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라만 분석을 이용한 화학 증착 공정용 인시츄 물성 평가 장치

기술번호 : KST2021001093
담당센터 : 경기기술혁신센터
전화번호 : 031-8006-1570

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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약	본 발명은 라만 분석을 이용한 화학 증착 공정용 인시츄 물성 평가 장치에 관한 것으로서, 증착 소재에 대한 전구체 용액이 포함된 캐니스터와, 상기 캐니스터와 연결되어 상기 전구체 용액을 이송하는 이송수단과, 상기 이송수단으로부터 상기 전구체 용액을 일정 양 공급받으며, 윈도우가 구비된 샘플용기와, 상기 샘플용기의 윈도우로 분석광이 투과하도록 형성되며, 상기 전구체 용액을 향해 상기 분석광이 조사되는 라만 분석기를 포함하는 것을 특징으로 하는 라만 분석을 이용한 화학 증착 공정용 인시츄 물성 평가 장치를 기술적 요지로 한다. 이에 의해 캐니스터와 직접 연결된 샘플용기에 실시간 전구체 용액을 이송시켜 라만 분석에 의해 전구체의 물성 평가가 인시츄로 이루어짐에 따라 전구체가 산화되거나 변성되는 것을 방지하고, 실시간 라만 분석이 가능하여 공정의 연속성이 보장되면서 증착 소재의 물성 항상성을 유지할 수 있도록 하는 것이다.
Int. CL	G01N 21/65 (2006.01.01) C23C 16/52 (2018.01.01) G01N 1/10 (2006.01.01) C23C 16/448 (2006.01.01) H01L 21/67 (2006.01.01)
CPC	G01N 21/65(2013.01) C23C 16/52(2013.01) G01N 1/10(2013.01) C23C 16/448(2013.01) H01L 21/6715(2013.01) H01L 21/67242(2013.01)
출원번호/일자	1020190099688 (2019.08.14)
출원인	한국생산기술연구원
등록번호/일자
공개번호/일자	10-2021-0021193 (2021.02.25) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태	등록
심사진행상태	수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자	Y (2019.08.14)
심사청구항수	6

출원인

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번호	이름	국적	주소
1	한국생산기술연구원	대한민국	충청남도 천안시 서북구

발명자

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번호	이름	주소
1	허훈	서울특별시 강남구
2	유은성	충청남도 천안시 동남구
3	전재성	경기도 의왕시 당뿌리

대리인

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번호	이름	국적	주소
1	이준성	대한민국	서울특별시 강남구 삼성로길 , ***호 준성특허법률사무소 (대치동, 대치빌딩)

최종권리자

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번호	이름	국적	주소
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번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서 [Patent Application] Patent Application	2019.08.14	수리 (Accepted)	1-1-2019-0836376-30
2	보정요구서 Request for Amendment	2019.08.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2019-0137941-69
3	[출원서 등 보정]보정서 [Amendment to Patent Application, etc.] Amendment	2019.09.02	수리 (Accepted)	1-1-2019-0898716-03
4	선행기술조사의뢰서 Request for Prior Art Search	2020.06.12	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
5	선행기술조사보고서 Report of Prior Art Search	2020.08.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2020-0144512-06
6	의견제출통지서 Notification of reason for refusal	2020.10.06	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2020-0685800-61
7	[명세서등 보정]보정서 [Amendment to Description, etc.] Amendment	2020.12.07	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2020-1324168-78
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서	2020.12.07	수리 (Accepted)	1-1-2020-1324169-13

