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원자층 증착장치용 가스 공급시스템

  • 기술번호 : KST2021002306
  • 담당센터 : 광주기술혁신센터
  • 전화번호 : 062-360-4654
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요약, Int. CL, CPC, 출원번호/일자, 출원인, 등록번호/일자, 공개번호/일자, 공고번호/일자, 국제출원번호/일자, 국제공개번호/일자, 우선권정보, 법적상태, 심사진행상태, 심판사항, 구분, 원출원번호/일자, 관련 출원번호, 기술이전 희망, 심사청구여부/일자, 심사청구항수의 정보를 제공하는 이전대상기술 뷰 페이지 상세정보 > 서지정보 표입니다.
요약 본 발명은 분사되는 분자량을 일정하게 유지하면서 유동속도를 제어할 수 있는 원자층 증착장치용 가스 공급시스템에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명은, 액체상태의 전구체가 수용되는 캐니스터; 상기 캐니스터로 삽입되어 불활성기체를 주입시키는 불활성기체주입관; 상기 불활성기체의 압력에 의해 배출되는 전구체를 헤드방향으로 이송하는 전구체배출관; 상기 전구체배출관에 의해 운송된 전구체를 기화시킴과 동시에 유동속도를 제어하는 원자화유닛; 상기 원자화유닛에 의해 기화된 전구체를 헤드로 이송시키는 헤드분사관을 포함하는 원자층 증착장치용 가스 공급시스템을 제공한다. 따라서, 본 발명에 의하면, 헤드로 주입되는 불활성 가스, 전구체 및 반응가스의 분사량 및 분사속도를 각각 원하는 대로 조절할 수 있어 정밀하게 분사시킬 수 있는 이점이 있다.
Int. CL C23C 16/455 (2006.01.01) C23C 16/448 (2006.01.01) C23C 16/52 (2018.01.01)
CPC
출원번호/일자 1020200180054 (2020.12.21)
출원인 제주대학교 산학협력단
등록번호/일자
공개번호/일자 10-2020-0145803 (2020.12.30) 문서열기
공고번호/일자
국제출원번호/일자
국제공개번호/일자
우선권정보
법적상태 공개
심사진행상태 수리
심판사항
구분 분할
원출원번호/일자 10-2018-0091533 (2018.08.07)
관련 출원번호 1020180091533
심사청구여부/일자 N
심사청구항수 1

출원인

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번호 이름 국적 주소
1 제주대학교 산학협력단 대한민국 제주특별자치도 제주시 제주

발명자

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번호 이름 국적 주소
1 최경현 제주특별자치도 제주

대리인

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번호 이름 국적 주소
1 피앤피특허법인 대한민국 경기도 성남시 분당구 판교로***번길 **, *동 *층 ***호

최종권리자

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번호 이름 국적 주소
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번호 서류명 접수/발송일자 처리상태 접수/발송번호
1 [분할출원]특허출원서
[Divisional Application] Patent Application		 2020.12.21 수리 (Accepted) 1-1-2020-1390578-65
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번호 청구항
1 1
액체상태의 전구체가 수용되는 캐니스터;불활성기체를 저장하는 제1 불활성기체저장소 및 제2 불활성기체저장소;상기 캐니스터로 삽입되어 상기 제1 불활성기체저장소에 저장된 불활성기체를 상기 캐니스터로 주입시키는 제1 불활성기체주입관;상기 제1 불활성기체의 압력에 의해 배출되는 액체상태의 전구체를 헤드방향으로 이송하는 전구체배출관;상기 전구체배출관에 구비되어 상기 액체상태의 전구체의 양을 조절하는 액체 질량유동제어부;상기 전구체배출관에 의해 운송된 액체상태의 전구체를 기화시킴과 동시에 유동속도를 제어하는 원자화유닛;상기 제2 불활성기체저장소에 저장된 불활성기체를 상기 원자화유닛 내부로 주입하는 제2 불활성기체주입관; 상기 제2 불활성기체주입관에 구비되어 상기 전구체의 유동속도를 조절하는 유동속도제어부; 및상기 원자화유닛에 의해 기화된 전구체를 헤드로 이송시키는 헤드분사관을 포함하고,상기 원자화유닛은, 상기 전구체배출관의 끝단에 결합되는 노즐을 구비하고,상기 전구체배출관을 통해 이송된 액채상태의 전구체는 상기 노즐에 의하여 기화되어 상기 원자화 유닛 내부로 분사되고,상기 노즐에 의해 기화된 전구체는 상기 제2 불활성기체주입관을 통해 주입되는 불활성기체의 압력에 의해 유동속도가 제어되고 상기 헤드분사관을 통하여 상기 헤드로 주입되는 것을 특징으로 하는 원자층 증착장치용 가스 공급시스템
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