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유입미세입자측정부를 이용하여 정화영역 내부의 매질에 포함되는 미세입자를 측정한 후, 미세입자측정데이터를 생성하여 제어부로 출력하는 초기 미세입자 측정단계;상기 제어부가 상기 미세입자측정데이터에 따라, 저장부에 저장된 미세입자 응집을 위한 서로 다른 주파수를 가지는 두 개 이상의 저주파음원들의 주파수 및 음압들을 추출하여 저주파음원을 생성하여 출력하는 음원생성단계; 및저주파음파발생부가 상기 저주파음원들에 대응하는 서로 다른 주파수를 갖는 두 개 이상의 저주파음파들을 상기 정화영역의 내부로 출력하여 미세입자를 응집시키는 미세입자 응집단계;를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 미세입자 응집 제거 방법
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제1항에 있어서, 상기 음원생성단계는,20㎐ 내지 20㎑ 범위의 서로 다른 주파수를 가지는 두 개 이상의 저주파음원들을 생성하는 단계인 것을 특징으로 하는 미세입자 응집 제거 방법
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제1항에 있어서, 상기 음원생성단계는,0㏈ 내지 100㏈ 범위의 음압을 가지도록 서로 다른 주파수를 가지는 두 개 이상의 저주파음원들을 생성하는 단계인 것을 특징으로 하는 미세입자 응집 제거 방법
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제1항에 있어서, 상기 미세입자 응집단계는,서로 대향하도록 상기 정화영역의 정화영역들에 설치되는 하나 이상의 액추에이터 쌍들을 통해 상기 저주파음원들에 대응하는 서로 다른 주파수를 갖는 두 개 이상의 저주파음파들을 출력하는 단계인 것을 특징으로 하는 미세입자 응집 제거 방법
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제1항에 있어서,상기 음원생성단계 이후, 음원증폭부가 상기 제어부에서 출력되는 서로 다른 주파수를 가지는 두 개 이상의 상기 저주파음원들을 수신하여 증폭한 후, 상기 저주파음파발생부로 출력하는 음원증폭단계;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 미세입자 응집 제거 방법
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제1항에 있어서, 상기 미세입자 응집단계 이후,상기 저주파음원들에 대한 피드백 제어를 위해 상기 정화영역들 내부의 저주파음파들의 주파수와 음압 또는 배출되는 유체 내부의 잔류 미세입자 중 하나 이상을 측정하여 생성된 피드백 제어 데이터를 상기 제어부로 출력하는 피드백 제어 데이터 측정단계;상기 제어부가 상기 수신된 피드백 제어 데이터를 이용하여 미세입자 제거 목표의 달성 여부를 판단하는 미세입자 제거 효율 달성 판단 단계; 및상기 미세입자 제거 효율 달성 판단 단계의 판단 결과 미세입자 제거 목표 효율이 달성되지 않은 경우, 응집효율을 높이도록 상기 저주파음원들의 주파수와 음압을 조절하여 서로 다른 주파수를 갖는 두 개 이상의 저주파음원들을 재생성하여 출력하는 저주파음원 피드백 조정 단계;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 미세입자 응집 제거 방법
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제6항에 있어서,상기 미세입자 제거 효율 달성 판단 단계의 판단 결과 미세입자 제거 목표 효율이 달성된 경우, 미세입자 제거 작업이 종료되지 않은 경우 미세입자 응집단계로 복귀하여 처리과정을 반복 수행하고, 미세입자 제거 작업이 종료된 경우 저리과정을 종료하는 미세입자 제거 작업 종료 판단단계;를 더 포함하여 것을 특징으로 하는 미세입자 응집 제거 방법
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제1항에 있어서,배기부를 이용하여 응집된 미세 입자응집체를 제거하는 응집된 미세입자 포집단계;를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 미세입자 응집 제거 방법
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