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압전 소자 구조체; 및상기 압전 소자 구조체의 상면 또는 하면에 배치된 진동판을 포함하고,상기 진동판은 상기 진동판의 일면에 형성되어 있는 요철 구조를 포함하며, 상기 요철 구조에 의해 진동판의 비표면적이 증가하여 초음파 신호 출력 성능이 향상되는,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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제 1 항에 있어서,상기 요철 구조는 복수개의 요철을 포함하고,상기 복수개의 요철은 서로 일정한 간격을 이루며 배치되는,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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제 2 항에 있어서,상기 요철은 나노 크기인 것을 특징으로 하는,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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제 2 항에 있어서,상기 요철은 다각형 기둥 또는 원기둥 형태인,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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제 2 항에 있어서,상기 요철은 다각형 뿔 또는 원뿔 형태인,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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제 1 항에 있어서,상기 압전 소자 구조체는,하부 평면 전극; 상기 하부 전극 상의 압전 재료 시트; 및 상기 압전 재료 시트 상의 상부 평면 전극으로 이루어진,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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제 1 항에 있어서,상기 압전 소자 구조체는,압전 재료 시트;상기 압전 재료 시트의 윗면과 아랫면에 서로 동일한 형태로 투영되도록 상하 방향으로 중첩되어 배치된 한 쌍의 제 1 전극 패턴들; 및 상기 압전 재료 시트의 윗면과 아랫면에 서로 동일한 형태로 투영되도록 상하 방향으로 중첩되어 배치되며 상기 제 1 전극 패턴들 각각과 서로 맞물리는(interdigited) 형태로 배치된 제 2 전극 패턴들을 포함하는,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,상기 압전 재료 시트는,압전 세라믹 또는 세라믹/폴리머 복합체로 형성된 것을 특징으로 하는,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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제 7 항에 있어서,상기 제1 및 제2 전극 패턴들은, 증착/식각, 레이저 플레이팅, 스크린 프린팅, 잉크젯 프린팅 또는 스퍼터링에 의해 형성된 것을 특징으로 하는,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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10
제 1 항에 있어서,상기 요철은 상기 진동판을 패턴 식각하여 얻어지는 것을 특징으로 하는,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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제 1 항에 있어서,상기 요철 구조에 의해 압전 소자 구조체의 열화(degradation)를 방지하는,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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제 1 항에 있어서,상기 요철 구조에 의해 진동판의 비표면적이 증가하여 신호 출력 성능이 향상되는,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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13
제 1 항에 있어서,상기 요철 구조에 의해 진동판의 내구성이 향상되는,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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제 1 항에 있어서,상기 압전 소자 구조체는,하부 평면 전극; 상기 하부 전극 상의 압전 재료 시트; 및 상기 압전 재료 시트 상의 상부 평면 전극으로 이루어진 구조체가 복수개 적층되어 있는 형태로 이루어진,압전 소자를 이용한 압전 트랜스듀서
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