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마이크로파를 입력받는 마이크로파 도파관 형태의 마이크로파 입력부;상기 마이크로파 입력부에 결합된 마이크로파 커플러;상기 마이크로파 커플러로부터 소정의 거리 이격되어 있으며 상기 마이크로파 커플러로부터 마이크로파를 전달받아 동작하는 유전체 공진기;상기 마이크로파 입력부, 상기 마이크로파 커플러, 상기 유전체 공진기를 감싸 마이크로파의 외부 누설을 막아주는 금속몸체; 및상기 금속몸체의 외곽에 결합되며, 상기 금속몸체의 내부와 외부 사이의 열린 공간에서 마이크로파의 외부 누설이 차단되도록 보조하기 위한 마이크로파 누설 차단부를 포함하고,상기 유전체 공진기로부터 소정의 거리를 두고 위치한 대상 소재를 마이크로파 유도가열하기 위한 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제1항에 있어서,상기 유전체 공진기의 상면쪽, 하면쪽, 측면쪽, 또는 관통 구멍의 중심축에 놓인 상기 대상 소재를 마이크로파 유도가열하기 위한 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제1항에 있어서,상기 대상 소재는 면저항 0
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제1항에 있어서,상기 대상 소재는, 평면, 구면이나 곡면, 원통면, 또는 이들의 조합 형태를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제1항에 있어서,상기 유전체 공진기는, 원기둥이나 육면체의 기둥형, 구형, 둥근 모서리형, 대칭성이 없는 소정의 임의 형태, 중심에 관통구멍이 있는 형태, 하나의 공진기를 수직 또는 수평으로 분할하여 소정의 거리 이격되게 배열한 형태, 또는 복수의 공진기를 조합한 형태를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제1항에 있어서,상기 마이크로파 입력부는 상기 금속몸체의 동축 도파관과 결합되는 동축 도파관 형태를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제1항에 있어서,상기 마이크로파 커플러는, 상기 유전체 공진기의 하면으로부터 수직 방향으로 소정의 거리만큼 이격되어 있는 루프 형상의 금속을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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8
제1항에 있어서,상기 마이크로파 커플러는, 상기 유전체 공진기의 외곽에서 측면 또는 하면으로부터 소정의 거리만큼 이격되어 있는 막대 형상을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제1항에 있어서,상기 마이크로파 커플러와 상기 유전체 공진기의 결합상수에 기초하여, 제어장치의 제어에 따라 상기 마이크로파 커플러가 상기 유전체 공진기와 이격된 거리를 조절해 상기 유전체 공진기로 전달되는 마이크로파의 양의 조절이 가능한 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제1항에 있어서,제어장치의 제어에 따라 상기 금속몸체의 측벽이 상기 유전체 공진기와 이격된 거리를 조절해 상기 유전체 공진기에서의 공진모드의 전자기장의 공진 주파수를 조정 가능한 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제1항에 있어서,상기 마이크로파 누설 차단부는,상기 대상 소재가 로딩 또는 언로딩되는 경로의 주변에서 상기 금속몸체의 내부와 외부 사이의 소통되는 상기 열린 공간 주위에 결합된, 공동 공진기 또는 도파관을 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제1항에 있어서,상기 유전체 공진기 상부의 상기 금속몸체의 개구부 위로, 상기 유전체 공진기 상단부로부터 소정의 거리 이격되어 로딩된 상기 대상 소재를 유도가열하는 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제12항에 있어서,상기 마이크로파 누설 차단부는,상기 금속몸체의 개구부 주위의 외곽 둘레를 따라 고정된 플레이트 상에 공동 공진을 위한 복수의 막대가 상기 개구부와 나란한 방향으로 세워져 1차원 또는 2차원으로 배열된 형태를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제1항에 있어서,상기 유전체 공진기는 중심축에 관통 구멍을 포함하고, 상기 관통 구멍의 중심축 상에서 상기 금속몸체의 상단 또는 하단 중 하나 이상의 부분에 개구부를 포함하며,상기 개구부의 열린 공간을 통하여 상기 대상 소재를 상기 관통 구멍으로 로딩 또는 언로딩하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제14항에 있어서,상기 마이크로파 누설 차단부는,상기 금속몸체의 개구부 주위의 외곽 둘레를 따라 고정된 플레이트 상에 공동 공진을 위한 복수의 막대의 장방향이 상기 중심축과 수직한 방향으로 1차원 또는 2차원으로 배열된 형태를 포함하는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제1항에 있어서,상기 대상 소재를 이동시켜서 로딩 또는 언로딩하는 로더를 더 포함하고,상기 로더는 상기 대상 소재의 유도가열 영역을 연속적 또는 불연속적으로 변경 가능한 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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제1항에 있어서,상기 금속 몸체의 내측에 하나 이상의 제2 유전체 공진기와 하나 이상의 제2 마이크로파 커플러를 더 포함하고, 제어장치에 의해 상기 하나 이상의 제2 마이크로파 커플러는 각각 상기 하나 이상의 제2 유전체 공진기로 마이크로파를 인가하도록 제어되는 것을 특징으로 하는 마이크로파 유도가열 장치
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