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클래드부; 및중심 축방향에 대해서 회전 대칭성을 갖고, 상기 클래드부에 의해 둘러싸이는 코어부;를 포함하고,서로 다른 위상차를 갖는 도파 모드가 상기 코어부를 통과하면, 궤도각운동량(OAM: orbital angular momentum)을 갖는 도파 모드로 도파(導波)되는,궤도각운동량 모드를 위한 집적형 광도파로
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제 1 항에 있어서,상기 클래드부 및 상기 코어부는 광투과성 물질인 SiO2 SiN 및 Si 중 하나 이상을 포함하는, 궤도각운동량 모드를 위한 집적형 광도파로
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제 1 항에 있어서,상기 코어부는상기 중심 축방향에 대해서 회전 대칭성을 갖는 십자 모양으로 제공되는,궤도각운동량 모드를 위한 집적형 광도파로
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제 1 항에 있어서,상기 코어부는코어 중심부; 및중심 축방향에 대해서 회전 대칭성을 갖도록 상기 코어 중심부의 둘레 방향으로 동일간격으로 이격되어 돌출 형성되는 코어 대칭부;를 포함하는,궤도각운동량 모드를 위한 집적형 광도파로
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제 1 클래드층을 적층하는 단계;제 1 클래드층의 상부에 홈부가 형성되도록 제 1 클래드층을 1차 에칭하는 단계;홈부가 형성된 제 1 클래드층에 코어층을 적층하는 단계;제 1 클래드층의 홈부를 중심으로 하여 코어층의 양측부를 2차 에칭하는 단계;회전 대칭성을 갖는 코어부가 형성되도록 코어층을 3차 에칭하는 단계; 및코어부를 둘러싸는 클래드부가 형성되도록 코어부 및 제 1 클래드층 위에 제 2 클래드층을 적층하는 단계를 포함하는,궤도각운동량 모드를 위한 집적형 광도파로의 제조 방법
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제 5 항에 있어서,상기 2차 에칭하는 단계 및 상기 3차 에칭하는 단계는,상기 중심 축방향에 대해서 회전 대칭성을 갖는 십자 모양의 코어부가 형성되도록 코어층을 에칭하는,궤도각운동량 모드를 위한 집적형 광도파로의 제조 방법
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