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가공툴(11)이 장착되는 바디(10);상기 바디(10)의 둘레를 감싸는 링형상을 가지며, 피가공물(100)에 접촉되는 상기 가공툴(11)의 끝단으로 레이저발생부(40)에서 발생된 레이저를 조사하는 레이저조사부(20);상기 레이저조사부(20)의 내주면에 일측이 결합되고 타측이 상기 바디(10)에 고정되어 상기 레이저조사부(20)를 지지하는 지지부(30);로 이루어지되,상기 레이저조사부(20)는,상기 바디(10)의 둘레를 감싸는 링형상의 하우징(21a)과, 상기 하우징(21a)의 타측단에서 내측을 향해 돌출된 막은판(21b)과, 상기 하우징(21a)의 외부로 돌출되어 상기 레이저발생부(40)에서 발생된 레이저가 조사되는 공급관(21c)이 형성된 외부커버(21)와,상기 외부커버(21)의 내측에 일정간격 이격되도록 타측이 상기 막은판(21b)에 결합되며, 일측이 상기 하우징(21a)과 일정간격 이격되어 개방공간이 형성된 내부커버(22)와,상기 외부커버(21)의 내측에 결합되어 상기 레이저발생부(40)에서 발생된 레이저를 균일하게 분산시켜 상기 개방공간을 통해 조사하는 원형의 미러부(23)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 초정밀 레이저 가공 모듈
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제 1항에 있어서,상기 외부커버(21) 및 상기 미러부(23)의 일측이 내측으로 절곡되어 경사면(IP)이 형성되는 것을 특징으로 하는 초정밀 레이저 가공 모듈
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제 3항에 있어서,상기 외부커버(21)의 경사면(IP)에는 일정한 간격으로 하나 이상 형성된 결합홈(21d)과,상기 결합홈(21d)에 나사결합을 통해 체결되어 상기 미러부(23)의 상기 경사면(IP)의 경사각을 조절하는 조절부재(24)가 더 포함되는 것을 특징으로 하는초정밀 레이저 가공 모듈
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제 1항에 있어서,상기 지지부(30)는,상기 레이저조사부(20)의 수직방향을 지지하는 수직지지부재(31)와,상기 레이저조사부(20)의 수평방향을 지지하는 수평지지부재(32)로 이루어지는 것을 특징으로 하는 초정밀 레이저 가공 모듈
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