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파우더 형태의 다이머 페럴린을 투입하여 다이머 페럴린을 기화시키는 기화단계(S10);기화된 다이머 페럴린을 분해부(20)로 이송하는 제1이송단계(S20);상기 분해부(20)를 통해 다이머 페럴린을 가열하여 모노머 페럴린으로 변환시키는 분해단계(S30);상기 분해부(20)의 다이머 페럴린 및 모노머 페럴린을 이송하는 제2이송단계(S40); 다이머 페럴린 및 모노머 페럴린을 확산시켜 대상물 표면에 폴리머 필름막을 형성하는 증착단계(S50); 및상기 분해단계(S30) 또는 증착단계(S50)를 마치고 이송된 페럴린 부산물을 응축시키는 냉각단계(S60);를 포함하는 가시성 페럴린 필름 성막 공정
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제1항에 있어서,상기 기화단계(S10)는 100~300℃ 범위 내에서 온도를 조절하여 다이머 페럴린 기체의 분압을 제어하고,상기 분해단계(S30)는 상기 분해부(20)의 온도를 300~600℃ 범위 내에서 제어하는 것을 특징으로 하는 가시성 페럴린 필름 성막 공정
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제1항에 있어서,상기 기화단계(S10)는 100~300℃ 범위 내에서 온도를 조절하여 다이머 페럴린 기체의 분압을 제어하고,상기 분해부(20)는 독립적인 온도 제어가 가능한 제1분해챔버(21) 및 제2분해챔버(22)를 포함하며,상기 분해단계(S30)는 상기 제1분해챔버(21)의 온도를 300~600℃ 범위 내에서 제어하고, 상기 제2분해챔버(22)의 온도를 600~800℃ 범위 내에서 제어하는 것을 특징으로 하는 가시성 페럴린 필름 성막 공정
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제3항에 있어서,상기 제2이송단계(S40)에서, 한 쌍의 제1바이패스부(61)를 통해 상기 제1분해챔버(21) 또는 제2분해챔버(22)로부터 이송된 다이머 페럴린 및 모노머 페럴린을 응축시키는 냉각단계(S60)로 선택적으로 이송시키는 제1바이패스 단계(S41)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가시성 페럴린 필름 성막 공정
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제3항에 있어서,상기 분해단계(S30)를 마치고, 제2바이패스부(62)를 통해 상기 제1분해챔버(21)의 다이머 페럴린 및 모노머 페럴린을 상기 제2분해챔버(22)로 선택적으로 공급하는 제2바이패스 단계(S31)를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 가시성 페럴린 필름 성막 공정
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제3항에 있어서,상기 제1이송단계(S20)에서 제3바이패스부(63)를 통해 기화된 다이머 페럴린을 상기 제1분해챔버(21) 및 제2분해챔버(22)로 선택적으로 공급할 수 있는 것을 특징으로 하는 가시성 페럴린 필름 성막 공정
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