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초미세 유체관을 가지는 플라즈마 노즐의 제조방법으로서,제 1 기판의 적어도 어느 일면에 포토리소그라피(Photolithography) 공정을 이용하여 복수개의 유체관부를 형성하는 단계; 상기 복수개의 유체관부가 형성된 상기 제 1 기판의 일면과 마주보도록 제 2 기판을 배치한 후 접합하여 노즐 소자 모듈을 형성하는 단계; 및상기 노즐 소자 모듈을 절단하여 복수개의 단위 노즐을 형성하는 단계;를 포함하는, 플라즈마 노즐의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 복수개의 유체관부와 서로 대칭되도록, 상기 제 2 기판의 일면에 포토리소그라피 공정을 이용하여 복수개의 유체관부를 형성하는 단계를 포함하는,플라즈마 노즐의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 복수개의 유체관부를 형성하는 단계 이전에,상기 제 1 기판의 일면에 복수개의 전극 패턴부를 형성하는 단계; 및상기 전극 패턴부 내에 금속을 증착하여, 양전극 패턴 및 음전극 패턴을 하나의 쌍으로 구비하는 금속 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 양전극 패턴 및 음전극 패턴은 상기 유체관부를 중심으로 좌우 대칭인,플라즈마 노즐의 제조방법
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제 3 항에 있어서,상기 노즐 소자 모듈을 형성하는 단계 이전에,상기 제 2 기판의 일면에 복수개의 전극 패턴부를 형성하는 단계; 및상기 전극 패턴부 내에 금속을 증착하여, 양전극 패턴 및 음전극 패턴을 하나의 쌍으로 구비하는 금속 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 양전극 패턴 및 음전극 패턴은 상기 유체관부를 중심으로 좌우 대칭인,플라즈마 노즐의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 복수개의 유체관부를 형성하는 단계 이전에,상기 제 1 기판의 일면에 복수개의 전극 패턴부를 형성하는 단계; 및상기 전극 패턴부 내에 금속을 증착하여, 양전극 패턴을 구비하는 금속 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 양전극 패턴은 상기 유체관부와 나란하게 배치된,플라즈마 노즐의 제조방법
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제 5 항에 있어서,상기 노즐 소자 모듈을 형성하는 단계 이전에,상기 제 2 기판의 일면에 복수개의 전극 패턴부를 형성하는 단계; 및상기 전극 패턴부 내에 금속을 증착하여, 양전극 패턴을 구비하는 금속 패턴을 형성하는 단계;를 포함하고,상기 양전극 패턴은 상기 유체관부와 나란하게 배치된,플라즈마 노즐의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 복수개의 유체관부를 형성하는 단계는,상기 제 1 기판의 적어도 어느 일면 상에 포토레지스터(PR)를 도포하고, 마스크를 이용하여 노광 공정 및 식각 공정을 수행함으로써, 상기 제 1 기판의 일면에 상기 복수개의 유체관부를 형성하는 단계;를 포함하는,플라즈마 노즐의 제조방법
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제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 금속 패턴을 형성하는 단계는,상기 복수개의 전극 패턴이 형성된 면 상에 금속을 증착하는 단계; 및식각 공정을 수행함으로써, 상기 복수개의 전극 패턴 내에 채워진 상기 금속만 제외하고, 나머지 금속은 모두 제거하여 상기 제 1 기판 또는 상기 제 2 기판의 일면에 상기 금속 패턴을 형성하는 단계;를 포함하는,플라즈마 노즐의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 제 1 기판 및 제 2 기판은 광학적 접착제를 이용하여 직접 본딩(Direct Bonding) 방식으로 접합하는,플라즈마 노즐의 제조방법
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제 3 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서,상기 제 1 기판 및 제 2 기판은 가열 및 압착 공정을 이용하여 상기 금속 패턴에 의해 직접 접합하는,플라즈마 노즐의 제조방법
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제 1 항에 있어서,상기 기판은 세라믹, 고분자 및 금속 소재 중 어느 하나를 포함하는,플라즈마 노즐의 제조방법
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