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1
평균 입자 크기가 0
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2 |
2
제 1항에 있어서, 상기 혼합 입자는 상기 제1구리 입자 70~97중량부, 상기 산화구리 입자 3~30중량부인 것을 특징으로 하는 구리 및 산화구리 혼합 소결접합 페이스트 또는 그린시트
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3 |
3
제 1항에 있어서, 상기 환원유도제는,분자량이 150 이상인 2가 알콜(dihydric alcoho), 3가 알콜(trihydric alcoho) 및 다가 알콜(polyhydric alcohol)로 이루어진 군에서 선택되는 하나 또는 둘 이상의 혼합물을 포함하는 것을 특징으로 하는 구리 및 산화구리 혼합 소결접합 페이스트 또는 그린시트
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4 |
4
제 3항에 있어서, 상기 환원유도제는,특정 온도에서 상기 산화구리 입자를 환원시켜 나노급 제2구리 입자를 생성시켜 상기 제1구리 입자 간 공극부에 개재시키는 것을 특징으로 하는 구리 및 산화구리 혼합 소결접합 페이스트 또는 그린시트
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5 |
5
제 4항에 있어서, 상기 환원유도제는,상기 제1구리 입자의 표면에 코팅되어 목표 온도까지의 가열동안 상기 제1구리 입자의 산화를 막고, 상기 제1구리 입자의 표면 산화막을 환원시키는 것을 특징으로 하는 구리 및 산화구리 혼합 소결접합 페이스트 또는 그린시트
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6 |
6
제 5항에 있어서, 상기 나노급 제2구리 입자의 생성으로 접합부가 인시츄(in-situ)로 소결되어 이루어지며,상기 접합부는 상기 제1구리 입자와, 상기 제2구리 입자로 이루어진 본드라인으로 구현되는 것을 특징으로 하는 구리 및 산화구리 혼합 소결접합 페이스트 또는 그린시트
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7 |
7
제 1항에 있어서, 상기 구리 및 산화구리 혼합 소결접합 페이스트 또는 그린시트는,접합 공정 후 추가 열처리를 통해 상기 제1구리 입자 및 제2구리 입자를 산화시켜 공극부를 최소화시키는 것을 특징으로 하는 구리 및 산화구리 혼합 소결접합 페이스트 또는 그린시트
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8 |
8
평균 입자 크기가 0
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9 |
9
제 8항에 있어서, 상기 제5단계 이후에,추가 열처리 공정을 더 수행하여 상기 제1구리 입자 및 제2구리 입자를 산화시켜 공극부를 최소화시키는 것을 특징으로 하는 구리 및 산화구리 혼합 소결접합 페이스트 또는 그린시트를 이용한 접합 방법
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10 |
10
제 9항에 있어서, 상기 구리 및 산화구리 혼합 소결접합 페이스트 또는 그린시트를 이용한 접합 방법은,컨베이어 라인을 사용한 연속 공정에 의해 구현되는 것을 특징으로 하는 구리 및 산화구리 혼합 소결접합 페이스트 또는 그린시트를 이용한 접합 방법
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