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마이크로 소자가 배열되는 복수의 음각패턴; 및상기 복수의 음각패턴 각각에 배치되고, 상기 음각패턴 내에 음압 또는 양압을 걸어주기 위한 홀;을 포함하는
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제 1 항에 있어서,상기 마이크로 소자가 배열되는 복수의 음각패턴은 상기 마이크로 소자와 대응되는 동일한 형태이고, 가장 긴 변의 길이가 200 μm 이내인,이송판
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제 1 항에 있어서,상기 마이크로 소자가 배열되는 복수의 음각패턴은 상기 마이크로 소자와 대응되는 동일한 형태이고, 중심을 지나는 일부 선을 대칭선으로 하였을때 비대칭의 형태인,이송판
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제 1 항에 있어서,상기 마이크로 소자가 배열되는 복수의 음각패턴은 상기 마이크로 소자와 대응되는 동일한 형태이고, 그 형태는 2 종류 이상인,이송판
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복수의 마이크로 소자를 준비하는 단계;제 1 항의 이송판 상에 상기 복수의 마이크로 소자를 공급하는 단계;상기 복수의 마이크로 소자에 진동을 인가하는 단계; 및상기 제 1 항의 이송판의 음각패턴 내에 음압을 걸어주어 상기 복수의 마이크로 소자를 상기 음각패턴 내에 정렬하는 단계;를 포함하는마이크로 소자의 배열 방법
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제 5 항에 있어서,상기 제 1 항의 이송판의 음각패턴 내에 음압을 걸어주어 상기 복수의 마이크로 소자를 상기 음각패턴 내에 정렬하는 단계에서, 상기 음압을 걸어주는 방법은 상기 음각패턴 내의 유체를 상기 홀을 통해 제거하는 것인,마이크로 소자의 배열 방법
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제 5 항에 있어서, 상기 복수의 마이크로 소자를 준비하는 단계는 상기 복수의 마이크로 소자를 액체에 넣는 단계를 포함하고, 상기 제 1 항의 이송판의 음각패턴 내에 음압을 걸어주어 상기 복수의 마이크로 소자를 상기 음각패턴 내에 정렬하는 단계에서, 상기 음압을 걸어주는 방법은 상기 음각패턴 내의 액체를 상기 홀을 통해 제거하는 것인,마이크로 소자의 배열 방법
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제 5 항에 있어서,상기 제 1 항의 이송판은 마이크로 소자 배열기 내부에 장착되고,상기 마이크로 소자 배열기는 마이크로 소자를 담지하는 용기, 상기 용기에 담지된 마이크로 소자에 진동을 인가하는 진동부재, 및 상기 용기 내부의 유체를 제거하는 유체제거부재를 포함하고,상기 이송판은 상기 마이크로 소자를 담지하는 용기 내부에 장착되는,마이크로 소자의 배열 방법
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제 8 항에 있어서, 상기 유체제거부재는 밸브, 배관 및 펌프 중 어느 하나인,마이크로 소자의 배열 방법
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제 8 항에 있어서,상기 복수의 마이크로 소자에 진동을 인가하는 단계는 상기 진동부재를 통해 진동을 인가하는 것인, 마이크로 소자의 배열 방법
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제 8 항에 있어서,상기 제 1 항의 이송판의 음각패턴 내에 음압을 걸어주어 상기 복수의 마이크로 소자를 상기 음각패턴 내에 정렬하는 단계에서, 상기 음압을 걸어주는 방법은 상기 유체제거부재를 이용하여 상기 용기 내부의 유체를 상기 용기의 외부로 제거하는 것인,마이크로 소자의 배열 방법
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제 5 항에 있어서,상기 제 1 항의 이송판의 음각패턴 내에 음압을 걸어주어 상기 복수의 마이크로 소자를 상기 음각패턴 내에 정렬하는 단계 이후에, 상기 복수의 마이크로 소자가 정렬된 제 1 항의 이송판을 기판 상에 배치하는 단계; 를 더 포함하는,마이크로 소자의 배열 방법
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제 12 항에 있어서, 상기 복수의 마이크로 소자가 정렬된 제 1 항의 이송판을 기판 상에 배치하는 단계는, 상기 제 1 항의 이송판의 홀을 통해 상기 음각패턴 내로 양압을 인가하여 상기 음각패턴 내에 배열된 마이크로 소자를 상기 기판 상으로 배치하는 단계를 포함하는마이크로 소자의 배열 방법
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제 12 항에 있어서,상기 복수의 마이크로 소자가 정렬된 제1항의 이송판을 기판 상에 배치하는 단계는, 상기 복수의 마이크로 소자가 상기 기판의 일면을 향하도록 배치하는 것인, 마이크로 소자의 배열 방법
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제 13 항에 있어서,상기 제 1 항의 이송판의 홀을 통해 상기 음각패턴 내로 양압을 인가하는 방법은, 상기 음각패턴 내의 홀을 통해 상기 음각패턴 내에 유체를 인가하는 것인,마이크로 소자의 배열 방법
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