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레이저를 이용한 센서제조방법 및 이 방법에 의하여 제조된 센서

  • 기술번호 : KST2021001728
  • 담당센터 : 부산기술혁신센터
  • 전화번호 : 051-606-6561
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 레이저를 이용하여 센서를 제조하는 방법 및 이 방법에 따라 제작된 센서에 대한 것으로서, 더욱 상세하게는 전기적 성질이 없는 폴리머 필름에 레이저를 조사하여 탄소 그래핀화시킴으로써 센서를 제작하는 방법 및 이 방법에 따라 제작된 센서에 대한 것이다. 본 발명에 따른 센서 제작방법은 필름 위치단계와 전극형성 단계를 포함한다. 상기 필름 위치단계는 폴리머로된 베이스기판에 전기적 성질이 없는 폴리머 필름을 위치시킨다. 상기 전극형성 단계는 상기 폴리머 필름에 특정 패턴이 탄소 그래핀으로 형성되어 상기 베이스기판에 접착 되도록 레이저 빔을 불활성 가스의 분위기에서 상기 폴리머 필름에 상기 특정 패턴으로 조사하여 전극을 형성시킨다. 또한, 상기의 센서 제작방법은 상기 전극형성 단계 후 탄소 그래핀화되지 않은 상기 폴리머 필름을 제거하는 필름제거단계를 더 포함하는 것이 바람직하다. 또한, 상기의 센서 제작방법은 상기 전극을 상기 베이스기판에서 분리시키는 기판분리단계를 더 포함하는 것이 바람직하다.
Int. CL C08J 7/12 (2006.01.01) H01B 5/14 (2006.01.01) H01B 1/04 (2006.01.01) B29C 67/00 (2017.01.01)
CPC C08J 7/123(2013.01) H01B 5/14(2013.01) H01B 1/04(2013.01) B29C 67/00(2013.01) B29C 2791/009(2013.01)
출원번호/일자 1020190105758 (2019.08.28)
출원인 부산대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0025857 (2021.03.10) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.10.28)
심사청구항수 5

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 부산대학교 산학협력단 대한민국 부산광역시 금정구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 마용원 울산광역시 중구
2 신보성 부산광역시 해운대구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다인 대한민국 경기도 화성시 동탄기흥로*** 더퍼스트타워쓰리제**층 제****호, 제****-*호

최종권리자

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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2019.08.28 수리 (Accepted) 1-1-2019-0885132-45
2 청구범위 제출유예 안내서
Notification for Deferment of Submission of Claims		 2019.08.30 발송처리완료 (Completion of Transmission) 1-5-2019-0141945-91
3 [심사청구]심사청구서·우선심사신청서
 2020.10.28 수리 (Accepted) 1-1-2020-1144652-98
4 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.10.28 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1144641-96
5 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2020.11.06 보정승인간주 (Regarded as an acceptance of amendment) 1-1-2020-1188890-67
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번호 청구항
1 1
폴리머로 된 베이스기판의 일면에 폴리머 필름을 위치시키는 필름적층단계와, 상기 필름적층단계에서 베이스기판에 적층된 폴리머 필름에 불활성가스가 공급되는 챔버 내부에서 레이저빔을 조사하여 탄소그래핀화 된 전극을 형성하는 전극형성단계와, 상기 전극형성단계에서 상기 전극으로 형성되지 않은 상기 폴리머 필름을 제거하는 필름제거단계를 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 센서제조방법
2 2
제1항에 있어서, 상기 전극형성단계에서 형성된 전극에서 상기 베이스기판을 분리시키는 기판분리단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 센서제조방법
3 3
제1에 있어서, 상기 필름제거단계에서 상기 폴리머 필름이 제거된 상기 전극을 덮을 수 있게 상기 베이스기판의 일면에 폴리머를 코팅하는 코팅단계와, 상기 코팅단계에서 상기 폴리머가 코팅된 베이스기판의 일면에 상기 폴리머 필름을 위치시키는 제2필름적층단계와, 상기 제2필름적층단계에서 상기 베이스기판에 적층된 상기 폴리머 필름에 상기 불활성가스가 공급되는 상기 챔버 내부에서 상기 레이저빔을 조사하여 탄소그래피화 된 전극을 형성하는 제2전극형성단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 센서제조방법
4 4
제1항 내지 제3항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 폴리머 필름은 폴리이미드로 형성되는 것을 특징으로 하는 레이저를 이용한 센서제조방법
5 5
제1항 내지 제4항 중 어느 한 항의 방법에 의하여 제조된 것을 특징으로 하는 센서
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 부산대학교 산학협력단 산업기술혁신사업 나노금형기반 맞춤형 융합제품 상용화지원센터