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고농도 육불화황의 분해 및 후처리 시스템에 있어서,상기 육불화항을 분해하는 분해부; 상기 분해부로부터 분해된 육불화황의 분해산물을 급속 냉각시키는 냉각부;상기 냉각부로부터 공급받은 냉각된 분해산물을 후처리하는 후처리부;상기 후처리부로부터 분해산물을 후처리 후 분해산물에 포함된 수증기를 회수하는 응축부; 및상기 응축부를 거친 분해산물의 응축되지 못한 수분을 흡수하고, 미 제거 된 분해산물을 흡착하여 배출하는 흡착부;를 포함하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 시스템
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제1항에 있어서,상기 분해부는 분해 반응기를 포함하는 것으로, 상기 분해 반응기는 증산벽 반응기(transpiring wall reactor, TWR)이고,상기 증산벽 반응기는 상기 육불화황을 분해하는 플라즈마 토치; 및상기 육불화황의 분해율을 향상시키도록 과열수증기를 공급하는 과열수증기 공급부;를 포함하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 시스템
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제2항에 있어서,상기 과열수증기 공급부는 상기 플라즈마 토치의 주입부를 감싸도록 형성되는 제1 과열수증기 공급부; 및상기 육불화황의 분해산물이 상기 분해 반응기의 벽에 접촉하는 것을 방지하기 위하여 상기 증산벽 반응기의 측면에 위치하는 제2 과열수증기 공급부; 를 포함하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 시스템
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제1항에 있어서,상기 냉각부는 상기 분해부인 분해 반응기 하부영역에 위치하고, 상기 냉각부는 분해산물에 냉각액을 분사하는 냉각액 분사노즐을 포함하며,상기 분해산물이 상기 후처리부로 이동되는 수평배관을 더 포함하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 시스템
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제4항에 있어서,상기 냉각액 분사노즐은 상기 분해 반응기의 측면에 배치되어 1차 냉각액을 분사하는 1차 냉각액 분사노즐; 및상기 수평배관의 상측에 배치되어 2차 냉각액을 분사하는 2차 냉각액 분사노즐;을 포함하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 시스템
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제1항에 있어서,상기 후처리부는 습식흡수법을 이용하여 분해산물을 세정하는 흡수세정장치로, 상기 분해산물을 세정하는 세정부;상기 세정부로 알칼리 흡수액 슬러리를 공급하는 알칼리 흡수액 슬러리 공급부;상기 세정부에서 분해산물과 알칼리 흡수액 슬러리의 반응을 촉진하기 위하여 오존을 발생시키고 상기 세정부로 오존을 공급하는 오존발생부; 및상기 분해산물과 알칼리 흡수액 슬러리의 반응에 의해 생성된 불용성 염이 포함된 용액의 염의 결정과 여액을 분리하는 고상분리부;를 포함하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 시스템
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제6항에 있어서, 상기 후처리부는 상기 세정부에서 세정되고 생성된 불용성 염을 저장하고 배출하는 불용성염 저장조;를 더 포함하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 시스템
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제7항에 있어서, 상기 불용성염 저장조는 물이 포함되어 있는 것으로,상기 불용성염 저장조의 수면 아래로 상기 분해 반응기의 일부가 잠겨 있는 것인,육불화황 분해 및 후처리 시스템
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제7항에 있어서, 상기 불용성염 저장조 내의 불용성염을 포함하는 용액의 pH를 측정하는 pH미터;를 더 포함하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 시스템
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제6항에 있어서,상기 알칼리 흡수액 슬러리 공급부는 알칼리 흡수액 슬러리를 제조하는 장치로,상기 알칼리 흡수액 슬러리를 제조하여 상기 냉각부 및 상기 세정부로 공급하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 시스템
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제6항에 있어서,상기 고상분리부는 분리된 여액을 저장하는 여액저장탱크;를 더 포함하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 시스템
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제1항에 있어서,상기 흡착부는 미제거 된 수분 및 분해산물을 흡착하는 흡착탑; 및 가스블로워;를 더 포함하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 시스템
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제12항에 있어서,상기 흡착탑은 활성 알루미나, 실라카 겔층을 포함하는 수분 제거층; 및분자체 및 활성탄을 포함하는 분해산물 제거층;을 포함하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 시스템
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플라즈마 토치를 사용하여 고농도 육불화황을 분해하여 분해산물을 생성하는 육불화황 분해단계;상기 육불화황 분해단계를 통하여 생성된 분해산물을 냉각하는 냉각단계:상기 냉각된 분해산물을 세정하여 불용성염을 형성하는 후처리단계:상기 세정단계 이후 포함된 배가스의 수분을 응축하는 응축단계; 및상기 응축단계를 통하여 제거되지 않은 수분 및 분해산물을 흡착하여 제거하는 흡착단계;를 포함하는, 육불화황 분해 및 후처리 방법
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제14항에 있어서, 상기 분해산물은 강산의 기체를 포함하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 방법
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제14항에 있어서, 상기 육불화황을 분해하는 단계는 상기 분해산물로부터 반응기의 부식을 방지하기 위하여 플라즈마 토치의 주입부 및 반응기의 측면으로부터 과열수증기 및 비활성 기체를 동시에 공급하는 것인, 육불화황 분해 및 후처리 방법
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17
제14항에 있어서,상기 분해산물을 냉각하는 단계는 상기 육불화황 분해단계를 통하여 생성된 고온의 분해산물에 냉각액을 분사하여 급속으로 냉각하는 단계로,상기 제1차 냉각액 분사노즐을 이용하여 1차로 냉각하는 제1차 냉각단계; 및상기 제2차 냉각액 분사노즐을 이용하여 2차로 냉각하는 제2차 냉각단계; 를 포함하는 것인, 육불화황 분해 및 후처리 방법
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18
제17항에 있어서,상기 냉각액은 알칼리 흡수액 슬러리인 것인, 육불화황 분해 및 후처리 방법
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제14항에 있어서,상기 후처리단계는 상기 분해산물이 세정되며 생성된 불용성염이 불용성염 저장조로 이동하고,상기 분해산물이 제거된 배가스가 응축부로 이동하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 방법
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제19항에 있어서, 상기 불용성염 저장조로 이동된 불용성염의 결정화를 촉진하기 위하여 오존을 주입하고,상기 오존주입을 통하여 결정화된 불용성염을 자동으로 배출하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 방법
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제20항에 있어서, 상기 불용성염을 자동으로 배출하기기 위하여 상기 불용성염 저장조내의 불용성염을 포함하는 용액의 pH값을 실시간으로 모니터링하고, 상기 불용성염을 포함하는 용액의 pH값이 pH7 내지 pH14를 유지하지 못할 경우 상기 불용성염을 포함하는 용액을 고상분리기로 배출하는 것인,육불화황 분해 및 후처리 방법
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제21항에 있어서, 상기 고상분리기로 배출된 용액은 불용성염의 결정 및 여액으로 분리되고, 상기 분리된 여액은 상기 여액저장탱크에 저장되며, 상기 여액저장탱크에 저장 된 여액은 알칼리 흡수액 슬러리 제조장치로 이동되어 재사용 되는 것인,육불화황 분해 및 후처리 방법
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