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유해가스 내의 비응축성가스를 혼입량을 측정하는 혼입량 측정부;상기 유해가스 내에 포함된 비응축성가스를 제거하는 비응축성가스 제거부; 및상기 비응축성가스가 제거된 유해가스를 냉각하여 응축하는 응축장치;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축시스템
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제 1항에 있어서, 상기 비응축성가스 제거부는, 상기 유해가스 내에 포함된 비응축성가스를 분리제거하는 가스분리막 및 상기 유해 가스 내의 비응축성가스를 흡착하는 흡착제 중 적어도 어느 하나를 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축시스템
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제 2항에 있어서, 상기 유해가스를 압축하여 상기 응축장치로 유입시키는 압축기; 상기 응축장치로 유입되는 유해가스의 압력을 조절하는 압력제어밸브; 및상기 혼입량측정부에서 측정된 값을 기반으로 상기 압축기 및 압력제어밸브 중 적어도 어느 하나를 제어하는 제어부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축시스템
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제 3항에 있어서, 상기 응축장치는, 상기 압축기 후단에 구비되어 상기 유해가스 내의 수분, 오일을 제거하는 냉각기와, 상기 냉각기 후단에 구비되어 상기 유해가스를 응축시키는 응축기를 포함하고, 상기 응축기를 통과하여 유해가스를 냉각하여 배출된 냉각매체가 상기 냉각기의 냉각매체로 적용되는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축시스템
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제 3항에 있어서, 상기 유해가스는 불화가스인 것을 특징으로 하는 유해가스 응축시스템
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제 5항에 있어서, 상기 비응축성가스 제거부 전단에 구비되어 유입되는 유해가스 내의 불순물을 제거하는 불순물제거부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축시스템
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제 6항에 있어서, 상기 비응축성가스 제거부와 상기 불순물제거부 사이에 구비되어 상기 유해가스를 1차 냉각시키는 프리쿨러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축시스템
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제 7항에 있어서, 상기 응축기 내에 응축되지 않은 불응축가스가 배출되는 배출라인을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축시스템
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제 8항에 있어서, 상기 배출라인 일측에 구비되어 배출되는 불응축가스의 유량을 기반으로 상기 유해가스의 응축률을 측정하는 응축률 측정부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축시스템
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제 9항에 있어서, 상기 불응축가스를 상기 프리쿨러의 냉각매체로 적용하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축시스템
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제 10항에 있어서, 상기 제어부는 설정된 응축률과 상기 응축률 측정부에서 측정된 값을 기반으로 상기 프리쿨러, 상기 냉각기, 및 상기 응축기 중 적어도 어느 하나의 열교환 변수를 제어하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축시스템
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비응축성가스제거부를 통해 유해가스 내의 비응축성가스를 제거하는 제1단계; 혼입량 측정부에서 유해가스 내의 비응축성가스를 혼입량을 측정하는 제2단계; 압축기가 상기 유해가스를 압축하여 토출시키는 제3단계; 및압축기에서 토출된 유해가스가 응축장치로 유입되고, 상기 응축장치에서 상기 유해가스를 냉각하여 응축하는 제4단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축방법
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제 12항에 있어서, 제어부가 상기 혼입량측정부에서 측정된 값을 기반으로 상기 압축기 및 압력제어밸브 중 적어도 어느 하나를 제어하여 상기 응축장치로 유입되는 유해가스의 압력을 조절하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축방법
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제 13항에 있어서, 상기 제4단계는, 상기 압축기 후단에 구비된 냉각기에 의해 상기 유해가스 내의 수분, 오일을 제거하는 단계와, 상기 냉각기 후단에 구비된 응축기에 의해 상기 유해가스를 응축시키는 단계를 포함하며, 상기 응축기를 통과하여 유해가스를 냉각하여 배출된 냉각매체가 상기 냉각기의 냉각매체로 적용되는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축방법
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제 14항에 있어서, 상기 제1단계 전에 상기 비응축성가스 제거부 전단에 구비된 불순물제거부에 의해 유입되는 유해가스 내의 불순물이 제거되는 단계와, 프리쿨러에 의해 상기 유해가스를 1차 냉각시키는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축방법
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제 15항에 있어서, 상기 응축기 내에 응축되지 않은 불응축가스는 배출라인을 통해 배출되며, 상기 배출라인 일측에 구비된 응축률측정부가 배출되는 불응축가스의 유량을 기반으로 상기 유해가스의 응축률을 측정하고, 상기 불응축가스를 상기 프리쿨러의 냉각매체로 적용하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축방법
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제 16항에 있어서, 상기 제어부가 설정된 응축률과 상기 응축률 측정부에서 측정된 값을 기반으로 상기 프리쿨러, 상기 냉각기, 및 상기 응축기 중 적어도 어느 하나의 열교환 변수를 제어하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축방법
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