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용매와;셀룰로오즈와;양쪽성 물질을 포함하는 기판 세정 조성물
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제1 항에 있어서,상기 양쪽성 물질은 상기 셀룰로오즈의 표면에서 미셀구조를 형성하는 기판 세정 조성물
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제1 항에 있어서,상기 양쪽성 물질은 테일을 갖는 계면활성제인 기판 세정 조성물
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제3 항에 있어서,상기 테일은 소수성인 기판 세정 조성물
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제1 항에 있어서,상기 셀룰로오즈의 표면은 친수성인 기판 세정 조성물
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제1 항에 있어서,상기 양쪽성 물질은 CAPB(cocamidopropyl betaine)인 기판 세정 조성물
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7
제1 항에 있어서,상기 용매는 85wt% 이상 내지 99wt% 미만을;상기 셀룰로오즈는 1wt% 이상 10wt% 미만을;상기 양쪽성 물질은 0wt%초과 5wt%이하를 포함하는 기판 세정 조성물
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8
제1 항에 있어서,상기 셀룰로오즈의 표면은 수산화기를 갖는 기판 세정 조성물
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제1 항에 있어서,상기 셀룰로오즈는 0
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10
제1 항에 있어서,상기 셀룰로오즈는 50nm 이상 200nm이하의 길이를 갖는 기판 세정 조성물
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11
제1 항에 있어서,상기 셀룰로오즈는 0
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12
제1 항 내지 제11 항 중 어느 하나에 있어서,상기 용매는 순수인 세정 조성물
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13
제1 항 내지 제11항 중 어느 하나에 있어서,상기 셀룰로오즈는 나노셀룰로오즈인 세정 조성물
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14
용매와 셀룰로오즈를 혼합하여 혼합액을 제조하는 단계와;상기 혼합액에 양쪽성물질을 혼합하는 단계를 포함하는 기판 세정 조성물의 제조 방법
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15
제14 항에 있어서,상기 혼합액은 상기 용매 85 wt% 이상 99wt% 이하이고, 상기 셀룰로오즈는 1wt% 이상 15wt%이하인 기판 세정 조성물의 제조 방법
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16
셀룰로오즈 수용액과 양쪽성 물질을 혼합하는 단계를 포함하는 기판 세정 조성물의 제조 방법
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17
제16 항에 있어서,상기 셀룰로오즈 수용액은 셀룰로오즈 1wt% 이상 15wt%이하 수용액인 기판 세정 조성물의 제조 방법
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18
제14 내지 제17 항 중 어느 하나에 있어서,상기 기판 세정 조성물의 혼합은 상온 또는 상압에서 이루어지는 기판 세정 조성물의 제조 방법
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19
피세정 기판을 준비하는 단계와;제1 항 내지 제 11 항 중 어느 하나의 기판 세정 조성물을 상기 기판에 공급하여 기판을 세정하는 단계를 포함하는 기판 세정 방법
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제19 항에 있어서,상기 세정하는 단계는 10초 이상인 기판 세정 방법
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제19 항에 있어서,상기 세정하는 단계는 20초 이상인 기판 세정 방법
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제19 항에 있어서,상기 세정 하는 단계는 상온 또는 상압에서 이루어지는 기판 세정 방법
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