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어레이 형태의 복수의 픽셀 센서를 가지는, 곡면형 또는 유연한 이미지 센서 기판; 상기 이미지 센서 기판의 상부에 구비되며, 방사선을 받아 가시광으로 변환하기 위한, 곡면형 또는 유연한 섬광체 구조물; 및산란 방사선의 영향을 제거해 영상의 대조도를 높이기 위한 곡면형 또는 유연한 그리드를 포함하고,상기 이미지 센서 기판은, 각 픽셀에서의 상기 가시광에 비례하는 전기적 신호를 독출하기 위한 것으로서, 상기 섬광체 구조물은, 직접 형성되는 방식에 의해 곡면형 또는 유연하게 형성되어, 상기 이미지 센서 기판, 상기 섬광체 구조물 및 상기 그리드를 포함하는 전체적인 구조물이 곡면형 또는 유연하게 형성된 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
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제1항에 있어서,상기 이미지 센서 기판은, 회로 어레이가 형성된, 곡면형 또는 유연한 플라스틱 기판으로 제작된 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
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제1항에 있어서,상기 이미지 센서 기판은, 곡면형 또는 유연한 유리 기판 상에 회로 어레이가 형성된 형태, 또는 유리 기판 상에 회로 어레이를 형성한 후 상기 유리 기판의 후면을 식각하거나 연마하여 곡면형 또는 유연한 기판으로 제작된 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
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제1항에 있어서,상기 이미지 센서 기판은, 각 픽셀에서의 상기 가시광에 비례하는 전기적 신호를 독출하기 위해 포토다이오드를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
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제1항에 있어서,상기 그리드는,섬광체 쉬트에 레이저 가공으로 형성된, 에어갭에 의해 구분된 섬광체 픽셀 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
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제1항에 있어서,상기 그리드는,섬광체 쉬트에 소잉 장비에 의한 가공으로 형성된, 에어갭에 의해 구분된 섬광체 픽셀 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
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제5항 또는 제6항에 있어서,상기 섬광체 픽셀 어레이는, 픽셀의 가로 또는 세로 피치가 30~500μm, 픽셀간 이격거리 2~50μm 인 구조를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
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8
제5항 또는 제6항에 있어서,상기 그리드는,상기 에어갭에 도포된 투과물질을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
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제5항 또는 제6항에 있어서,상기 섬광체는 GOS(Gd2O2S:Tb) 또는 CsI:Tl 섬광체를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
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어레이 형태의 복수의 픽셀 센서를 가지는, 곡면형 또는 유연한 이미지 센서 기판을 제작하는 단계; 상기 이미지 센서 기판의 상부에 직접 형성되는 방식에 의해 곡면형 또는 유연한 섬광체 구조물을 형성하는 단계; 및상기 섬광체 구조물 상에 산란 방사선의 영향을 제거해 영상의 대조도를 높이기 위한 곡면형 또는 유연한 그리드를 형성하는 단계를 포함하고,상기 섬광체 구조물은 방사선을 받아 가시광으로 변환하고, 상기 이미지 센서 기판은, 각 픽셀에서의 상기 가시광에 비례하는 전기적 신호를 독출하기 위한 것으로서, 상기 이미지 센서 기판, 상기 섬광체 구조물 및 상기 그리드를 포함하는 전체적인 구조물이 곡면형 또는 유연하게 형성된 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터의 제작 방법
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