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데코 필름의 표면에 마이크로 미터 크기의 패턴으로 형성된 제1층; 및상기 제1층의 표면에 나노 미터 크기의 패턴으로 형성된 제2층;을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴을 갖는 데코 필름
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제1항에 있어서,상기 제2층은 마이크로 패턴 상단에 하나 이상의 서로 다른 나노 미터 크기의 패턴이 구분 형성되는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴을 갖는 데코 필름
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마이크로 패턴용 제1 니켈 기판 제작을 위한 제1 포토 마스크를 제작하는 제1-1단계;노광용 기판에 감광제 도포 후 상단에 상기 제1 포토 마스크를 위치시키고, 노광 공정을 이용해 마이크로 미터 크기를 갖는 제1 감광제 패턴을 구현하는 제1-2단계;상기 제1 감광제 패턴 위에 전주도금 공정을 이용해 마스터 패턴 금형을 구현하고, 상기 마스터 패턴 금형을 통해 제1 니켈 기판을 제작하는 제1-3단계;나노 패턴용 위상 마스크 제작을 위한 제2 포토 마스크를 제작하는 제1-4단계;노광용 기판에 감광제 도포 후 상단에 상기 제2 포토 마스크를 위치시키고, 노광 공정을 이용해 나노 미터 크기를 갖는 제2 감광제 패턴을 구현하는 제1-5단계;상기 제2 감광제 패턴 위에 위상 마스크용 투명한 고분자 액상을 도포한 후 열 또는 자외선 경화시켜 위상 마스크를 제작하는 제1-6단계;상기 제1 니켈 기판에 감광제 도포 후 상단에 상기 위상 마스크를 위치시키고, 노광 공정을 이용해 나노 미터 크기를 갖는 제3 감광제 패턴을 구현하는 제1-7단계;상기 제3 감광제 패턴 위에 전주도금 공정을 이용해 제2 니켈 기판을 제작하는 제1-8단계; 및상기 제2 니켈 기판을 통해 복합 패턴 데코 필름을 제작하는 제1-9단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴을 갖는 데코 필름 제작 방법
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제3항에 있어서,상기 제1-2단계는,감광제의 두께가 1 내지 10μm 범위에 속하는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴을 갖는 데코 필름 제작 방법
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제3항에 있어서,상기 제1-5단계 및 상기 제1-7단계는,감광제의 두께가 0
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제3항에 있어서,상기 제1-6단계는,상기 제2 감광제 패턴 위에 도포한 위상 마스크용 투명한 고분자 액상을 열경화 시킬 경우, 온도가 40 내지 100℃ 범위 내인 것, 자외선 경화 시킬 경우, 광조사량이 100 내지 2000 mJ/cm2 범위 내인 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴을 갖는 데코 필름 제작 방법
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제3항에 있어서,상기 제1-4단계 내지 상기 제1-8단계를 반복 수행하여 둘 이상의 나노 미터 크기의 패턴이 구분 형성되는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴을 갖는 데코 필름 제작 방법
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제3항 내지 제7항 중 어느 하나의 방법으로 제작되는 나노-마이크로 복합 패턴을 갖는 데코 필름
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나노 패턴용 제1 위상 마스크 제작을 위한 제1 포토 마스크를 제작하는 제2-1단계;노광용 기판에 감광제 도포 후 상단에 상기 제1 포토 마스크를 위치시키고, 노광 공정을 이용해 나노 미터 크기를 갖는 제1 감광제 패턴을 구현하는 제2-2단계;상기 제1 감광제 패턴 위에 위상 마스크용 투명한 고분자 액상을 도포한 후 열 또는 자외선 경화시켜 제1 위상 마스크를 제작하는 제2-3단계;노광용 기판에 감광제 도포 후 상단에 상기 제1 위상 마스크를 위치시키고, 노광 공정을 이용해 나노 미터 크기를 갖는 제2 감광제 패턴을 구현하는 제2-4단계;상기 제2 감광제 패턴 위에 전주도금 공정을 이용해 제1 니켈 기판을 제작하는 제2-5단계;마이크로 패턴용 제2 니켈 기판 제작을 위한 제2 포토 마스크를 제작하는 제2-6단계;노광용 기판에 감광제 도포 후 상단에 상기 제2 포토 마스크를 위치시키고, 노광 공정을 이용해 마이크로 미터 크기를 갖는 제3 감광제 패턴을 구현하는 제2-7단계;상기 제3 감광제 패턴 위에 전주도금 공정을 이용해 마스터 패턴 금형을 구현하고, 상기 마스터 패턴 금형을 통해 제2 니켈 기판을 제작하는 제2-8단계; 및상기 제2 니켈 기판을 통해 복합 패턴 데코 필름을 제작하는 제2-9단계;로 이루어지는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴을 갖는 데코 필름 제작 방법
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제9항에 있어서,상기 제2-2단계 및 상기 제2-4단계는,감광제의 두께가 0
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제9항에 있어서,상기 제2-7단계는,감광제의 두께가 1 내지 50μm 범위에 속하는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴을 갖는 데코 필름 제작 방법
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제9항에 있어서,상기 제2-3단계는,상기 제1 감광제 패턴 위에 도포한 위상 마스크용 투명한 고분자 액상을 열경화 시킬 경우, 온도가 40 내지 100℃ 범위 내인 것, 자외선 경화 시킬 경우, 광조사량이 100 내지 2000 mJ/cm2 범위 내인 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴을 갖는 데코 필름 제작 방법
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제9항에 있어서,상기 제2-1단계 내지 상기 제2-5단계를 반복 수행하여 둘 이상의 나노 미터 크기의 패턴이 구분 형성되는 것을 특징으로 하는 나노-마이크로 복합 패턴을 갖는 데코 필름 제작 방법
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제9항 내지 제13항 중 어느 하나의 방법으로 제작되는 나노-마이크로 복합 패턴을 갖는 데코 필름
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