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소스 가스를 공급하는 소스 공급부;상기 소스 공급부로부터 공급받은 상기 소스 가스를 분해하는 크랙킹 부;상기 소스 공급부와 상기 크랙킹 부 사이에 배치되어, 상기 소스 가스를 상기 크랙킹 부로 분배하는 분배부; 및상기 크랙킹 부를 가열하는 히팅 요소를 포함하되,상기 크랙킹 부는 제1 방향으로 연장되고, 상기 크랙킹 부는, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 제1 폭을 갖고,상기 크랙킹 부는, 상기 제1 및 제2 방향들에 수직한 제3 방향으로 제1 높이를 가지며,상기 제1 높이에 대한 상기 제1 폭의 비는 2 내지 20인 크랙킹 장치
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제1항에 있어서,상기 크랙킹 부는, 그의 내부에 제공되어 상기 제1 방향으로 연장되는 복수개의 크랙킹 바들을 포함하는 크랙킹 장치
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제2항에 있어서,상기 크랙킹 바들은, 상기 크랙킹 부의 상부에 제공된 제1 바들 및 상기 크랙킹 부의 하부에 제공된 제2 바들을 포함하는 크랙킹 장치
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제3항에 있어서,상기 제1 바들은 일정한 피치로 상기 제2 방향을 따라 배열되고,상기 제2 바들은 상기 피치로 상기 제2 방향을 따라 배열되며,상기 제2 바들은, 상기 제1 바들로부터 상기 피치의 절반만큼 오프셋 된 크랙킹 장치
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제2항에 있어서,상기 분배부는, 그의 내부에 제공되어 상기 제1 방향으로 부챗살(Fan ribs) 형태로 연장되는 복수개의 분배 바들을 포함하고,상기 크랙킹 바들은, 상기 분배 바들과 각각 연결되는 크랙킹 장치
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제1항에 있어서,상기 크랙킹 부는, 그의 내부면을 덮는 코팅막 또는 라이너를 포함하고,상기 코팅막 또는 상기 라이너는 세라믹을 포함하는 크랙킹 장치
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제1항에 있어서,상기 크랙킹 부는, 제1 크랙킹 부 및 상기 제1 크랙킹 부 내부에 체결된 제2 크랙킹 부를 포함하고,상기 제1 크랙킹 부는 금속을 포함하며,상기 제2 크랙킹 부는 세라믹 또는 석영을 포함하는 크랙킹 장치
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제1항에 있어서,상기 소스 가스는 상기 크랙킹 부 내부의 기체 유로를 따라 상기 제1 방향으로 흐르는 크랙킹 장치
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제1항에 있어서,상기 크랙킹 부는, 상기 소스 가스의 제1 소스 분자를 상기 제1 소스 분자보다 작은 제2 소스 분자들로 분해하는 크랙킹 장치
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제1항에 있어서,상기 분배부는, 상기 소스 공급부에 인접하여 상기 제2 방향으로 제2 폭을 갖고,상기 분배부는, 상기 크랙킹 부에 인접하여 상기 제2 방향으로 제3 폭을 가지며,상기 제3 폭은 상기 제2 폭보다 크고,상기 제1 폭은 상기 제3 폭보다 큰 크랙킹 장치
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기판을 거치하는 서셉터를 갖는 챔버; 및상기 챔버에 연결된 크랙킹 장치를 포함하되,상기 크랙킹 장치는:소스 가스를 공급하는 소스 공급부;상기 소스 공급부로부터 공급받은 상기 소스 가스를 분해하는 크랙킹 부; 및상기 크랙킹 부를 가열하는 히팅 요소를 포함하되,상기 크랙킹 부는 제1 방향으로 연장되고, 상기 크랙킹 부는, 상기 제1 방향과 교차하는 제2 방향으로 제1 폭을 가지며,상기 기판은 상기 제2 방향으로 제2 폭을 갖고,상기 제2 폭은 상기 제1 폭의 1배 내지 10배인 증착 장비
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제11항에 있어서,상기 크랙킹 부는, 상기 제1 및 제2 방향들에 수직한 제3 방향으로 제1 높이를 가지며,상기 제1 높이에 대한 상기 제1 폭의 비는 2 내지 20인 증착 장비
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제11항에 있어서,상기 챔버는, 가스를 배출하는 배출부를 포함하고,상기 배출부는 상기 크랙킹 장치로부터 토출된 상기 소스 가스가 상기 제1 방향을 따라 상기 기판 상을 흐르도록 하는 증착 장비
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제11항에 있어서,상기 크랙킹 부는, 그의 내부에 제공되어 상기 제1 방향으로 연장되는 복수개의 크랙킹 바들을 포함하는 증착 장비
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제14항에 있어서,상기 크랙킹 바들은, 상기 크랙킹 부의 상부에 제공된 제1 바들 및 상기 크랙킹 부의 하부에 제공된 제2 바들을 포함하고, 상기 제1 바들은 일정한 피치로 상기 제2 방향을 따라 배열되고,상기 제2 바들은 상기 피치로 상기 제2 방향을 따라 배열되며,상기 제2 바들은, 상기 제1 바들로부터 상기 피치의 절반만큼 오프셋 된 증착 장비
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제11항에 있어서,상기 크랙킹 부는, 그의 내부면을 덮는 코팅막 또는 라이너를 포함하고,상기 코팅막 또는 상기 라이너는 세라믹을 포함하는 증착 장비
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제11항에 있어서,상기 크랙킹 부는, 제1 크랙킹 부 및 상기 제1 크랙킹 부 내부에 체결된 제2 크랙킹 부를 포함하고,상기 제1 크랙킹 부는 금속을 포함하며,상기 제2 크랙킹 부는 세라믹 또는 석영을 포함하는 증착 장비
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제11항에 있어서,상기 소스 가스는 상기 크랙킹 부 내부의 기체 유로를 따라 상기 제1 방향으로 흐르는 증착 장비
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제11항에 있어서,상기 크랙킹 부는, 상기 소스 가스의 제1 소스 분자를 상기 제1 소스 분자보다 작은 제2 소스 분자들로 분해하는 증착 장비
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