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격자 패턴을 갖는 몰드를 제작하는 단계;베이스 기판 또는 상기 몰드에 경화성 수지를 도포하는 단계;도포된 상기 수지에 상기 몰드의 상기 격자 패턴을 사용하여 임프린팅하는 단계; 및임프린팅된 수지에 반사층 금속을 증착하는 단계를 포함하는 엔코더를 제작하는 방법
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제 1 항에 있어서,상기 몰드를 제작하는 단계는,몰드 기판 상에 포토 레지스트를 상기 격자 패턴에 따라 패터닝하는 단계;패터닝된 몰드 기판 상에 시드 금속을 증착하는 단계;상기 포토 레지스트를 제거하여 상기 포토 레지스트 위에 증착된 시드 금속만 선택적으로 제거하는 리프트 오프 단계;상기 몰드 기판 상에 전주 도금을 수행하는 단계; 및도금된 몰드를 분리하는 단계를 포함하는 엔코더를 제작하는 방법
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3 |
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제 2 항에 있어서,상기 몰드를 제작하는 단계는,상기 패터닝하는 단계 이전에 수행되고, 상기 몰드 기판 상에 전도성 금속을 증착하는 단계를 더 포함하는 엔코더를 제작하는 방법
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4 |
4
제 2 항에 있어서,상기 몰드 기판은 전도성을 갖는 재질로 형성되고,상기 전주 도금을 수행하는 단계에서, 상기 몰드 기판에 전류가 통전되는 것을 특징으로 하는 엔코더를 제작하는 방법
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5 |
5
제 4 항에 있어서,상기 리프트 오프 단계에서, 상기 포토 레지스트가 제거된 부분으로부터 상기 몰드 기판의 표면이 노출되는 것을 특징으로 하는 엔코더를 제작하는 방법
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제 2 항에 있어서,상기 임프린팅하는 단계에서 사용되는 몰드는,상기 몰드를 제작하는 단계에서 제작된 몰드를 복제한 소프트 몰드인 것을 특징으로 하는 엔코더를 제작하는 방법
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7
격자 패턴을 갖는 몰드를 제작하는 단계;베이스 기판 또는 상기 몰드에 경화성 수지를 도포하는 단계;도포된 상기 수지에 상기 몰드의 상기 격자 패턴을 사용하여 임프린팅하는 단계;임프린팅된 수지에 시드 금속을 증착하는 단계;상기 시드 금속 상에 베이스 금속을 도금하는 단계; 및도금된 상기 베이스 금속을 분리하는 단계를 포함하는 엔코더를 제작하는 방법
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8 |
8
제 7 항에 있어서,상기 몰드를 제작하는 단계는,몰드 기판 상에 포토 레지스트를 사용하여 상기 격자 패턴에 따라 패터닝하는 단계;패터닝된 몰드 기판 상에 시드 금속을 증착하는 단계;상기 포토 레지스트를 제거하여 상기 포토 레지스트 위에 증착된 시드 금속만 선택적으로 제거하는 리프트 오프 단계;상기 몰드 기판 상에 전주 도금을 수행하는 단계; 및도금된 몰드를 분리하는 단계를 포함하는 엔코더를 제작하는 방법
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제 8 항에 있어서,상기 베이스 금속을 도금하는 단계에서,상기 베이스 금속은 철과 니켈의 합금을 포함하는 금속으로 도금되는 것을 특징으로 하는 엔코더를 제작하는 방법
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제 8 항에 있어서,상기 몰드 기판은 전도성을 갖는 재질로 형성되고,상기 전주 도금을 수행하는 단계에서, 상기 몰드 기판에 전류가 통전되는 것을 특징으로 하는 엔코더를 제작하는 방법
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제 8 항에 있어서,상기 패터닝하는 단계 이전에 수행되고, 상기 몰드 기판에 전도성 금속을 증착하는 단계를 더 포함하고,상기 전주 도금을 수행하는 단계에서, 상기 전도성 금속에 전류가 통전되는 것을 특징으로 하는 엔코더를 제작하는 방법
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12
제 8 항에 있어서,상기 임프린팅하는 단계에서 사용되는 몰드는,상기 몰드를 제작하는 단계에서 제작된 몰드를 복제한 소프트 몰드인 것을 특징으로 하는 엔코더를 제작하는 방법
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제 9 항에 있어서,상기 베이스 금속을 도금하는 단계는,상기 베이스 금속을 도금하기 전에 반사층 금속을 도금하는 단계를 포함하는 엔코더를 제작하는 방법
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격자 패턴을 갖는 몰드를 제작하는 단계;상기 몰드에 철과 니켈의 합금을 포함하는 베이스 금속으로 도금하는 단계; 및도금된 상기 베이스 금속을 분리하는 단계를 포함하는 엔코더를 제작하는 방법
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제 14 항에 있어서,상기 몰드를 제작하는 단계는,몰드 기판 상에 포토 레지스트를 사용하여 상기 격자 패턴에 따라 패터닝하는 단계;패터닝된 몰드 기판 상에 시드 금속을 증착하는 단계;상기 포토 레지스트를 제거하여 상기 포토 레지스트 위에 증착된 시드 금속만 선택적으로 제거하는 리프트 오프 단계;상기 몰드 기판 상에 전주 도금을 수행하는 단계; 및도금된 몰드를 분리하는 단계를 포함하는 엔코더를 제작하는 방법
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제 14 항에 있어서,상기 도금하는 단계 이전에 수행되고, 상기 몰드에 희생층 금속을 증착하는 단계를 더 포함하는 엔코더를 제작하는 방법
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