으로 유입된 이후, 상기 제1 전극층과 상기 제2 전극층 사이에 형성된 전압이 오프(off)되더라도 상기 극성 용매가 상기 절연층의 복수의 공간에 유입된 상태가 계속 유지되는 나노 광학 센서를 활용한 극성 용매 분석 방법
|
12 |
12
제8 항에 있어서, 상기 극성 용매는 상기 극성 용매에 용해 가능한 표적 물질을 포함하며, 상기 극성 용매에 포함된 상기 표적 물질에 따라 상기 절연층의 유효 유전률 값이 변화되고, 반사 스펙트럼에서 공명 파장이 전이되는 나노 광학 센서를 활용한 극성 용매 분석 방법
|
13 |
13
제8 항에 있어서, 상기 용매 주입 공간에 위치한 극성 용매는 상기 극성 용매가 상기 금속 나노 구조층 상에 머무르는 상태인 카시 상태, 상기 극성 용매가 상기 금속 나노 구조층의 개구부를 통과하여 상기 절연층의 복수의 공간을 완전하게 채운 상태인 웬젤 상태 또는 상기 카시 상태와 상기 웬젤 상태의 전이 상태에 해당하는 중간 상태로 존재하는 것을 특징으로 하는 나노 광학 센서를 활용한 극성 용매 분석 방법
|
14 |
14
제13 항에 있어서, 상기 중간 상태에서 나노 광학 센서의 반사 스펙트럼은 선형적으로 쉬프트되는 것을 특징으로 하는 나노 광학 센서를 활용한 극성 용매 분석 방법
|