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태양전지 제조장치

  • 기술번호 : KST2021002238
  • 담당센터 : 대구기술혁신센터
  • 전화번호 : 053-550-1450
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 태양전지 제조장치에 관한 것으로, 대면적에 걸쳐 균일한 셀레늄 증기의 공급이 가능하다.
Int. CL H01L 31/0445 (2014.01.01) H01L 31/032 (2006.01.01) H01L 31/18 (2006.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020210010420 (2021.01.25)
출원인 영남대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2021-0012030 (2021.02.02) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보 대한민국  |   1020180121490   |   2018.10.12
법적상태 등록
심사진행상태 수리
심판사항
구분 분할
원출원번호/일자 10-2019-0109817 (2019.09.05)
관련 출원번호 1020190109817
심사청구여부/일자 Y (2021.01.25)
심사청구항수 4

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 영남대학교 산학협력단 대한민국 경상북도 경산시

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 전찬욱 대구광역시 수성구

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 특허법인다나 대한민국 서울특별시 강남구 역삼로 *길 **, 신관 *층~*층, **층(역삼동, 광성빌딩)

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2021.01.25 수리 (Accepted) 1-1-2021-0098119-61
번호, 청구항의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 청구항 표입니다.
번호 청구항
1 1
내부에 기판이 안착되도록 마련된 챔버;챔버 내에 안착된 기판에 칼코겐 성분이 기체 상태로 도포될 수 있도록, 칼코겐 소스가 수용되기 위한 복수 개의 제1 공간부를 갖고, 인접하는 공간부는 격벽을 통해 구획되며, 상기 격벽에 하나 이상의 관통홀이 형성된 샤워 모듈; 및챔버 내에 샤워 모듈을 가열하도록 배치된 제1 히터를 포함하며,샤워 모듈은, 제1 공간부에 수용된 칼코겐 소스가 샤워 모듈을 통과하도록 마련된 기공을 포함하고, 챔버 내에 안착된 기판의 일면과 마주하도록 배치된 바닥부재 및 제2 공간부를 형성하도록 바닥부재의 가장자리에 마련된 측벽을 포함하며,상기 격벽은 상기 측벽 내측에 위치하며, 제1 방향으로 연장된 제1 부재 및 제1 부재와 교차하도록 배치된 제2 부재를 포함하고, 제2 공간부는 제1 및 제2 부재에 의하여 복수 개의 제1 공간부로 구획되며, 샤워모듈에서, 어느 한 제1 공간부에 수용된 칼코켄 성분은 격벽 또는 관통홀을 통과하여 인접한 또 다른 제1 공간부로 이동 가능하게 마련되되, 바닥부재, 측벽 및 격벽은 일체로 형성된, 태양 전지 제조 장치
2 2
제 1 항에 있어서,상기 샤워 모듈은 소정의 기공도를 갖도록 마련된 흑연을 포함하는, 태양전지 제조장치
3 3
제 1 항에 있어서, 챔버 외부에 배치되고, 칼코겐 소스가 수용되며, 각각의 제1 공간부로 칼코겐 소스를 공급하도록 마련된 공급부를 포함하는 태양전지 제조장치
4 4
제 3 항에 있어서,공급부는, 칼코겐 소스가 수용된 하나 이상의 수용부;수용부를 가열하도록 마련된 제3 히터; 및수용부 및 샤워헤드의 공간부를 유체 이동 가능하게 연결하도록 마련된 하나 이상의 공급 라인을 포함하는 태양전지 제조장치
지정국 정보가 없습니다
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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
1 KR1020200041774 KR 대한민국 FAMILY

DOCDB 패밀리 정보

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순번 패밀리번호 국가코드 국가명 종류
DOCDB 패밀리 정보가 없습니다
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순번 연구부처 주관기관 연구사업 연구과제
1 산업통상자원부 (재)대구경북과학기술원 신재생에너지핵심기술개발 범용 무독성 칼코지나이드 광흡수층 기반 플렉시블 무기 박막태양전지 개발