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멤브레인;상기 멤브레인과 이격되어 위치하되, 상기 멤브레인의 적어도 일부를 감싸는 스프링 구조물;상기 멤브레인과 상기 스프링 구조물을 연결하는 복수의 제1 연결부;상기 스프링 구조물과 이격되어 위치하되, 상기 스프링 구조물의 적어도 일부를 감싸는 앵커 구조물;상기 앵커 구조물과 상기 스프링 구조물을 연결하는 복수의 제2 연결부; 상기 스프링 구조물 상에 형성되는 복수의 압저항 소자;상기 압저항 소자의 변화에 따른 전기적 신호를 감지하도록 상기 앵커 구조물 상부에 배치된 적어도 하나의 전극부를 포함하되, 상기 앵커 구조물의 하부에 형성된 공동에 의해 상기 멤브레인, 상기 스프링 구조물, 상기 제1 연결부 및 상기 제2 연결부는 공중에 부유된 상태이며,상기 공동을 통해 외부로부터 유입되는 음압에 대응하여 상기 복수의 제1 연결부와 연결되는 스프링 구조물 영역에서 압축에 의한 변형이 발생하는 경우, 상기 복수의 제2 연결부와 연결되는 스프링 구조물 영역에서는 인장에 의한 변형이 동시에 발생하며,상기 압저항 소자는 상기 복수의 제1 연결부 중 일부의 제1 연결부와 연결되는 스프링 구조물 영역에 위치하는 제1 압저항 소자; 및 상기 복수의 제2 연결부 중 일부의 제2 연결부와 연결되는 스프링 구조물 영역에 위치하는 제2 압저항 소자를 포함하고, 상기 제1 압저항 소자 및 상기 제2 압저항 소자는 스프링 구조물의 변형에 대응하여 서로 다른 극성의 저항 변화량을 나타내는 것을 특징으로 하는 마이크로폰
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제1 항에 있어서상기 음압에 대응하여 상기 멤브레인과 상기 스프링 구조물에 변형이 발생하되, 상기 멤브레인보다 상기 스프링 구조물에 더 큰 변형이 발생하는 것을 특징으로 하는 마이크로폰
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제1 항에 있어서,상기 전극부는,상기 제1 압저항 소자의 변형을 감지하도록 구성된 제1 전극부 및 상기 제2 압저항 소자의 변형을 감지하도록 구성된 제2 전극부를 포함하며, 상기 제1 전극부와 상기 제2 전극부는 서로 상이한 극성을 가진 전압을 출력하는 것을 특징으로 하는 마이크로폰
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제1 항에 있어서 상기 압저항 소자는 실리콘 나노와이어인 것을 특징으로 하는 마이크로폰
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제1 항에 있어서, 상기 멤브레인 및 상기 스프링 구조물은 실리콘 질화막 또는 실리콘 질화막과 다른 절연 박막으로 구성된 복합막으로 구성되는 것을 특징으로 하는 마이크로폰
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