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진공챔버에 결합되는 가이드컬럼; 및샘플이 마련되는 팁이 구비되고, 상기 가이드컬럼을 관통하여 상기 팁이 상기 진공챔버의 내측으로 삽입되는 홀더;를 포함하고,상기 가이드컬럼의 내면에 결합되어 상기 홀더의 외면을 접촉 지지하며, 상기 진공챔버 내부의 진공압이 상기 가이드컬럼 및 상기 홀더 사이로 누설되는 것을 차단하는 기밀커넥터;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치
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제1항에 있어서,상기 기밀커넥터는,상기 가이드컬럼의 내면에 탈부착 가능하게 결합되는 커넥터본체;상기 커넥터본체의 외면에 장착되어 상기 커넥터본체 및 상기 가이드컬럼 사이의 기밀을 확보하기 위한 제1 실링부재; 및상기 커넥터본체의 내면에 장착되어 상기 커넥터본체 및 상기 홀더 사이의 기밀을 확보하기 위한 제2 실링부재;를 포함하는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치
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제2항에 있어서,상기 가이드컬럼의 내면에는, 제1 나사가공부가 구비되고,상기 커넥터본체의 외면에는, 상기 제1 나사가공부와 나사 결합되는 제2 나사가공부가 구비되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치
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제3항에 있어서,상기 기밀커넥터에는, 상기 제1 나사가공부에 상기 제2 나사가공부를 결합하거나 분리하기 위하여 상기 기밀커넥터에 회전력을 제공하기 위한 회전력전달홈부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치
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제1항에 있어서,상기 기밀커넥터는, 상기 진공챔버에 결합되는 가이드컬럼의 일측 단부에 배치되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치
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제1항에 있어서,상기 홀더는,상기 가이드컬럼의 외측에 배치되는 홀더헤드;상기 홀더헤드에서 상기 가이드컬럼의 내측으로 삽입되게 연장 형성되는 제1 로드; 및상기 제1 로드에서 상기 가이드컬럼을 관통하여 상기 팁을 포함한 일부분이 상기 진공챔버의 내측으로 삽입되게 연장 형성되는 제2 로드;를 포함하고,상기 제1 로드는 상기 가이드컬럼의 내면에 접촉 지지되고,상기 제2 로드는 상기 기밀커넥터의 내면에 접촉 지지되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치
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제6항에 있어서,상기 제1 로드의 단면적은 상기 제2 로드의 단면적 크기보다 크게 형성되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치
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제1항에 있어서,상기 가이드컬럼은,상기 진공챔버에 결합되고, 상기 홀더의 이동과 연동하여 상기 진공챔버의 내부와 연통되는 제2 관통공을 개폐하는 개폐밸브가 구비되는 컬럼헤드;상기 컬럼헤드에 결합되는 외측컬럼; 및상기 외측컬럼의 내측에 삽입 배치되고, 상기 홀더의 이동과 연동하여 상기 개폐밸브를 개폐시키는 밸브작동부가 구비되는 내측컬럼;을 포함하고,상기 기밀커넥터는, 상기 내측컬럼의 내면에 결합되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치
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제8항에 있어서,상기 외측컬럼에는, 상기 홀더의 가이드핀이 삽입되도록, 일단이 개방되고 원주방향으로 연장 형성되는 제1 슬릿 및 상기 제1 슬릿의 끝단에서 축방향으로 연장 형성되는 제2 슬릿이 구비되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치
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제9항에 있어서,상기 내측컬럼에는, 상기 홀더의 가이드핀이 삽입되도록, 일단이 개방되고 상기 제2 슬릿과 나란하게 축방향으로 연장 형성되는 제3 슬릿이 구비되는 것을 특징으로 하는 전자현미경의 샘플홀더 기밀장치
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