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다단 포집 배관을 이용한 입자포집장치

  • 기술번호 : KST2021002043
  • 담당센터 : 대전기술혁신센터
  • 전화번호 : 042-610-2279
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명에 따른 다단 포집 배관을 이용한 입자포집장치는, 공정 챔버의 배기관을 통해 흐르는 입자를 포집하여 입자측정장치로 전달하는 장치로서, 인접한 두 단 중 어느 한 단이 다른 단의 내부로 밀려 들어가고 밀려 나올 수 있는 다단 포집용 배관부와, 다단 포집용 배관부가 펴지는 정도를 조절하여 그 길이를 조절하는 길이 조절부를 포함한다. 길이 조절부는, 다단 포집용 배관부의 가장 끝 단에 연결되는 와이어; 다단 포집용 배관부를 구성하는 각 단에 설치되어 그 단이 인접한 다른 단으로부터 밀려 나가도록 힘을 인가하는 탄성부, 및 와이어가 풀려나가는 길이를 조절하는 와이어 조절부를 포함하여 이루어진다. 입자 포집용 배관이 각 단의 중첩 구조를 통해 신축 가능하게 구성되므로, 포집용 배관의 운용을 위한 설치 공간을 크게 줄일 수 있다. 또한, 입자포집장치를 소형으로 제작하고 운용할 수 있으며, 공간 제약이 없어서, 디스플레이 공정과 같이 대구경의 진공 배기관이 운용되는 공정에도 효과적으로 적용될 수 있다.
Int. CL G01N 1/22 (2006.01.01) G01N 1/24 (2006.01.01) G01N 15/00 (2017.01.01)
CPC G01N 1/2247(2013.01) G01N 1/24(2013.01) G01N 15/00(2013.01) G01N 2001/2244(2013.01) G01N 2001/247(2013.01) G01N 2015/0019(2013.01)
출원번호/일자 1020200160037 (2020.11.25)
출원인 한국표준과학연구원
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0142480 (2020.12.22) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분
원출원번호/일자
관련 출원번호
심사청구여부/일자 Y (2020.11.25)
심사청구항수 2

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 한국표준과학연구원 대한민국 대전 유성구

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 문지훈 대전시 유성구
2 강상우 대전광역시 서구
3 임종연 대전광역시 유성구
4 제갈원 대전광역시 유성구
5 이효창 대전광역시 유성구
6 김준오 경기도 용인시 처인구
7 심섭 서울특별시 양천구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 김영호 대한민국 서울특별시 강남구 테헤란로**길* (역삼동, 조이타워), ***호(대신특허사무소)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호, 서류명, 접수/발송일자, 처리상태, 접수/발송일자의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 행정처리 표입니다.
번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [특허출원]특허출원서
[Patent Application] Patent Application		 2020.11.25 수리 (Accepted) 1-1-2020-1270457-68
2 [우선심사신청]심사청구서·우선심사신청서
 2020.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-1303424-25
3 조기공개신청서
Request for Early Opening		 2020.12.02 수리 (Accepted) 1-1-2020-1303423-80
4 [출원서 등 보정]보정서
[Amendment to Patent Application, etc.] Amendment		 2020.12.15 수리 (Accepted) 1-1-2020-1359604-93
5 우선심사신청관련 서류제출서
Submission of Document Related to Request for Accelerated Examination		 2020.12.24 수리 (Accepted) 1-1-2020-1408606-12
6 우선심사신청관련 서류제출서
Submission of Document Related to Request for Accelerated Examination		 2021.01.08 수리 (Accepted) 1-1-2021-0024152-01
7 의견제출통지서
Notification of reason for refusal		 2021.02.05 발송처리완료 (Completion of Transmission) 9-5-2021-0108687-09
8 [명세서등 보정]보정서
[Amendment to Description, etc.] Amendment		 2021.03.05 1-1-2021-0260182-39
9 [거절이유 등 통지에 따른 의견]의견서·답변서·소명서
 2021.03.05 수리 (Accepted) 1-1-2021-0260181-94
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
공정 챔버의 배기관을 통해 흐르는 입자를 포집하여 입자측정장치로 전달하는 입자포집장치로서,복수 개의 단으로 이루어지고, 인접한 두 단 중 어느 한 단이 다른 단의 내부로 밀려 들어가고 밀려 나올 수 있는 다단 포집용 배관부;상기 다단 포집용 배관부가 수납되어 지지되고, 외부 케이스를 구성하는 하우징부; 및상기 다단 포집용 배관부가 펴지는 정도를 조절하여, 그 길이를 조절하는 길이 조절부를 포함하는, 다단 포집 배관을 이용한 입자포집장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 길이 조절부는,상기 다단 포집용 배관부의 가장 끝 단에 연결되는 와이어;상기 다단 포집용 배관부를 구성하는 각 단에 설치되어, 그 단이 인접한 다른 단으로부터 밀려 나가도록 힘을 인가하는 탄성부; 및상기 와이어가 풀려나가는 길이를 조절하는 와이어 조절부를 포함하는, 다단 포집 배관을 이용한 입자포집장치
3 3
제 2 항에 있어서,상기 와이어 조절부는,와이어가 감기는 와이어 수납부; 및상기 와이어 수납부를 기어를 통해 회전시키는 모터부를 포함하는, 다단 포집 배관을 이용한 입자포집장치
4 4
제 1 항에 있어서,적어도 하나의 예비용 길이 조절부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는, 다단 포집 배관을 이용한 입자포집장치
5 5
제 1 항에 있어서,상기 다단 포집용 배관부의 가장 외곽에 배치되는 단은 그 말단 면이 포집용 배관의 중심축과 일정 각도를 이루도록 경사지게 구성된 것을 특징으로 하는, 다단 포집 배관을 이용한 입자포집장치
지정국 정보가 없습니다
패밀리정보가 없습니다
순번, 연구부처, 주관기관, 연구사업, 연구과제의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 국가R&D 연구정보 정보 표입니다.
순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 과학기술정보통신부 한국표준과학연구원 한국표준과학연구원 연구운영비지원 국가측정표준 서비스 및 중소기업 지원
2 과학기술정보통신부 한국표준과학연구원 한국표준과학연구원 연구운영비지원 첨단측정장비 핵심기술 개발
3 산업통상자원부 한국표준과학연구원 산업기술혁신사업 반도체 300 mm 급 웨이퍼 불순물 정량분석을 위한 클러스터형 분석장비 개발