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웨이퍼 이송 로봇에 구비되어 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하는 픽업 아암의 미끄럼 방지 패드에 있어서, 상기 픽업 아암의 몸체에 장착되며, 상면에는 상기 웨이퍼의 일면이 안착되는 패드부재;를 포함하며,상기 패드부재에는 상호 다른 반데르발스 힘(van der Walls force)을 구비하는 중앙 부분과 외곽 부분이 구비되는 것을 특징으로 하는 이중 구조의 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 중앙 부분이 상기 외곽 부분에 비해 상대적으로 큰 반데르발스 힘을 구비함으로써 상기 패드부재로부터 상기 웨이퍼의 분리 시 상기 외곽 부분에서 분리가 이루어진 후 상기 중앙 부분에서 분리가 이루어지는 것을 특징으로 하는 이중 구조의 미끄럼 방지 패드
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제2항에 있어서,상기 중앙 부분은 상기 미끄럼 방지 패드의 표면에서 중앙 영역에 형성되고, 상기 외곽 부분은 상기 중앙 영역을 감싸도록 형성되며, 상기 중앙 부분에는 상기 웨이퍼의 일면에 접촉되는 복수 개의 중앙 접촉 돌기를 구비하고, 상기 외곽 부분에는 상기 웨이퍼의 일면에 접촉되는 복수 개의 외곽 접촉 돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 이중 구조의 미끄럼 방지 패드
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제3항에 있어서, 상기 중앙 접촉 돌기 및 상기 외곽 접촉 돌기는 반구형 돌기이되 상기 중앙 접촉 돌기는 상기 외곽 접촉 돌기에 비해서 상대적으로 작은 폭을 가지며, 상기 복수 개의 중앙 접촉 돌기 간의 간격은 상기 복수 개의 외곽 접촉 돌기 간의 간격에 비해 상대적으로 가까운 것을 특징으로 하는 이중 구조의 미끄럼 방지 패드
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제4항에 있어서,상기 웨이퍼에 대한 상기 복수 개의 중앙 접촉 돌기의 접촉 면적이 상기 웨이퍼에 대한 상기 복수 개의 외곽 접촉 돌기의 접촉 면적에 비해 커서 상기 외곽 부분에 비해 상기 중앙 부분에서 상대적으로 큰 반데르발스 힘이 발생되는 것을 특징으로 하는 이중 구조의 미끄럼 방지 패드
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제1항에 있어서,상기 패드부재는 신축성이 있는 폴리디메틸실록산(PDMS, poly-dimethyl-siloxane)으로 제조되는 것을 특징으로 하는 이중 구조의 미끄럼 방지 패드
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제3항에 있어서,상기 복수 개의 중앙 접촉 돌기 및 상기 복수 개의 외곽 접촉 돌기는 나노 구조의 패턴으로 형성되는 것을 특징으로 하는 이중 구조의 미끄럼 방지 패드
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웨이퍼 이송 로봇에 구비되어 웨이퍼를 로딩 및 언로딩하는 픽업 아암의 미끄럼 방지 패드에 있어서, 상기 픽업 아암의 몸체에 장착되며, 상면에는 상기 웨이퍼의 일면이 안착되는 패드부재;를 포함하며,상기 패드부재의 상기 웨이퍼에 대해 작용하는 반데르발스 힘은 중앙에서 바깥으로 갈수록 작아지는 것을 특징으로 하는 미끄럼 방지 패드
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로봇몸체; 상기 로봇몸체에 장착되며, 단부에는 웨이퍼를 핸들링하는 픽업 아암이 구비되는 로봇아암; 및상기 픽업 아암에 장착되어 상기 웨이퍼의 일면이 지지되는 미끄럼 방지 패드;를 포함하며,상기 미끄럼 방지 패드는, 상기 픽업 아암의 몸체에 장착되며, 상면에는 상기 웨이퍼의 일면이 안착되는 패드부재;를 포함하며,상기 패드부재에는 상호 다른 반데르발스 힘(van der Walls force)을 구비하는 중앙 부분과 외곽 부분이 구비되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇
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제9항에 있어서,상기 중앙 부분이 상기 외곽 부분에 비해 상대적으로 큰 반데르발스 힘을 구비함으로써 상기 패드부재로부터 상기 웨이퍼의 분리 시 상기 외곽 부분에서 분리가 이루어진 후 상기 중앙 부분에서 분리가 이루어지는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇
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제10항에 있어서,상기 중앙 부분은 상기 미끄럼 방지 패드의 표면에서 중앙 영역에 형성되고, 상기 외곽 부분은 상기 중앙 영역을 감싸도록 형성되며, 상기 중앙 부분에는 상기 웨이퍼의 일면에 접촉되는 복수 개의 중앙 접촉 돌기를 구비하고, 상기 외곽 부분에는 상기 상기 웨이퍼의 일면에 접촉되는 복수 개의 외곽 접촉 돌기를 포함하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇
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제11항에 있어서, 상기 중앙 접촉 돌기 및 상기 외곽 접촉 돌기는 반구형 돌기이되 상기 중앙 접촉 돌기는 상기 외곽 접촉 돌기에 비해서 상대적으로 작은 폭을 가지며, 상기 복수 개의 중앙 접촉 돌기 간의 간격은 상기 복수 개의 외곽 접촉 돌기 간의 간격에 비해 상대적으로 가까운 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇
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제11항에 있어서,상기 웨이퍼에 대한 상기 복수 개의 중앙 접촉 돌기의 접촉 면적이 상기 웨이퍼에 대한 상기 복수 개의 외곽 접촉 돌기의 접촉 면적에 비해 커서 상기 외곽 부분에 비해 상기 중앙 부분에서 상대적으로 큰 반데르발스 힘이 발생되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇
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제9항에 있어서,상기 픽업 아암의 몸체에는 적어도 2개의 핑거부재가 구비되며,상기 복수 개의 미끄럼 방지 패드는 총 3개이며, 상기 2개의 핑거부재의 각 단부 및 상기 2개의 핑거부재가 연결되는 상기 픽업 아암의 몸체의 상면에 배치되는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 이송 로봇
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