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내부에 일면이 적어도 일부 개방되도록 공간이 마련되어 초음파 프로브의 일단이 수납되는 수납부가 형성된 본체; 초음파 매질이 주입되도록 마련되는 매질 주입구; 상기 본체의 상기 초음파 프로브의 센싱면이 배치되는 위치에 상기 초음파 매질을 공급하도록 마련되는 제1 매질 유출구; 및 상기 매질 주입구와 상기 제1 매질 유출구를 연결하여 상기 초음파 매질이 이송되도록 마련되는 매질 공급라인; 및 상기 매질 공급라인(150)과 연통되고, 상기 제1 매질 유출구(130)로부터 상기 본체(110)의 바닥면을 관통하여 상기 본체의 외부면에 형성되는 제2 매질 유출구(140)를 구비하고,상기 제1 매질 유출구(130)가 상기 본체(110)의 내부(111) 바닥면에 상기 초음파 프로브(300)의 센싱면을 향하도록 형성되고, 상기 수납부 내에 상기 초음파 프로브가 초음파 매질을 매개로 상기 제1 매질 유출구와 접촉하며 상기 제1 매질 유출구 위에서 상기 초음파 프로브의 길이 방향과 수직인 방향으로 병진 운동할 수 있는 공간이 마련되는 초음파 매질 공급 지그
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제1항에 있어서, 상기 매질 주입구가 본체의 일측에 마련되고, 상기 매질 공급라인이 상기 본체의 내부에 마련되는 초음파 매질 공급 지그
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제1항에 있어서, 상기 수납부의 일면이 적어도 일부 개방되어, 상기 수납부 내의 상기 초음파 매질이 상기 수납부로부터 외부로 빠져나가는 제3 매질 유출구를 더 구비하는 초음파 매질 공급 지그
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제5항에 있어서, 상기 제3 매질 유출구가 상기 초음파 프로브가 상기 수납부 내에서 병진 운동하는 양방향 중의 하나의 방향으로 적어도 일부가 개방되도록 형성되는 초음파 매질 공급 지그
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제1항에 있어서, 상기 제1 매질 유출구가 상기 초음파 프로브가 병진 운동하는 방향의 길이가 상기 병진 운동하는 방향에 대하여 수직인 방향의 길이보다 긴 장공 형태인 초음파 매질 공급 지그
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제1항에 있어서, 상기 제2 매질 유출구가 상기 초음파 프로브가 병진 운동하는 방향의 길이가 상기 병진 운동하는 방향에 대하여 수직인 방향의 길이보다 긴 장공 형태인 초음파 매질 공급 지그
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제1항에 있어서, 상기 제1 매질 유출구의 상기 초음파 프로브를 향하는 면의 면적이 상기 제2 매질 유출구의 상기 초음파 프로브를 향하는 면의 면적보다 큰 초음파 매질 공급 지그
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제1항에 있어서, 상기 매질 주입구 및 상기 매질 공급라인의 각각의 단면적이 상기 제1 매질 유출구 및 상기 제2 매질 유출구 각각의 단면적보다 작은 초음파 매질 공급 지그
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11
상면 위에 검사 대상체를 올려놓는 지지 다이; 상기 검사 대상체 위에 배치되는 제1항, 제2항, 및 제5항 내지 제10항 중의 어느 하나의 항의 초음파 매질 공급 지그; 및 일 방향으로 병진하면서 초음파 영상을 입력받는 초음파 프로브;를 구비하고, 상기 매질 공급 지그가 상기 초음파 프로브의 길이 방향 및 상기 초음파 프로브가 병진 운동하는 방향과 다른 방향으로 이송되면서 상기 초음파 프로브가 초음파 영상을 입력받는 매질 순환 초음파 고속 스캔 장치
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제11항에 있어서, 상기 제1 매질 유출구와 상기 초음파 프로브의 하면 사이에 일정한 간격의 갭이 형성되는 매질 순환 초음파 고속 스캔 장치
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제11항에 있어서, 상기 검사 대상체와 상기 초음파 매질 공급 지그 사이에 일정한 간격의 갭이 형성되는 매질 순환 초음파 고속 스캔 장치
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제11항에 있어서, 상기 초음파 프로브의 상기 병진 운동의 양끝 위치에서 상기 제1 매질 유출구의 상기 초음파 프로브를 향하는 면이 상기 초음파 프로브의 센싱면에 의하여 덮이는 매질 순환 초음파 고속 스캔 장치
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제11항에 있어서, 상기 지지 다이를 수납하여 상기 초음파 매질 공급 지그로부터 유입되는 상기 초음파 매질을 저장하는 매질 탱크를 더 구비하는 매질 순환 초음파 고속 스캔 장치
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제15항에 있어서, 상기 매질 탱크에 저장된 초음파 매질이 상기 매질 주입구로 주입되어 상기 초음파 매질이 순환되는 매질 순환 초음파 고속 스캔 장치
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복수 개의 제11항의 매질 순환 초음파 고속 스캔 장치를 이용하여 검사 대상체의 가장자리 부분을 스캔하도록 제어하는 매질 순환 초음파 고속 스캔 시스템
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제17항에 있어서, 상기 검사 대상체가 사각형 평면 형상을 가지며, 상기 초음파 프로브가 상기 검사 대상체의 각각의 변에 배치되고, 각각의 초음파 프로브가 동시에 상기 검사 대상체의 각각의 변을 따라서 이송되면서 각각의 가장자리를 동시에 스캔하도록 제어하는 매질 순환 초음파 고속 스캔 시스템
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제18항에 있어서, 각각의 상기 초음파 프로브가 동시에 스캔을 시작하여 동시에 스캔을 종료하도록 제어하는 매질 순환 초음파 고속 스캔 시스템
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제17항에 있어서, 상기 검사 대상체가 직사각형 평면 형상을 가지며, 길이가 긴 변에는 길이가 짧은 변보다 더 많은 개수의 상기 초음파 프로브가 배치되는 매질 순환 초음파 고속 스캔 시스템
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