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원통형 맨드릴 외주면에 균일한 두께로 제 1 물질층을 형성하고 선택적으로 패터닝하여 나노 및 마이크로 패턴을 형성하는 단계;제 2 물질층을 이용한 전주도금 공정을 진행하여 나노 및 마이크로 패턴상에 마스터 금형 물질층을 형성하고, 내부의 원통형 맨드릴을 제거하여 마스터 금형을 형성하는 단계;마스터 금형의 내부에 전주도금을 실시하여 슬리브 금형 물질층을 형성하고 마스터 금형을 분리하여 금속 슬리브 금형을 제작하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유강화 플라스틱 기반 나노 원통 금형 제조 방법
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원통형 맨드릴 외주면에 균일한 두께로 제 1 물질층을 형성하고 선택적으로 패터닝하여 나노 및 마이크로 패턴을 형성하는 단계;제 2 물질층을 이용한 전주도금 공정을 진행하여 나노 및 마이크로 패턴상에 마스터 금형 물질층을 형성하고, 내부의 원통형 맨드릴을 제거하여 마스터 금형을 형성하는 단계;마스터 금형의 내부에 다시 전주도금을 실시하여 슬리브 금형 물질층을 형성하고 마스터 금형을 분리하여 금속 슬리브 금형을 제작하는 단계;롤투롤 임프린트 리소그래피 공정시에 베이스 롤로 사용되는 CFRP(Carbon Fiber Reinforced Plastic) 베이스 롤과 슬리브 금형을 결합하여 CFRP 원통 금형을 제작하는 단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유강화 플라스틱 기반 나노 원통 금형 제조 방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 제 1 물질층은 감광제이고, 제 2 물질층은 금속인 것을 특징으로 하는 탄소섬유강화 플라스틱 기반 나노 원통 금형 제조 방법
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제 1 항 또는 제 2 항에 있어서, 전주도금을 하기전에 소재 표면에 이형처리를 하여 소재와 도금층을 분리하기가 용이하도록 하고, 전주도금 이후에 진행하는 분리 시에 발생하는 나노 패턴들의 손상을 막기 위하여 산화층 형성을 하거나, 분리시에 지그들이 사용되는 것을 특징으로 하는 탄소섬유강화 플라스틱 기반 나노 원통 금형 제조 방법
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제 2 항에 있어서, CFRP 베이스 롤과 결합된 슬리브 금형의 수명이 다한 경우에는 마스터 금형을 이용하여 슬리브 금형을 복제하여 다시 CFRP 베이스 롤과 결합시켜 CFRP 원통 금형을 제작하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유강화 플라스틱 기반 나노 원통 금형 제조 방법
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제 2 항에 있어서, CFRP 베이스 롤은 탄소섬유강화 플라스틱 프리프레그(prepreg)를 0°및 90°방향으로 교대 적층하여 제작하며, 원하는 롤의 직경 및 두께에 따라 적층 수를 변경하여 제작하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유강화 플라스틱 기반 나노 원통 금형 제조 방법
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제 2 항에 있어서, CFRP 베이스 롤과 슬리브 금형의 결합은 공압을 이용한 슬리브 금형의 팽창 또는 액체 질소를 이용한 베이스 롤의 수축 또는 접착제를 이용하는 방법이 사용되는 것을 특징으로 하는 탄소섬유강화 플라스틱 기반 나노 원통 금형 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 공압을 이용한 슬리브 금형의 팽창 방법은,슬리브 금형의 외경을 CFRP 베이스 롤의 외경보다 소량 작게 제작하여 압축 공기를 이용하여 순간적으로 슬리브 금형을 외경방향으로 팽창시킨 후 CFRP 베이스 롤에 결합하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유강화 플라스틱 기반 나노 원통 금형 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 액체 질소를 이용한 CFRP 베이스 롤의 수축 방법은,액체 질소관을 CFRP 베이스 롤의 외주면에 부착하여 CFRP 베이스 롤의 외경을 수축시킨 후 슬리브 금형과 결합하여 온도를 상승시켜 수축된 CFRP 베이스 롤이 다시 원형으로 돌아오면서 결합되도록 하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유강화 플라스틱 기반 나노 원통 금형 제조 방법
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제 7 항에 있어서, 접착제를 이용하는 방법은,CFRP 베이스 롤과 슬리브 금형 결합 후 발생하는 틈 사이에 에폭시 접착제와 같은 구조용 접착제를 도포하여 경화시켜 결합하는 것을 특징으로 하는 탄소섬유강화 플라스틱 기반 나노 원통 금형 제조 방법
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제 2 항에 있어서, CFRP 베이스 롤과 슬리브 금형 결합 공정시에,원통 부분이 진원에 대한 어긋남의 크기에 관한 진원도, 직선 부분이 이상 직선으로부터 어긋남의 크기에 관한 전직도, 원통 부분의 두 곳 이상 지름의 불균일의 크기에 관한 원통도, 외력에 의해 재료가 파괴되기까지의 변형 저항에 관한 강도에 관한 허용 범위가 정해지는 것을 특징으로 하는 탄소섬유강화 플라스틱 기반 나노 원통 금형 제조 방법
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