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재료가 수용되는 샘플용기;상기 샘플용기의 일측에 배치되며, 상기 샘플용기로부터 증발된 재료가 이송되는 버퍼챔버;상기 샘플용기와 버퍼챔버 사이에 배치되며, 상기 샘플용기를 개폐시키는 고정플랜지;상기 버퍼챔버와 연결되며, 증발된 재료를 수집하는 샘플링챔버;상기 버퍼챔버와 연결되며, 증발된 재료가 공급되어 증착막을 형성하는 증착챔버;상기 증착챔버와 연결되며, 상기 증발된 재료가 증착될 기판을 상기 증착챔버 내부로 로딩(loading) 또는 언로딩(un-loading)시키는 로드락챔버;를 포함하며,상기 샘플용기와 연결되며, 상기 샘플용기 내부에 수용된 재료의 점도를 측정하는 점도 측정 모듈;상기 버퍼챔버와 연결되며, 상기 버퍼챔버 내부에 수용된 증발된 재료의 증기압을 측정하는 증기압 측정 모듈;상기 로드락챔버 내부의 상기 기판 상에 증착된 증착막의 물성을 평가하는 박막 측정 모듈;을 포함하는 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치
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제 1항에 있어서, 상기 점도 측정 모듈은,상기 샘플용기의 외측에 설치된 초음파 센서,상기 샘플용기 내부의 재료에 투입된 캡슐형 점도 측정기 및상기 샘플용기 내부에 설치된 원심력을 이용한 디개서 중 어느 하나에 의해 상기 샘플용기 내부에 수용된 재료의 점도를 측정하는 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치
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제 1항에 있어서, 상기 고정플랜지는,하측에 멤브레인쉬트(membrane sheet)가 형성되어 상기 샘플용기를 개폐시키는 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치
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제 3항에 있어서, 상기 고정플랜지는,상기 샘플용기의 입구에 위치되어, 상기 샘플용기를 밀폐시키는 멤브레인쉬트(membrane sheet);상기 멤브레인쉬트를 상기 샘플용기의 입구에 고정시키는 고정플레이트;상기 고정플레이트 상측에 위치되며, 상기 샘플용기 상측에 안착되고, 상기 버퍼챔버와 연결되는 홀딩플레이트;상기 홀딩플레이트에 결합되며, 단부에 크래커(cracker)가 형성되어, 상기 멤브레인쉬트를 파괴시키며, 상기 홀딩플레이트 외측으로 상기 크래커를 작동시키는 레버가 구비된 레버작동부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치
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제 4항에 있어서, 상기 증기압 측정 모듈은,버퍼챔버;상기 버퍼챔버 일측에 형성되어 이송파이프와 연결된 제1개폐밸브;상기 버퍼챔버 하측에 형성되어, 상기 샘플용기와 연결된 제2개폐밸브;상기 버퍼챔버 일측에 형성되어, 상기 버퍼챔버 내부의 증발된 재료의 증기압을 측정하기 위한 압력측정수단;상기 버퍼챔버를 에워싸며, 상기 고정플랜지 상측부에 결합되는 오븐;을 포함하는 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치
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제 5항에 있어서, 상기 증기압 측정 모듈은,상기 버퍼 챔버 또는 상기 샘플용기를 디개싱시킨 후 증기압을 측정하는 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치
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제 5항에 있어서, 상기 디개싱 과정은,상기 버퍼챔버를 배기시킨 후,상기 샘플용기 내부에 포함된 증발된 재료 및 불순물을 상기 버퍼챔버를 통해 배기시키는 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치
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제 7항에 있어서, 상기 디개싱 과정은,반복수행되는 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치
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제 1항에 있어서, 상기 샘플링챔버는,상기 증발된 재료의 응축을 위한 냉각기가 포함된 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치
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제 1항에 있어서, 상기 박막 측정 모듈은,라만 분광기를 이용하여 상기 로드락챔버 일측에 형성된 윈도우를 통해 상기 증착막의 물성을 평가하는 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치
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제 1항에 있어서, 상기 샘플용기는,항온조 내부에 수용되며, 상기 항온조는 항온조절부에 의해 온도 조절이 이루어지는 것을 특징으로 하는 인시츄 물성 평가 장치
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