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ITO와 수소 도핑된 ITO로 이루어진 다층 구조를 이용한 열전소재 및 그 제조방법

  • 기술번호 : KST2021001364
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 본 발명은 ITO와 수소 도핑된 ITO로 이루어진 다층 구조를 이용한 열전소재 및 그 제조방법에 관한 것으로 본 발명의 일면에 따른 ITO와 수소의 다층 구조를 이용한 열전소재 제조방법은 기판상에 아르곤 가스를 스퍼터링 가스로 하여 스퍼터링법에 의해 ITO층을 형성하는 단계, ITO층 상에 아르곤-수소 혼합가스를 스퍼터링 가스로 하여 스퍼터링법에 의해 비정질층을 형성하는 단계 및 비정질층 상에 아르곤 가스를 스퍼터링 가스로 하여 스퍼터링법에 의해 ITO층을 형성하는 단계를 포함하고, ITO층 상에 비정질층을 형성하는 단계와 비정질층 상에 ITO층을 형성하는 단계를 반복하여 다층 구조를 형성한다.
Int. CL H01L 35/34 (2006.01.01) H01L 35/14 (2006.01.01) H01L 35/02 (2006.01.01) C23C 14/34 (2006.01.01) C23C 14/08 (2006.01.01)
CPC H01L 35/34(2013.01) H01L 35/14(2013.01) H01L 35/02(2013.01) C23C 14/34(2013.01) C23C 14/08(2013.01)
출원번호/일자 1020200010669 (2020.01.29)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자 10-2198394-0000 (2020.12.29)
공개번호/일자
공고번호/일자 (20210107) 문서열기
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.01.29)
심사청구항수 3

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 송풍근 부산광역시 해운대구
2 장혜민 부산광역시 동래구
3 김세현 충청북도 청주시 상당구
4 김서한 부산광역시 사하구
5 박성민 부산광역시 남구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 전용철 대한민국 부산광역시 동래구 충렬대로 ***-*(온천동) *층(마이스타**특허법률사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 부산광역시 금정구
번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.01.29 수리 (Accepted) 1-1-2020-0096741-69
2 선행기술조사의뢰서
Request for Prior Art Search		 2020.05.15 수리 (Accepted) 9-1-9999-9999999-89
3 선행기술조사보고서
Report of Prior Art Search		 2020.07.10 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-6-2020-0096885-49
4 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2020.10.27 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0740442-43
5 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2020.11.10 수리 (Accepted) 1-1-2020-1198202-65
6 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.11.10 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1198153-15
7 등록결정서
Decision to grant		 2020.12.22 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2020-0899646-33
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
기판상에 아르곤 가스를 스퍼터링 가스로 하여 스퍼터링법에 의해 ITO층을 형성하는 단계;상기 ITO층 상에 아르곤-수소 혼합가스를 스퍼터링 가스로 하여 스퍼터링법에 의해 비정질층을 형성하는 단계; 및상기 비정질층 상에 아르곤 가스를 스퍼터링 가스로 하여 스퍼터링법에 의해 ITO층을 형성하는 단계; 를 포함하고,상기 ITO층 상에 비정질층을 형성하는 단계와 상기 비정질층 상에 ITO층을 형성하는 단계를 반복하여 다층 구조를 형성하는 것이며,상기 ITO층을 형성하는 단계는 170℃ 내지 200℃의 온도에서 수행되는 것이고,상기 ITO층을 형성하는 단계와 상기 비정질층을 형성하는 단계 사이에상기 기판을 냉각시키는 단계;를 더 포함하는 ITO와 수소의 다층 구조를 이용한 열전소재 제조방법
2 2
삭제
3 3
제1항에 있어서,상기 ITO층을 형성하는 단계는145nm 내지 155nm의 두께를 가지는 상기 ITO층을 형성하는 것이며,상기 비정질층을 형성하는 단계는5nm 내지 20nm의 두께를 가지는 상기 비정질층을 형성하는 것인 ITO와 수소의 다층 구조를 이용한 열전소재 제조방법
4 4
제1항 및 제3항 중 어느 한 항에 따른 방법에 의해 제작되는 ITO와 수소의 다층 구조를 이용한 열전소재
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
국가 R&D 정보가 없습니다.