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산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체를 제조하는 단계;상기 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 및 계면활성제를 포함하는 조성물을 제조하는 단계;상기 조성물을 기판 상에 도포하여 박막을 제조하는 단계; 및상기 박막을 진공 어닐링하는 단계;를 포함하고, 상기 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 및 상기 계면활성제의 중량비는 1:8 내지 1:12인 것인 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 산화금속은 산화아연, 산화티타늄 및 산화주석 중 1종 이상을 포함하는 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 상기 탄소나노소재는 다층 탄소 나노 튜브, 탄소 나노 섬유, 다층 그래핀, 그래파이트 및 부분 결정성 탄소(partially graphitic carbon) 중 1종 이상을 포함하는 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자의 제조 방법
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제1항에 있어서, 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체를 제조하는 단계는,탄소나노소재 분산액 및 산화금속 전구체 용액을 혼합하여 형성된 침전물을 여과하는 단계;를 포함하는 것인 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자의 제조 방법
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제4항에 있어서, 상기 산화금속 전구체는 금속의 아세트산화물, 염화물 및 질산화물 중 1종 이상인 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 계면활성제는 아래 화학식 1의 구조를 갖는 것인 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 기판은 FTO 글라스, ITO 글라스및 STO 글라스중에서 선택되는 것인 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자의 제조 방법
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제1항에 있어서,상기 도포는 스핀 코팅, 스프레이 코팅 및 딥 코팅 중에서 선택되는 어느 한 방법으로 수행되는 것인 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자의 제조 방법
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제1항 내지 제6항, 제8항 및 제9항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 제조되고,기판; 및 상기 기판 상에 위치한 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체를 포함하는 박막;을 포함하고, 비선형성 및 비정류성 전류-전압 특성을 갖는 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자
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제10항에 있어서,상기 반도전성 산화금속 나노입자는 탄소 도핑된 것인 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자
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제10항에 있어서,상기 반도전성 산화금속 나노입자 중 상기 탄소 및 금속의 원자 비율은 15:85 내지 30:70인 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자
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제10항에 있어서,상기 반도전성 산화금속 나노입자는 평균 직경이 35 nm 내지 60 nm인 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자
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제10항에 있어서,상기 박막은 두께가 5 μm 내지 10 μm인 반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자
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제10항에 있어서,AFM분석법으로 측정한 상기 박막 표면의 평균 조도가 80 nm 내지 120 nm 인반도전성 산화금속 나노입자-탄소나노소재 복합체 박막 소자
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