| 1 |
1
위상측정시스템에 있어서, 다수의 LED광원이 구비되며, 서로 다른 각도로 측정대상물에 순차적으로 LED빔을 조사하는 LED 어레이;LED 빔이 조사된 측정대상물에서 나오는 빔을 수집하도록 구성된 렌즈;상기 렌즈로부터 광을 수광하고 복수의 LED빔 각각에 대한 제1이미지를 취득하는 광검출기; 및상기 제1이미지 각각을 스펙트럼 도메인에 위치시켜 스티칭하여 상기 측정대상물의 위상을 산출하는 분석수단;을 포함하고, 상기 분석수단은 캘리브레이션 그레이팅의 위상정보를 미리 저장하고, 상기 측정대상물과 상기 캘리브레이션 그레이팅을 결합하여 겹쳐진 측정대상물에 대해 위상정보를 산출한 후, 상기 캘리브레이션 그레이팅의 위상정보를 제거하여 측정대상물에 대한 위상정보를 측정하고,상기 측정대상물은 회절격자와 같이 sparse한 스펙트럼을 갖는 것을 특징으로 하는 FPM에서 켈리브레이션 그레이팅을 이용한 회절격자 위상 측정시스템
|
| 2 |
2
삭제
|
| 3 |
3
제 1항에 있어서, 상기 분석수단은 상기 제1이미지를 역푸리에 변환하여 스펙트럼을 획득하여 오버래핑 영역을 통해 위상수렴을 하여 위상정보를 획득하여 위상정보를 갖는 제2이미지를 생성하는 것을 특징으로 하는 FPM에서 켈리브레이션 그레이팅을 이용한 회절격자 위상 측정시스템
|
| 4 |
4
제 3항에 있어서, 상기 측정대상물에 대한 제1이미지를 역푸리에 변환하여 획득한 스펙트럼에는 오버래핑 영역이 존재하지 않는 것을 특징으로 하는 FPM에서 켈리브레이션 그레이팅을 이용한 회절격자 위상 측정시스템
|
| 5 |
5
제 4항에 있어서, 상기 분석수단은 상기 측정대상물과 상기 캘리브레이션 그레이팅이 겹쳐진 결합 측정대상물에 대한 제1이미지를 역푸리에 변환하여 스펙트럼을 획득하여 오버래핑 영역을 통해 위상수렴을 하여 결합 측정대상물의 위상정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 FPM에서 켈리브레이션 그레이팅을 이용한 회절격자 위상 측정시스템
|
| 6 |
6
제 5항에 있어서, 상기 분석수단은 결합 측정대상물의 위상정보에서 상기 캘리브레이션 그레이팅의 위상정보를 제거하여 측정대상물의 위상정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 FPM에서 켈리브레이션 그레이팅을 이용한 회절격자 위상 측정시스템
|
| 7 |
7
제 1항에 있어서, 복수의 상기 LED 광원이 순차적으로 상기 측정대상물에 조사되도록 제어하는 LED 제어부를 포함하는 것을 특징으로 하는 FPM에서 켈리브레이션 그레이팅을 이용한 회절격자 위상 측정시스템
|
| 8 |
8
위상 측정방법에 있어서, 캘리브레이션 그레이팅의 위상정보를 저장하는 제1단계; 상기 캘리브레이션 그레이팅을 측정대상물에 겹쳐 결합 측정대상물을 준비하는 제2단계; LED 어레이를 통해 서로 다른 각도로 순차적으로 결합 측정대상물에 LED빔을 조사하는 제3단계; 렌즈에서 LED 빔이 조사된 결합 측정대상물에서 나오는 빔을 수집하는 제3단계; 광검출기가 상기 렌즈로부터 광을 수광하고 복수의 LED빔 각각에 대한 제1이미지를 취득하는 제4단계; 및분석수단이 상기 제1이미지 각각을 스펙트럼 도메인에 위치시켜 스티칭하여 상기 결합 측정대상물의 위상을 산출하고, 상기 캘리브레이션 그레이팅의 위상정보를 제거하여 측정대상물에 대한 위상정보를 측정하는 제5단계;를 포함하고,상기 제 3단계에서, LED 제어부가 복수의 상기 LED 광원이 순차적으로 상기 결합 측정대상물에 조사되도록 제어하며,상기 제 5단계에서, 상기 분석수단은 상기 측정대상물과 상기 캘리브레이션 그레이팅이 겹쳐진 결합 측정대상물에 대한 제1이미지를 역푸리에 변환하여 스펙트럼을 획득하여 오버래핑 영역을 통해 위상수렴을 하여 결합 측정대상물의 위상정보를 획득하고, 상기 결합 측정대상물의 위상정보에서 상기 캘리브레이션 그레이팅의 위상정보를 제거하여 측정대상물의 위상정보를 획득하는 것을 특징으로 하는 FPM에서 켈리브레이션 그레이팅을 이용한 회절격자 위상 측정방법
|
| 9 |
9
삭제
|
| 10 |
10
삭제
|
