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웨이퍼 이송 로봇에 구비되어 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하는 픽업 아암의 미끄럼 방지 패드에 있어서, 상기 픽업 아암의 몸체의 상면에 장착되어 상기 웨이퍼의 일면이 지지되는 패드부재; 및상기 패드부재의 교체 시기를 파악하기 위한 정보가 표시되어 있는 정보 표시부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 구조의 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 정보 표시부재에는 상기 패드부재의 제조 일시 또는 상기 패드부재가 상기 픽업 아암의 몸체에 장착되는 일시에 대한 정보가 표시되어 있는 것을 특징으로 하는 적층 구조의 미끄럼 방지 패드
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제2항에 있어서, 상기 정보 표시부재는 일면이 접착성이 있고 반대면은 상기 패드부재에 대한 정보 표시가 가능한 단면 폴리이미드(PI) 테이프인 것을 특징으로 하는 적층 구조의 미끄럼 방지 패드
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제2항에 있어서,상기 정보 표시부재와 상기 픽업 아암의 몸체의 일면에 개재되어 상기 패드부재가 부착된 상기 정보 표시부재를 상기 픽업 아암의 몸체에 부착시키는 양면 폴리이미드(PI) 테이프 타입의 접착부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 적층 구조의 미끄럼 방지 패드
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제2항에 있어서,상기 패드부재는 신축성이 있는 폴리디메틸실록산(PDMS, poly-dimethyl-siloxane)으로 제조되는 것을 특징으로 하는 적층 구조의 미끄럼 방지 패드
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제2항에 있어서,상기 웨이퍼가 접촉되는 상기 패드부재의 표면에는 나노 구조의 패턴이 형성되는 것을 특징으로 하는 적층 구조의 미끄럼 방지 패드
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로봇몸체; 상기 로봇몸체에 장착되며, 단부에는 웨이퍼를 핸들링하는 픽업 아암이 구비되는 로봇아암; 및상기 픽업 아암에 장착되어 상기 웨이퍼의 일면이 지지되는 미끄럼 방지 패드;를 포함하며,상기 미끄럼 방지 패드는, 상기 픽업 아암의 몸체의 상면에 장착되어 상기 웨이퍼의 일면이 지지되는 패드부재; 및상기 패드부재의 교체 시기를 파악하기 위한 정보가 표시되어 있는 정보 표시부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇
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제9항에 있어서,상기 정보 표시부재에는 상기 패드부재의 제조 일시 또는 상기 패드부재가 상기 픽업 아암의 몸체에 장착되는 일시에 대한 정보가 표시되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇
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제8항에 있어서, 상기 정보 표시부재는 일면이 접착성이 있고 반대면은 상기 패드부재에 대한 정보 표시가 가능한 단면 폴리이미드(PI) 테이프인 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇
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제8항에 있어서,상기 정보 표시부재와 상기 픽업 아암의 몸체의 일면에 개재되어 상기 패드부재가 부착된 상기 정보 표시부재를 상기 픽업 아암의 몸체에 부착시키는 양면 폴리이미드(PI) 테이프 타입의 접착부재를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇
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제7항에 있어서,상기 픽업 아암의 몸체에는 적어도 2개의 핑거부재가 구비되며,상기 복수 개의 미끄럼 방지 패드는 총 3개이며, 상기 2개의 핑거부재의 각 단부 및 상기 2개의 핑거부재가 연결되는 상기 픽업 아암의 몸체의 상면에 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇
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