번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호	청구항
1	1 증착 소재에 대한 전구체 용액이 포함된 캐니스터;상기 캐니스터와 연결되어 상기 전구체 용액을 이송하는 이송수단;상기 이송수단으로부터 상기 전구체 용액을 일정 양 공급받으며, 윈도우가 구비된 샘플용기;상기 샘플용기의 윈도우로 분석광이 투과하도록 형성되며, 상기 전구체 용액을 향해 상기 분석광이 조사되는 라만 분석기;를 포함하는 것을 특징으로 하는 라만 분석을 이용한 화학 증착 공정용 인시츄 물성 평가 장치
2	2 제 1항에 있어서, 상기 샘플용기는,상기 윈도우 일체형의 쿼츠(quartz) 튜브 또는 유리 튜브로 형성되거나,서스(SUS) 튜브 일측에 상기 윈도우가 형성된 것을 특징으로 하는 라만 분석을 이용한 화학 증착 공정용 인시츄 물성 평가 장치
3	3 제 1항에 있어서, 상기 이송수단은,상기 캐니스터의 일측과 연결되며, 상기 캐니스터 측에서 상기 샘플용기로 상기 전구체 용액을 이송시키는 제1이송파이프;상기 제1이송파이프에 형성되는 제1밸브;를 포함하는 것을 특징으로 하는 라만 분석을 이용한 화학 증착 공정용 인시츄 물성 평가 장치
4	4 제 3항에 있어서, 상기 이송수단은,상기 캐니스터의 타측과 연결되며, 상기 샘플용기에서 상기 캐니스터 측으로 상기 전구체 용액을 회송시키는 제2이송파이프;상기 제2이송파이프에 형성되는 제2밸브;를 포함하는 것을 특징으로 하는 라만 분석을 이용한 화학 증착 공정용 인시츄 물성 평가 장치
5	5 제 3항 또는 제 4항에 있어서, 상기 샘플용기 일측에는,피펫형(pipet) 조절부가 형성된 것을 특징으로 하는 라만 분석을 이용한 화학 증착 공정용 인시츄 물성 평가 장치
6	6 제 3항 또는 제 4항에 있어서, 상기 제1이송파이프는,상기 캐니스터에서 복수개로 분기되는 것을 특징으로 하는 라만 분석을 이용한 화학 증착 공정용 인시츄 물성 평가 장치
7	7 제 1항에 있어서, 상기 샘플용기 타측에는,상기 전구체 용액을 외부로 반출하기 위한 반출구가 더 구비된 것을 특징으로 하는 라만 분석을 이용한 화학 증착 공정용 인시츄 물성 평가 장치
8	8 제 1항에 있어서, 상기 이송수단 및 샘플용기 외측에는 상기 전구체 용액의 온도를 조절하기 위한 히팅수단이 형성된 것을 특징으로 하는 라만 분석을 이용한 화학 증착 공정용 인시츄 물성 평가 장치
9	9 제 1항에 있어서, 상기 라만 분석을 이용한 화학 증착 공정용 인시츄 물성 평가 장치는,상기 라만 분석기의 상기 분석광이 증착챔버 내부의 증착물을 향해 조사되도록 광학수단이 구비된 것을 특징으로 하는 라만 분석을 이용한 화학 증착 공정용 인시츄 물성 평가 장치

순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번	연구부처	주관기관	연구사업	연구과제
1	과학기술정보통신부	한국표준과학연구원	창의형융합연구사업	화학증착소재의 실시간 증착막 측정기술 및 장비 개발

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송번호의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 통합행정정보 > 등록료란 표입니다.
번호	서류명	접수/발송일자	처리상태	접수/발송번호
1	[특허출원]특허출원서	2019.08.14	수리 (Accepted)	1-1-2019-0836376-30
2	보정요구서	2019.08.23	발송처리완료 (Completion of Transmission)	1-5-2019-0137941-69
3	[출원서 등 보정]보정서	2019.09.02	수리 (Accepted)	1-1-2019-0898716-03
4	선행기술조사의뢰서	2020.06.12	수리 (Accepted)	9-1-9999-9999999-89
5	선행기술조사보고서	2020.08.10	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-6-2020-0144512-06
6	의견제출통지서	2020.10.06	발송처리완료 (Completion of Transmission)	9-5-2020-0685800-61
7	[명세서등 보정]보정서	2020.12.07	보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment)	1-1-2020-1324168-78
8	[거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서	2020.12.07	수리 (Accepted)	1-1-2020-1324169-13

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