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반응챔버의 내부에 길이방향으로 연장형성되는 작업전극의 측부와 결합되는 프레임, 상기 작업전극을 따라 회전되는 동안 상기 반응챔버에 투입된 용액에 포함된 용매는 통과시키되, 상기 용액에 포함된 입자상 물질을 흡착하는 메쉬가 구비되는 제1 필터;상기 제1 필터와 이격되게 상기 제1 필터의 하측에 설치되며, 상기 반응챔버의 내벽과 결합되는 프레임, 상기 제1 필터가 회전하는 동안 상기 제1 필터로부터 탈착되는 입자상 물질을 흡착하는 메쉬가 구비되는 제2 필터;상기 작업전극에 회전력을 전달하는 모터; 및상기 모터에 구동력을 생성하여 상기 작업전극의 회전을 제어하는 제어부;를 포함하고,상기 제1 필터는,상기 프레임의 일면이 상기 메쉬의 설치가 생략된 개방면인 것을 특징으로 하는 입자상 물질 고정형 회전전극을 적용한 저전위도금 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1 필터는,상기 작업전극을 통해 일방향으로 회전하는 동안에 상기 용액에 포함된 입자상 물질은 흡착하되, 상기 일방향과 대향되는 타방향으로 회전하는 동안에는 상기 흡착한 입자상 물질이 상기 개방면을 통해 탈착되는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 고정형 회전전극을 적용한 저전위도금 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제1 필터는,상기 프레임 간의 분리 또는 결합을 통해 형태 변형이 가능한 것을 특징으로 하는 입자상 물질 고정형 회전전극을 적용한 저전위도금 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제2 필터는,래퍼런스전극과 카운터전극이 하측에 배치되어, 상기 래퍼런스전극과 상기 카운터전극에 상기 제1 필터로부터 탈착되는 입자상 물질이 부착되지 않도록 하는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 고정형 회전전극을 적용한 저전위도금 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제2 필터와 상기 작업전극 간의 간극에 끼움결합되어, 상기 제1 필터로부터 탈착되는 입자상 물질이 상기 제2 필터의 하측으로 유동되는 것을 차단하는 패킹부재;를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 고정형 회전전극을 적용한 저전위도금 장치
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제 1 항에 있어서,상기 메쉬는,티타늄, 니오비움, 금, 백금 중 1개 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 고정형 회전전극을 적용한 저전위도금 장치
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제 1 항에 있어서,상기 프레임은,티타늄, 니오비움, 흑연 중 1개 이상을 포함하는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 고정형 회전전극을 적용한 저전위도금 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제어부는,상기 반응챔버 내에 설치되어 적외선 광원이 방출한 적외선을 감지하여 입자상 물질의 농도를 측정하는 적외선 감지기의 측정정보를 기반으로 상기 작업전극의 회전을 제어하는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 고정형 회전전극을 적용한 저전위도금 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제어부는,상기 반응챔버 내에 설치되어 온도, 압력, 전압을 측정하는 센서의 측정정보를 기반으로 상기 작업전극의 회전을 제어하는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 고정형 회전전극을 적용한 저전위도금 장치
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제 1 항에 있어서,상기 제어부는,상기 작업전극의 회전속도, 회전시간 및 상기 필터의 회전위치를 제어하는 것을 특징으로 하는 입자상 물질 고정형 회전전극을 적용한 저전위도금 장치
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