| 1 |
1
어레이 형태의 복수의 픽셀 센서를 가지는, 곡면형 또는 유연한 이미지 센서 기판; 및상기 이미지 센서 기판의 상부에 구비되며, 방사선을 받아 가시광으로 변환하기 위한, 곡면형 또는 유연한 섬광체 구조물을 포함하고,상기 이미지 센서 기판은, 각 픽셀에서의 상기 가시광에 비례하는 전기적 신호를 독출하기 위한 것으로서, 상기 섬광체 구조물은, 직접 형성되는 방식에 의해 곡면형 또는 유연하게 형성되어, 상기 이미지 센서 기판 및 상기 섬광체 구조물을 포함하는 전체적인 구조물이 곡면형 또는 유연하게 형성된 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
|
| 2 |
2
제1항에 있어서,상기 이미지 센서 기판은, 회로 어레이가 형성된 실리콘 기판으로서 상기 실리콘 기판의 후면을 식각하거나 연마하여 곡면형 또는 유연한 기판으로 제작된 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
|
| 3 |
3
제1항에 있어서,상기 방사선 디텍터는, 구강 내 치아를 투과한 방사선을 검출하기 위한 치과용 구강 방사선 디텍터인 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
|
| 4 |
4
제1항에 있어서,상기 이미지 센서 기판은, 각 픽셀에서의 상기 가시광에 비례하는 전기적 신호를 독출하기 위해 포토다이오드를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
|
| 5 |
5
제1항에 있어서,상기 섬광체 구조물은, 섬광체 입자를 페이스트 형태로 제작한 후 스프레이 또는 스크린 프린팅 방식으로 코팅한 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
|
| 6 |
6
제5항에 있어서,상기 섬광체 입자는 GOS 마이크로입자 또는 나노분말 형태를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
|
| 7 |
7
제1항에 있어서,상기 섬광체 구조물은, 섬광체를 진공 증착 장비를 이용하여 코팅한 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
|
| 8 |
8
제7항에 있어서,상기 섬광체는 CsI:Tl 섬광체인 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
|
| 9 |
9
제1항에 있어서,상기 섬광체 구조물은, 스프레이 또는 스크린 프린팅 방식으로 코팅되거나, 진공 증착된 섬광체 구조물을, 펄스 레이저에 의한 가공으로 형성된, 에어갭에 의해 구분된 섬광체 픽셀 어레이를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
|
| 10 |
10
제9항에 있어서,상기 에어갭에 반사물질이 도포된 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
|
| 11 |
11
제1항에 있어서,상기 이미지 센서 기판과 상기 섬광체 구조물 사이에 구비된 FOP(fiber optic plate)를 더 포함하고,상기 섬광체 구조물은 상기 FOP를 가열해 유연하게 만든 상태에서 섬광체를 상기 FOP 상에 직접 형성한 형태인 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
|
| 12 |
12
제11항에 있어서,상기 섬광체는 GOS(Gd2O2S:Tb) 또는 CsI:Tl 섬광체를 포함하는 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터
|
| 13 |
13
어레이 형태의 복수의 픽셀 센서를 가지는, 곡면형 또는 유연한 이미지 센서 기판을 제작하는 단계; 및상기 이미지 센서 기판의 상부에 직접 형성되는 방식에 의해 곡면형 또는 유연한 섬광체 구조물을 형성하는 단계를 포함하고,상기 섬광체 구조물은 방사선을 받아 가시광으로 변환하고, 상기 이미지 센서 기판은, 각 픽셀에서의 상기 가시광에 비례하는 전기적 신호를 독출하기 위한 것으로서, 상기 이미지 센서 기판 및 상기 섬광체 구조물을 포함하는 전체적인 구조물이 곡면형 또는 유연하게 형성된 것을 특징으로 하는 방사선 디텍터의 제작 방법
|
