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금속산화물 씨드층;상기 씨드층의 일면 상 서로 이격 위치하는 제1전극과 제2전극; 및상기 제1전극과 제2전극이 이격된 영역에 위치하는 씨드층으로부터 연장되는 금속산화물 나노선의 어레이 및 상기 금속산화물 나노선의 표면을 감싸는 금속유기골격체 쉘을 포함하는 가스 감지층;을 포함하는 유해 배기가스 검출 센서
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제1항에 있어서,상기 가스 감지층에 포함되는 금속유기골격체 쉘로 표면이 감싸진 금속산화물 나노선과 인접한 나노선 복합체 사이에 공극을 가지는 유해 배기가스 검출 센서
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제2항에 있어서,상기 공극은 10 내지 600 nm의 평균 크기를 가지는 유해 배기가스 검출 센서
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제2항에 있어서,상기 가스 감지층의 공극률은 30% 이상 80%이하인 유해 배기가스 검출 센서
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제1항에 있어서,상기 금속유기골격체 쉘은 금속산화물 나노선의 평균 직경을 기준으로 0
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제1항에 있어서,상기 금속산화물 나노선의 평균 직경은 10 내지 120 nm이며, 평균 길이는 0
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제1항에 있어서,상기 금속유기골격체는 0
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제1항에 있어서,상기 금속산화물은 산화아연인 유해 배기가스 검출 센서
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제1항에 있어서,상기 금속유기골격체는 제올리틱 이미다졸레이트 구조체(Zeolitic imidazolate framework, ZIF)인 ZIF-8, ZIF-7 및 ZIF-90 중 선택되는 1종 이상의 화합물인 유해 배기가스 검출 센서
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제1항에 있어서,상기 금속유기골격체에 포함되는 금속은 상기 금속산화물 나노선의 금속에서 유래된 유해 배기가스 검출 센서
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제1항에 있어서,상기 금속산화물 나노선은 씨드층 상에 수직정렬된 유해 배기가스 검출 센서
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제1항에 있어서,상기 씨드층과 게이트 전극 사이에 절연층을 더 포함하는 유해 배기가스 검출 센서
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제1항 내지 제 11항 중 어느 한 항에 따른 유해 배기가스 검출 센서를 이용한 가스 검출 방법
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a) 절연층 상에 금속산화물 씨드층을 형성하는 단계;b) 상기 씨드층의 일면 상에 서로 이격되는 제1전극과 제2전극을 형성하는 단계;c) 상기 씨드층의 씨드로부터 금속산화물 나노선을 성장시켜, 씨드층과 수직정렬된 금속산화물 나노선의 어레이를 제조하는 단계; 및d) 상기 금속산화물 나노선의 표면을 금속유기골격체로 캡슐화하여 금속유기골격체 쉘을 형성하고, 금속유기골격체 쉘로 캡슐화된 금속산화물 나노선의 어레이를 포함하는 가스 감지층을 제조하는 단계;를 포함하는 유해 배기가스 검출 센서의 제조방법
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