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1
용매와;셀룰로오즈를 포함하는 기판 세정 조성물
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제1 항에 있어서,상기 셀룰로오즈는 마이크로 셀룰로오즈인 기판 세정 조성물
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3
제1 항에 있어서,상기 셀룰로오즈의 길이는 30um 이상 500um이하인 기판 세정 조성물
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4
제1 항에 있어서,상기 셀룰로오즈의 폭은 20um 이상 90um이하인 기판 세정 조성물
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5
제1 항에 있어서,상기 용매는 80wt% 이상 100wt% 미만을;상기 셀룰로오즈는 0wt% 초과 20wt%이하를 포함하는 기판 세정 조성물
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6
제1 항에 있어서,상기 기판 세정 조성물은, 계면활성제를 더 포함하는 기판 세정 조성물
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7
제6 항에 있어서,상기 계면활성제는 0wt% 초과 5wt% 이하인 기판 세정 조성물
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8
용매와;셀룰로오즈를 포함하는 혼합물을 10분 이상 혼합하는 단계를 포함하는 기판 세정 조성물 제조 방법
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9
제8 항에 있어서,상기 용매는 80wt% 이상 100wt% 미만을;상기 셀룰로오즈는 0wt% 초과 20wt%이하를 포함하는 기판 세정 조성물의 제조 방법
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10
제9 항에 있어서,상기 계면활성제는 0wt% 초과 5wt% 이하인 기판 세정 조성물의 제조 방법
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11
제10 항에 있어서,상기 혼합물에 계면활성제를 넣는 단계를 더 포함하는 기판 세정 조성물의 제조 방법
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12
제8 항 또는 제11 항 중 어느 하나에 있어서,상기 셀룰로오즈는 마이크로 셀룰로오즈인 기판 세정 조성물의 제조 방법
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13
제8 항 또는 제11 항 중 어느 하나에 있어서,상기 셀룰로오즈의 길이는 30um 이상 500um이하인 기 기판 세정 조성물의 제조 방법
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14
제8 항 또는 제11 항 중 어느 하나에 있어서,상기 셀룰로오즈의 폭은 20um 이상 90um이하인 기판 세정 조성물의 제조 방법
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15
피세정 기판을 준비하는 단계와;제1 항 내지 제5 항 중 어느 하나의 기판 세정 조성물을 공급하여 피세정 기판을 세정하는 단계를 포함하는 기판 세정 방법
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16
제15 항에 있어서,상기 피세정 기판은 10분 이상 상기 기판 세정 조성물에 의해 처리되는 기판 세정 방법
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17
제15 항에 있어서,상기 피세정 기판은 상온 또는 상압에서 상기 기판 세정 조성물에 의해 처리되는 기판 세정 방법
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18
제15 항에 있어서,상기 기판 세정 조성물은 섭씨 60도 이상 90도 이하의 온도로 공급되는 기판 세정 방법
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19
제15 항에 있어서,상기 피처리 기판은 섭씨 60도 이상 90도 이하의 온도에서 상기 기판 세정 조성물에 의해 처리되는 기판 세정 방법
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