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유해가스를 응축시켜 회수하기 위한 장치에 있어서, 폐쇄된 본체;본체 일측에 구비되며, 내부로 냉매공급수단에 의해 냉매 유입되어 상기 본체 내부를 냉각시키는 열교환기;상기 본체 일측에 관통되는 유해가스유입관과, 상기 유해가스유입관과 연결되며 상기 본체 내부에 위치되어 내부에 유해가스가 유동되며 냉각, 응축되는 열교환관; 및상기 열교환관에서 응축된 액체가 회수되는 회수탱크;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수장치
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제 1항에 있어서, 상기 본체 내에 구비되어 상기 응축된 액체가 유입되는 액상챔버; 상기 액상챔버와 상기 열교환관 끝단 사이를 연결하는 배출관; 및 상기 액상챔버와 상기 회수탱크 사이에 연결되는 회수관;을 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수장치
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제 2항에 있어서, 상기 액상챔버 내부에는, 상기 응축된 액체와 불응축가스가 지그재그로 유동되도록 복수로 구비되는 격벽을 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수장치
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제 3항에 있어서, 상기 격벽은 타공판 또는 세로방향의 줄눈이 형성되어 구성되는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수장치
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제 4항에 있어서, 상기 액상챔버에서 상기 불응축가스 내의 미세화된 액적이 조대화되어 응축된 액체로 회수되는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수장치
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제 5항에 있어서, 상기 액상챔버의 불응축가스가 유입되어, 상기 불응축가스 내의 미세화된 액적을 조대화시키는 기상챔버; 및 상기 기상챔버와 상기 액상챔버 사이를 연결하는 연결관;을 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수장치
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제 6항에 있어서, 상기 기상챔버 내에는 세라믹볼이 충진되어 지며, 상기 기상챔버 일측에는 미세액적이 제거된 불응축가스가 배출되는 불응축가스배출관이 구비되는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수장치
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제 7항에 있어서, 상기 불응축가스배출관 일측에 구비되는 흡입펌프를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수장치
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제 8항에 있어서, 상기 액상챔버 내의 액체 수위를 측정하는 수위센서; 상기 회수관 일측에 구비되는 토출밸브; 및상기 수위센서에서 측정된 값이 설정된 값을 초과하면 상기 토출밸브를 개방하여 상기 액체를 상기 회수탱크 내로 유입시키도록 제어하는 제어부;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수장치
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제 9항에 있어서, 상기 본체 내면 일측에 구비되어 본체 내부로 냉매를 분사하여 상기 본체를 냉각시키는 냉매분사부;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수장치
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제 10항에 있어서, 상기 본체 내의 온도를 측정하는 온도센서;를 더 포함하고, 상기 제어부는 온도센서에서 측정된 온도값을 기반으로, 상기 냉매공급수단과, 상기 냉매분사부를 제어하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수장치
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제 1항에 있어서, 상기 유해가스는 불화가스인 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수장치
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본체 일측에 구비된 열교환기 내부로 냉매공급수단에 의해 냉매를 유입하여, 상기 본체 내부를 냉각시키는 제1단계; 본체 일측에 관통되는 유해가스유입관을 통해 유해가스가 유입되고, 상기 유해가스가 상기 본체 내부에 위치된 열교환관 내부를 유동하며 냉각, 응축되는 제2단계; 상기 열교환관 내에서 응축된 액체와, 불응축가스가 본체 내부에 구비된 액상챔버 내로 유입되는 제3단계;미세화된 액적이 상기 액상챔버 내에서 조대화되어 상기 응축된 액체와 함께 회수되는 제4단계; 상기 액상챔버 내의 응축된 액체가 회수관을 통해 회수탱크에 저장되는 제5단계;를 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수방법
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제 13항에 있어서, 상기 제4단계에서, 상기 액상챔버 내부에 구비된 다수의 타공격벽에 의해, 응축된 액체와 불응축가스가 지그재그로 유동되면서 상기 불응축가스 내의 미세화된 액적이 조대화되어 응축된 액체로 회수되는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수방법
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제 14항에 있어서, 상기 제4단계 후에,연결관을 통해 상기 액상챔버의 불응축가스가, 내부에 다수의 세라믹볼이 충진된 기상챔버 내로 유입되어, 상기 불응축가스 내의 미세화된 액적이 조대화되어 응축된 액체로 회수되는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수방법
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제 15항에 있어서, 상기 기상챔버 일측에 연결되는 불응축가스배출관에 구비된 흡입펌프의 구동으로, 미세액적이 제거된 불응축가스가 불응축가스배출관을 통해 배출되는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수방법
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제 16항에 있어서, 수위센서가 상기 액상챔버 내의 액체 수위를 측정하는 단계; 및제어부가 수위센서에서 측정된 값이 설정된 값을 초과하면 회수관에 구비된 토출밸브를 개방하여 상기 액체를 상기 회수탱크 내로 유입시키도록 제어하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수방법
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제 17항에 있어서, 상기 본체 내면 일측에 구비된 냉매분사부에 의해, 본체 내부로 냉매를 분사하여 상기 본체 내부를 냉각시키고, 온도센서가 상기 본체 내의 온도를 측정하는 단계; 및 상기 제어부가 온도센서에서 측정된 온도값을 기반으로, 상기 냉매공급수단과, 상기 냉매분사부를 제어하여 상기 본체 내의 온도를 조절하는 단계;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 유해가스 응축 회수방법
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